硬質(zhì)合金硬質(zhì)涂層厚度的測定X射線熒光光譜法編制說明（送審稿）贛州澳克泰工具技術(shù)有限公司2025年7月一、工作簡況任務(wù)來源1.1計(jì)劃批復(fù)根據(jù)《工信和信息化部辦公廳關(guān)于印發(fā)2024年第四批行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)修訂計(jì)劃的通知》（工信廳科函〔2024〕352號）文件要求，由贛州澳克泰工具技術(shù)有限公司負(fù)責(zé)牽頭制定《硬質(zhì)合金硬質(zhì)涂層厚度的測定X射線熒光光譜法》有色行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，項(xiàng)目計(jì)劃編號2024-1230T-YS，計(jì)劃完成年限為2025年。1.2項(xiàng)目情況涂層硬質(zhì)合金制品是指在已經(jīng)燒結(jié)好的硬質(zhì)合金制品表面涂覆一層或幾層耐磨性高的硬質(zhì)難熔化合物，這種涂層制品將基體的強(qiáng)度與表層的高耐磨性巧妙地結(jié)合起來，從而成倍地提高了硬質(zhì)合金制品的使用壽命。硬質(zhì)合金制品的涂層主要通過物理氣相沉積PVD和化學(xué)氣相沉積CVD方法制備，涂層材料種類主要有TiN、TiCN、Al2O3、TiAlN、TiAlSiN、AlCrN、CrN、TiB2、DLC等。目前涂層硬質(zhì)合金制品，其涂層厚度的測量方法主要按照GB/T36591-2018《硬質(zhì)合金制品的涂層金相檢測方法》和JB/T7707-1995《離子膜硬膜厚度試驗(yàn)方法球磨法》兩種。金相法和球磨法，首先都需要對涂層制品進(jìn)行破壞，一方面使得檢測周期相對較長，特別是金相法需要切割、鑲樣、磨拋，至少需要幾個(gè)小時(shí)才能完成；另一方面對于價(jià)值高的制品，檢測成本也較高；其次，涂層硬質(zhì)合金制品，尤其是刀具制品，其各部位的涂層厚度是不一樣的，由于刀具的刃部較鋒利，使得涂層在此處具有尖端堆積效應(yīng)，造成刃部的涂層厚度相比其他平坦部位要更高，刃部作為刀具主要功能部位，測量刃部附近的涂層厚度更具有意義，但球磨法只能對平面進(jìn)行測試，無法對刃部附近的涂層厚度進(jìn)行測量，而金相法在理論上可以對刃部附近的涂層厚度進(jìn)行測試，但實(shí)際操作中對切割設(shè)備和人員操作的要求很高，很難實(shí)現(xiàn)以及復(fù)現(xiàn)。隨著X射線熒光測厚儀器分辨率越來越高，X光管穩(wěn)定性越來越好，X射線熒光光譜法測量涂層厚度，具有速度快、無損檢測等優(yōu)點(diǎn)。經(jīng)過試驗(yàn)驗(yàn)證，采用X射線熒光光譜法對涂層硬質(zhì)合金制品進(jìn)行涂層厚度的測量，在極限厚度范圍內(nèi)允許誤差小于10%，已能夠滿足各硬質(zhì)合金制品生產(chǎn)企業(yè)的涂層質(zhì)量控制生產(chǎn)需求。該方法具有快速檢測分析的優(yōu)點(diǎn)，能很好地應(yīng)對企業(yè)日益增長的檢測需求，適用于涂層中存在與基體合金元素不同金屬元素的樣品，這些元素會(huì)產(chǎn)生各自輻射特征，基體中合金元素的特征譜線不會(huì)對涂層金屬元素的譜線產(chǎn)生干擾。該方法在國內(nèi)已有不少生產(chǎn)企業(yè)使用，因此非常有必要制定相關(guān)的檢測標(biāo)準(zhǔn)。1.3主要參與單位及工作組成員及其工作1.3.1主起草單位簡介贛州澳克泰工具技術(shù)有限公司（以下簡稱“公司”）是上市企業(yè)——章源鎢業(yè)的全資子公司。自2007年成立以來，一直深耕于鎢產(chǎn)業(yè)鏈深加工領(lǐng)域，專注自有技術(shù)研發(fā)，不斷推進(jìn)硬質(zhì)合金產(chǎn)品向高精密、高附加值升級。公司主營產(chǎn)品包括高性能硬質(zhì)合金涂層刀片及高性能硬質(zhì)合金棒材，為客戶提供全套的加工工藝、技術(shù)和項(xiàng)目解決方案。產(chǎn)品系列基本實(shí)現(xiàn)了鑄鐵、鋼件、不銹鋼、鋁合金、高溫合金和高硬度鋼的車、銑、鉆加工等領(lǐng)域應(yīng)用的全面覆蓋，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于石油、電力、鋼鐵、軌道交通、新能源汽車等領(lǐng)域。公司順利通過ISO9001質(zhì)量、ISO45001職業(yè)健康安全、ISO14001環(huán)境等管理體系認(rèn)證，被評為國家高新技術(shù)企業(yè)，獲得了“2020年江西省智能制造標(biāo)桿企業(yè)”、“江西省信息化和工業(yè)化深度融合示范企業(yè)”等稱號，并被國家工業(yè)和信息化部列為“2017年兩化融合管理體系貫標(biāo)試點(diǎn)企業(yè)”、“2020年工業(yè)企業(yè)知識產(chǎn)權(quán)運(yùn)用試點(diǎn)企業(yè)”、“2021年國家專精特新‘小巨人’企業(yè)”、“國家級專精特新重點(diǎn)‘小巨人’企業(yè)”，被國家知識產(chǎn)權(quán)局評為“國家知識產(chǎn)權(quán)優(yōu)勢企業(yè)”。公司擁有一百余項(xiàng)專利，并承擔(dān)超細(xì)晶硬質(zhì)合金納米涂層刀具制備及其在航空航天高溫合金材料加工應(yīng)用、Ti(C、N)基金屬陶瓷刀具開發(fā)及高速切削應(yīng)用研究等多項(xiàng)省科技計(jì)劃、重點(diǎn)新產(chǎn)品計(jì)劃項(xiàng)目;掌握硬質(zhì)合金混合料均勻控制技術(shù)、CVD硬質(zhì)合金涂層技術(shù)、PVD硬質(zhì)合金涂層技術(shù)等多項(xiàng)自主核心技術(shù)。具備年產(chǎn)3000萬片涂層刀片;以及年產(chǎn)2000噸硬質(zhì)合金棒材的能力。公司擁有完整的硬質(zhì)合金刀具生產(chǎn)線、雄厚的技術(shù)研發(fā)能力及世界一流的刀具技術(shù)研發(fā)團(tuán)隊(duì)，為客戶提供加工工藝、技術(shù)和項(xiàng)目解決方案，綜合實(shí)力在全國同行業(yè)中居前列。