PAGE

1

PAGE

２

陰極制備設(shè)備電控系統(tǒng)使用說(shuō)明書沈陽(yáng)世昂真空技術(shù)有限公司第一章概述一系統(tǒng)構(gòu)成該電控系統(tǒng)是為陰極制備設(shè)備控制而設(shè)計(jì)的一套專門系統(tǒng),它主要包括總控電源（附帶加熱控溫電源）、分子泵電源、離子泵電源、升華泵電源和復(fù)合真空計(jì)。上述所有電源已安裝在工作臺(tái)上。二主要功能和指標(biāo)1總控電源為系統(tǒng)所有用電設(shè)備供電以及對(duì)機(jī)械泵和升降機(jī)等的控制。說(shuō)明：（1）升降機(jī)的上升和下降互鎖，即上升下降不會(huì)同時(shí)工作；（2）機(jī)械泵與分子泵聯(lián)鎖，即必須在機(jī)械泵啟動(dòng)后分子泵方可啟動(dòng)。2加熱控溫電源對(duì)烘箱進(jìn)行加熱控溫，并具有超溫報(bào)警保護(hù)和聲音提示。其主要指標(biāo)如下：（1）控溫范圍：室溫—400℃；（2）測(cè)溫精度：±0.1℃。3配套分子泵，離子泵及復(fù)合真空計(jì)都有相應(yīng)說(shuō)明書。第二章安裝一供電要求:該電控系統(tǒng)需三相四線380V（50Hz）工業(yè)動(dòng)力電，總功率小于12KW。供電要求:“總控電源”：電壓：3相380V（50Hz）容量：12KVA要求：由3P32A空氣開(kāi)關(guān)供電（空氣開(kāi)關(guān)采用工業(yè)用動(dòng)力型），連接電纜采用四芯橡套：4.0mm2×3＋2.5mm二安裝1工作臺(tái)接線工作臺(tái)內(nèi)部線已有廠方人員接好，只需按照線兩端標(biāo)號(hào)對(duì)應(yīng)接好即可，切勿接錯(cuò)，以免短路，甚至損壞設(shè)備。2系統(tǒng)接地線將工作臺(tái)后的接地端與實(shí)驗(yàn)室專用地線接地點(diǎn)牢靠接好。注：地線必須接，而且要接牢靠第三章操作一檢查在系統(tǒng)上電之前必須對(duì)各路接線進(jìn)行認(rèn)真仔細(xì)檢查,確認(rèn)無(wú)誤。尤其要重點(diǎn)檢查核對(duì)交流供電電源接線是否正確,系統(tǒng)接地是否牢靠。1使用操作安全注意事項(xiàng)設(shè)備操作人員必須高度重視電氣安全問(wèn)題，嚴(yán)格遵守用電安全規(guī)程，防止電氣事故造成人身傷害或設(shè)備損壞。（1）嚴(yán)禁帶電拆卸接線端子、焊片、接插件等電氣連接件！（2）嚴(yán)禁帶電打開(kāi)電源機(jī)箱，接觸任何電器元件！禁止無(wú)電氣技術(shù)資格和相關(guān)經(jīng)驗(yàn)者從事本說(shuō)明書允許的故障排除工作。（3）設(shè)備必須可靠接地。本系統(tǒng)中所有設(shè)備裝置的金屬外殼都應(yīng)可靠接地（包括主機(jī)真空設(shè)備及兩個(gè)電源機(jī)柜）。各部分電控裝置按要求實(shí)行單閘（空氣開(kāi)關(guān)）供電，不允許一閘多用。（4）經(jīng)常對(duì)設(shè)備進(jìn)行安全檢查，確保電控單元絕緣良好，有可靠的接地或接零保護(hù)，檢查有無(wú)漏電情況、絕緣老化情況；定期進(jìn)行電氣設(shè)備和保護(hù)裝置的檢查、檢修、試驗(yàn)及清掃，防止造成電氣設(shè)備事故和誤動(dòng)作。注意：務(wù)必事先斷開(kāi)所有電氣設(shè)備的電源?。?）更換保險(xiǎn)絲時(shí)需斷電進(jìn)行。二系統(tǒng)上電合上為該系統(tǒng)供電的實(shí)驗(yàn)室開(kāi)關(guān)柜上對(duì)應(yīng)的空氣開(kāi)關(guān),并閉合總控電源側(cè)面的空氣開(kāi)關(guān)與總控電源后面板上的電源開(kāi)關(guān)（船型開(kāi)關(guān)），總控電源前面板“上電指示”燈亮。三電氣控制操作按下總供電啟動(dòng)按鈕開(kāi)關(guān)，則為系統(tǒng)中各電子儀器儀表、真空泵和各個(gè)電控單元提供了供電電源和控制電源：（1）AI-518P控溫表進(jìn)入上電狀態(tài)。（2）對(duì)控溫表進(jìn)行基本設(shè)置（詳情見(jiàn)控溫表說(shuō)明書），廠方已設(shè)置好。（3）在控溫表上設(shè)定加熱溫度(具體操作見(jiàn)控溫表說(shuō)明書)。（4）按下加熱控制的啟動(dòng)按鈕開(kāi)關(guān),則開(kāi)始加熱升溫,到達(dá)設(shè)定的目標(biāo)值即進(jìn)入恒溫控制調(diào)節(jié)。其余操作見(jiàn)各配套電源使用說(shuō)明書相關(guān)部分。關(guān)機(jī)過(guò)程與上述開(kāi)機(jī)過(guò)程相反。第四章維護(hù)由于該系統(tǒng)設(shè)計(jì)制造調(diào)試比較精心,電控系統(tǒng)是穩(wěn)定可靠的。只要用戶嚴(yán)格按照本說(shuō)明書所闡述的操作程序和注意事項(xiàng)進(jìn)行操作,通常不會(huì)出現(xiàn)什么重大故障。偶爾出現(xiàn)一次毛病大都是接插件接觸問(wèn)題,或者保險(xiǎn)絲燒斷等方面的小故障,一般來(lái)說(shuō),用戶都有能力自己動(dòng)手維護(hù)?，F(xiàn)就幾點(diǎn)關(guān)鍵注意事項(xiàng)在此再次強(qiáng)調(diào)如下：1.當(dāng)系統(tǒng)帶電時(shí)嚴(yán)禁對(duì)任何接插件進(jìn)行插拔操作!2.系統(tǒng)務(wù)必接牢地線