1.4主要起草人工作情況標(biāo)準(zhǔn)主編單位贛州澳克泰工具技術(shù)有限公司全面負(fù)責(zé)標(biāo)準(zhǔn)的編制統(tǒng)籌工作，牽頭開展硬質(zhì)涂層檢測技術(shù)數(shù)據(jù)調(diào)研與整理分析，組織協(xié)調(diào)各參與單位開展標(biāo)準(zhǔn)起草、方法驗(yàn)證及技術(shù)論證，主持標(biāo)準(zhǔn)文本的修訂與審核工作，確保標(biāo)準(zhǔn)制定的科學(xué)性與適用性。崇義章源鎢業(yè)股份有限公司、鷹潭市檢驗(yàn)檢測認(rèn)證院、廈門金鷺特種合金有限公司、中南大學(xué)、廣東省科學(xué)院工業(yè)分析檢測中心、上海源創(chuàng)同章表面涂層科技有限公司等單位深度參與標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)攻關(guān)，針對X射線熒光光譜法的儀器參數(shù)設(shè)定、標(biāo)樣制備、數(shù)據(jù)校準(zhǔn)等關(guān)鍵技術(shù)環(huán)節(jié)提供多組驗(yàn)證數(shù)據(jù)，其中廣東省科學(xué)院工業(yè)分析檢測中心承擔(dān)第三方比對試驗(yàn)驗(yàn)證工作。成都美奢銳新材料有限公司、南昌硬質(zhì)合金有限責(zé)任公司、江西國創(chuàng)院新材料有限公司、蓬萊市超硬復(fù)合材料有限公司等企業(yè)進(jìn)行硬質(zhì)涂層檢測數(shù)據(jù)整理。標(biāo)準(zhǔn)主要起草人及分工見下表。表1標(biāo)準(zhǔn)主要起草人及分工序號單位起草人工作責(zé)任1贛州澳克泰工具技術(shù)有限公司鐘志強(qiáng)、謝慧芳、殷磊、李聲燕負(fù)責(zé)標(biāo)準(zhǔn)編制、審核、協(xié)調(diào)工作包括數(shù)據(jù)調(diào)研及數(shù)據(jù)整理、標(biāo)準(zhǔn)起草、驗(yàn)證等2崇義章源鎢業(yè)股份有限公司林麗萍參與標(biāo)準(zhǔn)起草，資料收集，提供相關(guān)驗(yàn)證3鷹潭市檢驗(yàn)檢測認(rèn)證院劉志英參與標(biāo)準(zhǔn)起草，資料收集，提供相關(guān)驗(yàn)證4廈門金鷺特種合金有限公司楊會(huì)珍參與標(biāo)準(zhǔn)起草，資料收集，提供相關(guān)驗(yàn)證5中南大學(xué)王守仁參與標(biāo)準(zhǔn)起草，資料收集，提供相關(guān)驗(yàn)證6廣東省科學(xué)院工業(yè)分析檢測中心魏承煬參與標(biāo)準(zhǔn)起草，資料收集，提供相關(guān)驗(yàn)證7成都美奢銳新材料有限公司劉強(qiáng)參與標(biāo)準(zhǔn)起草，資料收集整理8南昌硬質(zhì)合金有限責(zé)任公司吳愛華參與標(biāo)準(zhǔn)起草，資料收集整理9上海源創(chuàng)同章表面涂層科技有限公司譚卓鵬參與標(biāo)準(zhǔn)起草，資料收集，提供相關(guān)驗(yàn)證10江西國創(chuàng)院新材料有限公司齊維靖參與標(biāo)準(zhǔn)起草，資料收集整理11蓬萊超硬復(fù)合材料有限公司李昌業(yè)參與標(biāo)準(zhǔn)起草，資料收集整理1.5主要工作過程1.5.1立項(xiàng)階段2023年11月，贛州澳克泰工具技術(shù)有限公司向全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化委員會(huì)提交《硬質(zhì)合金硬質(zhì)涂層厚度的測定X射線熒光光譜法》的標(biāo)準(zhǔn)項(xiàng)目建議書、標(biāo)準(zhǔn)草案及標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng)說明等材料，全體委員會(huì)論證結(jié)論為同意行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)申報(bào)。2024年9月14日，工業(yè)和信息化辦公廳下達(dá)了行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《硬質(zhì)合金硬質(zhì)涂層厚度的測定X射線熒光光譜法》編制項(xiàng)目由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口，制定工作由贛州澳克泰工具技術(shù)有限公司負(fù)責(zé)牽頭，項(xiàng)目計(jì)劃編號2024-1230T-YS，計(jì)劃完成年限為2025年。1.5.2起草階段2024年10月29日~11月1日全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)組織在江蘇省南京市召開了本標(biāo)準(zhǔn)的任務(wù)落實(shí)會(huì)，會(huì)上確定了本標(biāo)準(zhǔn)由贛州澳克泰工具技術(shù)有限公司牽頭制定，崇義章源鎢業(yè)股份有限公司、中南大學(xué)、廈門金鷺特種合金有限公司、廣東省科學(xué)院工業(yè)分析檢測中心、成都美奢銳新材料有限公司、南昌硬質(zhì)合金有限責(zé)任公司、上海源創(chuàng)同章表面涂層科技有限公司、江西國創(chuàng)院新材料有限公司、蓬萊市超硬復(fù)合材料有限公司等單位協(xié)助起草。贛州澳克泰工具技術(shù)有限公司接到《硬質(zhì)合金硬質(zhì)涂層厚度的測定X射線熒光光譜法》標(biāo)準(zhǔn)的制定任務(wù)后，立即組織相關(guān)技術(shù)人員成立了標(biāo)準(zhǔn)編制組，進(jìn)行了相關(guān)資料的查詢與收集工作，制訂了工作計(jì)劃和進(jìn)度安排。編制組首先研究確定并收集了相關(guān)驗(yàn)證樣品，并對方法的可行性進(jìn)行了大量的試驗(yàn)工作，在此基礎(chǔ)上，形成了本標(biāo)準(zhǔn)的征求意見稿和編制說明。1.5.3征求意見階段2025年3月4日~7日，全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)組織在安徽省合肥召開本標(biāo)準(zhǔn)的討論會(huì)，來自崇義章源鎢業(yè)股份有限公司、中南大學(xué)、株洲硬質(zhì)合金集團(tuán)有限公司、廈門金鷺硬質(zhì)合金有限公司、鷹潭市檢驗(yàn)檢測認(rèn)證院、蓬萊市超硬復(fù)合材料有限公司、鋼鐵研究總院有限公司等單位的代表對本標(biāo)準(zhǔn)討論稿進(jìn)行了認(rèn)真、細(xì)致的討論，提出了修改意見和建議。2025年5月14日~17日，全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)在山西運(yùn)城組織召開有色金屬標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)工作會(huì)。來自中南大學(xué)、崇義章源鎢業(yè)、廈門金鷺硬質(zhì)合金有限公司、成都美奢銳新材料有限公司、株洲硬質(zhì)合金集團(tuán)有限公司、鋼鐵研究總院有限公司、江西國創(chuàng)院新材料有限公司等單位代表對行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《硬質(zhì)合金硬質(zhì)涂層厚度的測定X射線熒光光譜法》進(jìn)行了認(rèn)真細(xì)致預(yù)審并提出修改意見。1.5.4審查階段2025年7月8日~11日，全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)在湖南長沙組織召開有色金屬標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)工作會(huì)。1.5.5報(bào)批階段二、標(biāo)準(zhǔn)的制定原則、主要內(nèi)容與論據(jù)2.1符合性：本文件按照GB/T1.1-2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則—第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》、GB/T20001.4-2015《標(biāo)準(zhǔn)編寫規(guī)則第4部分：試驗(yàn)方法標(biāo)準(zhǔn)》、GB/T6379.2-2004《測量方法與結(jié)果的準(zhǔn)確度（正確度與精密度）第2部分：確定標(biāo)準(zhǔn)測量方法重復(fù)性與再現(xiàn)性的基本方法》的要求進(jìn)行了編寫。2.2合理性：反映當(dāng)前國內(nèi)各相關(guān)企業(yè)的檢測技術(shù)水平，宜于應(yīng)用，經(jīng)濟(jì)上合理。2.3先進(jìn)性：本文件涉及的內(nèi)容，技術(shù)水平不低于當(dāng)前國內(nèi)先進(jìn)水平。三、標(biāo)準(zhǔn)主要內(nèi)容的確定依據(jù)及主要試驗(yàn)和驗(yàn)證情況分析3.1主要試驗(yàn)驗(yàn)證情況該方法的數(shù)據(jù)驗(yàn)證試驗(yàn)由贛州澳克泰工具技術(shù)有限公司、崇義章源鎢業(yè)股份有限公司、中南大學(xué)、廈門金鷺特種合金有限公司、廣東省科學(xué)院工業(yè)分析檢測中心、鷹潭市檢驗(yàn)檢測認(rèn)證院和上海源創(chuàng)同章表面涂層科技有限公司共同完成，第一次驗(yàn)證樣品由贛州澳克泰工具技術(shù)有限公司提供，第二次驗(yàn)證樣品由廈門金鷺特種合金有限公司，驗(yàn)證結(jié)果如下。3.2測試原理每種元素的原子都具有獨(dú)有的電子排列，對于給定的特征X射線，其能量取決于該原子的原子序數(shù)，因此，可以用校準(zhǔn)樣塊建立熒光強(qiáng)度與厚度的關(guān)系曲線，當(dāng)X射線照射樣品，激發(fā)涂層和基體中的元素，產(chǎn)生特征X射線熒光，通過檢測這些熒光的強(qiáng)度，結(jié)合已知的關(guān)系曲線，計(jì)算出硬質(zhì)涂層的厚度。3.3主要實(shí)驗(yàn)及步驟按照以下實(shí)驗(yàn)步驟進(jìn)行方法驗(yàn)證：采用與待測試樣相同的制備工藝制作校準(zhǔn)樣塊；用參考標(biāo)樣進(jìn)行自檢，以保證儀器正常使用。若儀器出現(xiàn)較大漂移，可通過測量漂移校準(zhǔn)樣塊中分析元素的X射線強(qiáng)度進(jìn)行校正；當(dāng)厚度測量誤差超過厚度的10%時(shí)，應(yīng)重新繪制標(biāo)準(zhǔn)曲線；測定校準(zhǔn)樣塊，進(jìn)行工作曲線驗(yàn)證，確保測量值在實(shí)驗(yàn)室認(rèn)可范圍內(nèi)；每個(gè)待測樣品進(jìn)行

3次平行測試，取平均值作為最終結(jié)果（保留2位小數(shù)）。

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測試流程：

①放置樣品，確保涂層區(qū)域?qū)?zhǔn)光斑。

②調(diào)用匹配的校準(zhǔn)曲線，點(diǎn)擊開始測量。

③記錄數(shù)據(jù)并檢查重復(fù)性3.4校準(zhǔn)樣塊選擇選擇以下具有代表性標(biāo)準(zhǔn)樣塊進(jìn)行實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證，第一次驗(yàn)證樣品由贛州澳克泰工具技術(shù)有限公司提供，第二次驗(yàn)證樣品由廈門金鷺特種合金有限公司提供，分別是：AlTiN涂層+A基體試樣AlTiN涂層+B基體試樣3、AlTiSiN涂層+B基體試樣4、AlTiSiN涂層+C基體試樣5、AlTiN涂層+D基體試樣3.5試驗(yàn)驗(yàn)證標(biāo)準(zhǔn)編制組在標(biāo)準(zhǔn)起草過程中開展了廣泛的驗(yàn)證工作，充分收集贛州澳克泰工具技術(shù)有限公司、崇義章源鎢業(yè)股份有限公司、中南大學(xué)、廈門金鷺特種合金有限公司、廣東省科學(xué)院工業(yè)分析檢測中心、鷹潭市檢驗(yàn)檢測認(rèn)證院和上海源創(chuàng)同章表面涂層科技有限公司測試數(shù)據(jù)。表2X射線熒光測厚第一次驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)（平均值）實(shí)驗(yàn)調(diào)研單位產(chǎn)品牌號方法1#2#3#4#5#6#7#8#9#10#1澳克泰工具技術(shù)有限公司AlTiN涂層+A基體熒光測厚（μm）1.671.741.721.791.661.801.731.531.601.64章源鎢業(yè)股份有限公司1.681.711.691.761.631.771.701.501.531.60廣東省科學(xué)院工業(yè)分析檢測中心1.721.731.781.841.711.841.641.561.641.69廈門金鷺特種合金有限公司1.721.791.771.841.711.861.751.581.651.69中南大學(xué)1.791.811.801.891.711.891.821.601.611.71鷹潭市檢驗(yàn)檢測認(rèn)證院1.781.831.791.861.701.891.811.541.591.71平均值（μm）1.731.771.761.831.691.841.741.551.601.68標(biāo)準(zhǔn)差0.0450.0440.0400.0430.0320.0430.0600.0310.0380.039RSD/%2.61%2.49%2.29%2.34%1.90%2.35%3.46%1.98%2.34%2.35%2澳克泰工具技術(shù)有限公司AlTiN涂層+B基體熒光測厚（μm）1.831.831.821.791.781.771.721.701.641.56章源鎢業(yè)股份有限公司1.831.841.831.811.781.771.721.691.631.56廣東省科學(xué)院工業(yè)分析檢測中心1.861.831.861.821.761.831.691.681.611.59廈門金鷺特種合金有限公司1.761.791.751.751.721.711.671.631.591.52中南大學(xué)1.821.811.811.791.731.801.681.641.641.61鷹潭市檢驗(yàn)檢測認(rèn)證院1.821.821.861.791.761.761.721.731.671.62平均值（μm）1.821.821.821.791.761.781.701.681.631.58標(biāo)準(zhǔn)差0.0290.0170.0360.0220.0240.0380.0210.0340.0240.034RSD/%1.62%0.94%1.97%1.25%1.38%2.16%1.24%2.02%1.47%2.18%3澳克泰工具技術(shù)有限公司AlTiSiN涂層+B基體熒光測厚（μm）3.633.603.633.743.723.493.703.483.713.40章源鎢業(yè)股份有限公司3.643.623.683.753.763.573.753.503.733.42廣東省科學(xué)院工業(yè)分析檢測中心3.503.493.553.643.633.393.593.363.573.31廈門金鷺特種合金有限公司3.603.603.653.723.753.493.693.463.703.37中南大學(xué)----------鷹潭市檢驗(yàn)檢測認(rèn)證院3.593.543.573.693.703.503.683.463.693.38平均值（μm）3.593.573.623.713.713.493.683.453.683.38標(biāo)準(zhǔn)差0.0480.0470.0480.0400.0480.0580.0520.0500.0580.039RSD/%1.34%1.30%1.32%1.08%1.30%1.68%1.41%1.45%1.56%1.16%4澳克泰工具技術(shù)有限公司AlTiSiN涂層+C基體熒光測厚（μm）3.393.343.423.493.493.473.443.533.503.44章源鎢業(yè)股份有限公司3.403.363.433.473.493.453.453.533.533.42廣東省科學(xué)院工業(yè)分析檢測中心3.483.393.493.533.533.423.393.463.443.42廈門金鷺特種合金有限公司3.503.483.523.573.603.603.533.593.583.55中南大學(xué)3.353.313.373.523.433.453.413.493.483.36鷹潭市檢驗(yàn)檢測認(rèn)證院3.473.433.493.493.483.503.493.573.523.49平均值（μm）3.433.383.453.513.503.483.453.533.513.45標(biāo)準(zhǔn)差0.0540.0560.0530.0310.0520.0580.0480.0440.0450.060RSD/%1.58%1.65%1.52%0.89%1.47%1.67%1.38%1.26%1.29%1.74%表2數(shù)據(jù)是有6家單位抽取四種產(chǎn)品進(jìn)行實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證，每種試驗(yàn)對應(yīng)不同試驗(yàn)條件其中每種產(chǎn)品的1#-3#測試10次取平均值，4#-10#測試3次取平均值，表2中實(shí)驗(yàn)1和實(shí)驗(yàn)2是AlTiN單層涂層搭配了兩種不同的基體，實(shí)驗(yàn)3和實(shí)驗(yàn)4是AlTiSiN多層涂層搭配了兩種不同的基體，試驗(yàn)通過制定校準(zhǔn)樣品來建立校準(zhǔn)曲線，進(jìn)行樣品的X射線熒光測厚，即使涂層和基體組合不同，各參與單位的測試結(jié)果任呈現(xiàn)高度一致；各組實(shí)驗(yàn)的RSD%普遍低于3.5%，不同單位測試的數(shù)據(jù)波動(dòng)較小，表明數(shù)據(jù)重復(fù)性良好。且各單位數(shù)據(jù)趨勢一致，樣品的平均值差異較小，標(biāo)準(zhǔn)差控制在0.017-0.060，方法具有較好的跨實(shí)驗(yàn)室適用性，表明不同單位對同一組實(shí)驗(yàn)測試結(jié)果重復(fù)性高，說明本標(biāo)準(zhǔn)方法測試具有普遍性。表3X射線熒光測厚第二次驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)序號調(diào)研單位產(chǎn)品牌號樣品實(shí)測值1（μm）實(shí)測值2（μm）實(shí)測值3（μm）實(shí)測值4（μm）實(shí)測值5（μm）實(shí)測值6（μm）實(shí)測值7（μm）實(shí)測值8（μm）實(shí)測值9（μm）實(shí)測值10（μm）平均值（μm）標(biāo)準(zhǔn)差1廈門金鷺AlTiN涂層+D基體1#3.523.523.473.543.513.553.543.553.463.473.510.0332#3.503.563.453.563.443.483.513.513.543.583.510.0453#3.513.423.473.493.473.443.483.443.573.463.480.0404#3.513.403.43-------3.450.0465#3.383.333.36-------3.360.0216#3.543.443.42-------3.470.0527#3.453.443.49-------3.460.0228#3.433.343.37-------3.380.0379#3.303.313.35-------3.320.02210#3.333.243.35-------3.310.0482贛州澳克泰AlTiN涂層+D基體1#3.583.563.533.533.603.563.563.563.553.553.560.0202#3.533.553.543.543.493.533.623.543.553.563.550.0313#3.503.503.483.463.423.453.483.493.483.483.470.0234#3.473.483.50-------3.480.0125#3.393.443.43-------3.420.0226#3.413.443.45-------3.430.0177#3.433.493.47-------3.460.0258#3.423.413.36-------3.400.0269#3.343.353.37-------3.350.01210#3.313.303.35-------3.320.0223崇義章源鎢業(yè)AlTiN涂層+D基體1#3.533.503.563.513.533.573.583.523.543.583.540.0272#3.513.483.523.483.553.543.523.553.483.543.520.0273#3.453.443.453.503.483.513.493.473.483.473.470.0224#3.463.493.52-------3.490.0245#3.443.423.43-------3.430.0086#3.483.413.45-------3.450.0297#3.483.493.49-------3.490.0058#3.353.383.36-------3.360.0129#3.413.353.32-------3.360.03710#3.293.303.33-------3.310.0174中南大學(xué)AlTiN涂層+D基體1#3.503.533.523.523.543.513.523.503.513.513.520.0122#3.543.543.533.533.523.523.533.543.553.553.540.0103#3.483.483.503.513.503.483.483.473.483.493.490.0124#3.583.573.553.563.593.583.593.593.563.553.570.0155#3.363.363.383.383.353.343.363.333.353.373.360.0156#3.363.363.363.373.353.363.373.383.343.363.360.0107#3.503.493.483.523.513.523.503.503.513.513.500.0128#3.303.303.313.293.323.303.293.303.313.313.300.0099#3.433.423.423.433.433.453.443.443.433.423.430.00910#3.243.243.243.233.233.243.253.233.243.243.240.0065上海原創(chuàng)同章AlTiN涂層+D基體1#3.503.523.503.573.583.523.563.563.513.553.540.0292#3.493.483.523.543.483.533.573.563.483.493.510.0333#3.483.463.503.423.483.503.493.453.513.513.480.0284#3.423.463.44-------3.440.0165#3.393.423.41-------3.410.0126#3.403.423.37-------3.400.0217#3.483.483.45-------3.470.0148#3.373.403.39-------3.390.0129#3.373.373.36-------3.370.00510#3.323.353.30-------3.320.0216鷹潭市檢驗(yàn)檢測認(rèn)證院AlTiN涂層+D基體1#3.513.513.513.563.543.533.533.533.533.543.530.0152#3.493.503.493.483.523.513.533.533.533.483.510.0203#3.483.463.443.483.483.493.463.473.483.473.470.0144#3.513.503.53-------3.510.0125#3.393.403.42-------3.400.0126#3.433.433.45-------3.440.0097#3.473.463.47-------3.470.0058#3.423.423.39-------3.410.0149#3.393.383.38-------3.380.00510#3.343.353.32-------3.340.012表3第二次驗(yàn)證樣品由廈門金鷺特種合金有限公司提供，另外5家單位進(jìn)行實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證，可以看出不同單位對同一組實(shí)驗(yàn)測試結(jié)果重復(fù)性高。表4X射線熒光測厚第二次驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)（平均值）調(diào)研單位產(chǎn)品牌號方法1#2#3#4#5#6#7#8#9#10#廈門金鷺特種合金有限公司AlTiN涂層+D基體熒光測厚（μm）3.513.513.483.453.363.473.463.383.323.31贛州澳克泰工具技術(shù)有限公司3.563.553.473.483.423.433.463.403.353.32崇義章源鎢業(yè)股份有限公司3.543.523.473.493.433.453.493.363.363.31中南大學(xué)3.523.543.493.573.363.363.503.303.433.24上海源創(chuàng)同章表面涂層科技有限公司3.543.513.483.443.413.403.473.393.373.32鷹潭市檢驗(yàn)檢測認(rèn)證院3.533.513.473.513.403.443.473.413.383.34平均值（μm）3.533.523.483.493.403.423.483.373.373.31標(biāo)準(zhǔn)差0.0150.0140.0050.0440.0290.0350.0150.0350.0340.032RSD/%0.44%0.39%0.15%1.26%0.84%1.02%0.44%1.02%1.00%0.96%表4中可以看出，不同驗(yàn)證單位采用相同的校準(zhǔn)樣塊在不同的型號的X射線熒光測厚儀的檢測結(jié)果RSD小于1.05%，滿足標(biāo)準(zhǔn)控制要求值。結(jié)合表2中四組實(shí)驗(yàn)中進(jìn)一步證實(shí)了X射線熒光測定硬質(zhì)合金涂層的高精密度和跨實(shí)驗(yàn)室一致性，說明本標(biāo)準(zhǔn)方法測試具有普遍性。3.6校準(zhǔn)樣塊實(shí)驗(yàn)表5第一次驗(yàn)證校準(zhǔn)樣塊實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)實(shí)驗(yàn)調(diào)研單位產(chǎn)品牌號校準(zhǔn)樣塊樣塊a1樣塊b1樣塊c1樣塊d1金相測厚（μm）0.702.103.906.001澳克泰工具技術(shù)有限公司AlTiN涂層+A基體熒光測厚（μm）0.722.033.925.97相對偏差2.86%3.49%0.60%0.50%崇義章源鎢業(yè)股份有限公司熒光測厚（μm）0.722.013.895.91相對偏差3.33%4.13%0.34%1.56%廣東省科學(xué)院工業(yè)分析檢測中心熒光測厚（μm）0.752.123.986.04相對偏差6.67%0.95%2.14%0.72%廈門金鷺特種合金有限公司熒光測厚（μm）0.762.103.935.99相對偏差8.57%0.00%0.77%0.22%中南大學(xué)熒光測厚（μm）0.752.133.926.00相對偏差6.67%1.43%0.60%0.06%標(biāo)準(zhǔn)差0.0150.0490.0310.044實(shí)驗(yàn)調(diào)研單位產(chǎn)品牌號校準(zhǔn)樣塊樣塊a2樣塊b2樣塊c2樣塊d2金相測厚（μm）0.802.103.906.502澳克泰工具技術(shù)有限公司AlTiN涂層+B基體熒光測厚（μm）0.772.174.016.25相對偏差3.75%3.17%2.74%3.85%崇義章源鎢業(yè)股份有限公司熒光測厚（μm）0.772.134.036.21相對偏差3.75%1.43%3.42%4.51%廣東省科學(xué)院工業(yè)分析檢測中心熒光測厚（μm）0.812.133.936.27相對偏差1.25%1.43%0.77%3.54%廈門金鷺特種合金有限公司熒光測厚（μm）0.862.223.785.85相對偏差7.08%5.71%3.08%9.95%中南大學(xué)熒光測厚（μm）0.772.113.876.22相對偏差3.33%0.48%0.85%4.36%標(biāo)準(zhǔn)差0.0340.0390.0930.155實(shí)驗(yàn)調(diào)研單位產(chǎn)品牌號校準(zhǔn)樣塊樣塊a3樣塊b3樣塊c3金相測厚（μm）1.122.906.123澳克泰工具技術(shù)有限公司AlTiSiN涂層+B基體熒光測厚（μm）1.103.025.92相對偏差1.79%4.14%3.21%崇義章源鎢業(yè)股份有限公司熒光測厚（μm）1.103.065.92相對偏差1.79%5.52%3.21%廣東省科學(xué)院工業(yè)分析檢測中心熒光測厚（μm）1.122.876.11相對偏差0.30%1.03%0.11%廈門金鷺特種合金有限公司熒光測厚（μm）1.022.965.97相對偏差8.93%2.07%2.40%中南大學(xué)熒光測厚（μm）---相對偏差---標(biāo)準(zhǔn)差0.0390.0720.078實(shí)驗(yàn)調(diào)研單位產(chǎn)品牌號標(biāo)準(zhǔn)樣塊樣塊a4樣塊b4樣塊c4金相測厚（μm）1.153.726.514澳克泰工具技術(shù)有限公司AlTiSiN涂層+C基體熒光測厚（μm）1.163.806.45相對偏差1.16%2.15%0.92%崇義章源鎢業(yè)股份有限公司熒光測厚（μm）1.153.756.40相對偏差0.29%0.72%1.69%廣東省科學(xué)院工業(yè)分析檢測中心熒光測厚（μm）1.193.756.38相對偏差3.19%0.81%2.05%廈門金鷺特種合金有限公司熒光測厚（μm）1.233.826.34相對偏差7.25%2.78%2.56%中南大學(xué)熒光測厚（μm）1.203.776.38相對偏差4.35%1.25%2.05%標(biāo)準(zhǔn)差0.0280.0300.035相對偏差是指熒光測厚與金相測厚的絕對偏差占金相測厚值的百分比。校準(zhǔn)樣塊實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)是使用校準(zhǔn)樣塊對校正曲線正確度進(jìn)行確認(rèn)。從表5可以看出熒光測厚與金相測厚趨于一致，各家單位根據(jù)校準(zhǔn)樣塊建立的校正曲線符合標(biāo)準(zhǔn)文件的認(rèn)可范圍內(nèi)，符合行標(biāo)要求，該校準(zhǔn)曲線檢測的結(jié)果具有正確性。表6第二次驗(yàn)證校準(zhǔn)樣塊試驗(yàn)數(shù)據(jù)實(shí)驗(yàn)調(diào)研單位產(chǎn)品牌號校準(zhǔn)樣塊樣塊a5樣塊b5樣塊c5金相測厚（μm）1.413.814.831廈門金鷺特種合金有限公司AlTiN涂層+D基體熒光測厚（μm）實(shí)測值11.363.874.71實(shí)測值21.373.824.77實(shí)測值31.373.804.76平均值1.373.834.75標(biāo)準(zhǔn)差0.0050.0290.026相對偏差3.07%0.52%1.73%2澳克泰工具技術(shù)有限公司熒光測厚（μm）實(shí)測值11.423.724.81實(shí)測值21.463.774.87實(shí)測值31.453.784.82平均值1.443.764.83標(biāo)準(zhǔn)差0.0170.0260.026相對偏差2.36%1.40%0.07%3章源鎢業(yè)股份有限公司熒光測厚（μm）實(shí)測值11.433.794.91實(shí)測值21.423.804.97實(shí)測值31.463.774.94平均值1.443.794.94標(biāo)準(zhǔn)差0.0170.0120.024相對偏差1.89%0.61%2.28%4中南大學(xué)熒光測厚（μm）實(shí)測值11.413.814.82實(shí)測值21.423.814.83實(shí)測值31.413.824.83平均值1.413.814.83標(biāo)準(zhǔn)差0.0050.0050.005相對偏差0.24%0.09%0.07%5上海源創(chuàng)同章表面涂層科技有限公司熒光測厚（μm）實(shí)測值11.413.794.85實(shí)測值21.453.804.88實(shí)測值31.403.794.86平均值1.423.794.86標(biāo)準(zhǔn)差0.0220.0050.012相對偏差0.71%0.44%0.69%6鷹潭市檢驗(yàn)檢測認(rèn)證院熒光測厚（μm）實(shí)測值11.423.794.85實(shí)測值21.413.774.84實(shí)測值31.43.794.86平均值1.413.784.85標(biāo)準(zhǔn)差0.0080.0090.008相對偏差0.00%0.70%0.41%表6中可以看出，第二次驗(yàn)證校準(zhǔn)樣塊試驗(yàn)數(shù)據(jù)可以看出相對偏差＜5%，不同單位使用同一校準(zhǔn)樣塊建立的標(biāo)準(zhǔn)曲線是正確的，熒光測厚與金相測厚趨于一致，各家單位根據(jù)校準(zhǔn)樣塊建立的校正曲線符合標(biāo)準(zhǔn)文件的認(rèn)可范圍內(nèi)，該校準(zhǔn)曲線檢測的結(jié)果具有正確性。3.7工作曲線準(zhǔn)確性驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)表7工作曲線準(zhǔn)確性驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)測定序號調(diào)研單位產(chǎn)品牌號AlTiN涂層+A基體AlTiN涂層+B基體AlTiSiN涂層+B基體AlTiSiN涂層+C基體樣塊1-1#2-1#3-1#4-1#電鏡測厚（μm）1.851.903.433.331贛州澳克泰工具技術(shù)有限公司熒光測厚（μm）1.971.863.603.372崇義章源鎢業(yè)股份有限公司1.941.913.593.403廣東省科學(xué)院工業(yè)分析檢測中心1.971.873.523.244廈門金鷺特種合金有限公司1.972.053.483.275中南大學(xué)1.971.80-3.226鷹潭市檢驗(yàn)檢測認(rèn)證院1.881.923.483.34平均值（μm）1.951.903.543.31標(biāo)準(zhǔn)差0.0330.0760.0530.068RSD1.70%4.00%1.49%2.06%相對偏差是指熒光測厚與電鏡測厚的絕對偏差占電鏡測厚值的百分比；工作曲線驗(yàn)證試樣是測定控制樣品（控制樣品是與待測樣品具有相近的化學(xué)成分和涂層結(jié)構(gòu)，且涂層厚度已知的樣品）一驗(yàn)證標(biāo)準(zhǔn)曲線的準(zhǔn)確度，由表7可知，行業(yè)內(nèi)6家典型代表企業(yè)提供的四組工作曲線準(zhǔn)確性驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)測定數(shù)據(jù)中，平均偏差小于10%，滿足標(biāo)準(zhǔn)控制要求值，證明6家單位建立的校準(zhǔn)曲線的準(zhǔn)確性。3.8精密度測定表8第一輪驗(yàn)證精密度測定數(shù)據(jù)產(chǎn)品牌號樣品調(diào)研單位實(shí)測值1（μm）實(shí)測值2（μm）實(shí)測值3（μm）實(shí)測值4（μm）實(shí)測值5（μm）實(shí)測值6（μm）實(shí)測值7（μm）實(shí)測值8（μm）實(shí)測值9（μm）實(shí)測值10（μm）平均值（μm）標(biāo)準(zhǔn)差RSDAlTiN涂層+A基體1#贛州澳克泰1.661.691.681.681.641.631.691.691.671.701.670.0211.25%崇義章源鎢業(yè)1.691.691.671.641.661.691.671.651.661.741.680.0261.53%廣東省科學(xué)院1.731.711.751.751.691.71.721.691.721.71.720.0201.17%廈門金鷺1.781.761.711.761.721.751.681.691.721.661.720.0352.06%中南大學(xué)1.751.831.811.721.791.821.731.821.751.711.770.0422.34%鷹潭市檢驗(yàn)檢測認(rèn)證院1.781.791.731.7691.811.761.781.791.781.81.780.0201.14%2#贛州澳克泰1.781.741.731.731.791.731.741.741.691.741.740.0251.44%崇義章源鎢業(yè)1.731.711.741.671.691.711.681.721.71.731.710.0211.22%廣東省科學(xué)院1.771.771.751.681.731.691.771.711.691.761.730.0331.92%廈門金鷺1.801.841.801.811.801.731.781.811.751.751.790.0311.72%中南大學(xué)1.831.781.771.911.751.831.781.781.81.871.810.0452.49%鷹潭市檢驗(yàn)檢測認(rèn)證院1.781.821.831.851.841.811.871.831.841.831.830.0221.19%3#贛州澳克泰1.751.741.691.721.721.731.721.731.721.721.720.0140.83%崇義章源鎢業(yè)1.701.701.691.681.691.661.731.661.681.691.690.0181.10%廣東省科學(xué)院1.781.721.771.791.801.731.771.811.781.811.780.0281.56%廈門金鷺1.791.771.781.781.781.771.711.761.791.781.770.0211.19%中南大學(xué)1.761.791.791.851.761.821.881.81.821.781.810.0351.92%鷹潭市檢驗(yàn)檢測認(rèn)證院1.781.81.791.811.791.791.781.81.811.761.790.0140.77%AlTiN涂層+B基體1#贛州澳克泰1.871.811.801.841.831.831.811.821.821.831.830.0180.97%崇義章源鎢業(yè)1.831.831.821.821.861.851.841.811.831.841.830.0140.74%廣東省科學(xué)院1.881.821.831.831.911.91.851.851.881.881.860.0281.52%廈門金鷺1.971.981.961.871.941.981.922.031.991.951.960.0392.00%中南大學(xué)1.861.831.861.831.841.821.821.751.771.81.820.0321.78%鷹潭市檢驗(yàn)檢測認(rèn)證院1.831.821.791.831.791.841.831.791.811.821.820.0170.95%2#贛州澳克泰1.821.801.841.841.831.831.821.831.871.851.830.0170.93%崇義章源鎢業(yè)1.811.811.831.841.821.871.871.861.831.841.840.0201.11%廣東省科學(xué)院1.821.821.851.811.81.861.851.821.81.821.830.0191.05%廈門金鷺1.972.021.981.951.991.952.012.001.991.981.980.0211.06%中南大學(xué)1.831.811.821.81.811.831.831.831.811.761.810.0201.08%鷹潭市檢驗(yàn)檢測認(rèn)證院1.821.831.811.831.831.811.841.81.791.811.820.0140.78%3#贛州澳克泰1.831.821.801.811.831.841.821.811.791.821.820.0140.74%崇義章源鎢業(yè)1.821.851.841.871.841.81.841.821.811.841.830.0191.02%廣東省科學(xué)院1.851.861.821.881.831.871.881.891.881.861.860.0211.12%廈門金鷺1.931.951.931.902.011.921.931.951.941.981.940.0281.46%中南大學(xué)1.81.81.781.831.711.861.811.81.911.811.810.0472.58%鷹潭市檢驗(yàn)檢測認(rèn)證院1.831.861.841.861.871.881.851.841.831.871.850.0160.86%AlTiSiN涂層+B基體1#贛州澳克泰3.673.63.653.633.633.623.623.633.613.633.630.0180.49%崇義章源鎢業(yè)3.643.663.623.623.643.583.663.663.673.653.640.0240.67%廣東省科學(xué)院3.523.513.533.513.483.483.513.493.503.513.500.0150.43%廈門金鷺3.603.593.553.633.613.583.623.593.663.593.600.0270.76%中南大學(xué)－－－－－－－－－－－－－鷹潭市檢驗(yàn)檢測認(rèn)證院3.593.613.583.583.563.573.613.533.63.623.590.0250.69%2#贛州澳克泰3.63.593.613.593.63.63.613.63.583.573.600.0110.32%崇義章源鎢業(yè)3.633.633.643.623.613.643.593.653.593.573.620.0240.66%廣東省科學(xué)院3.473.483.513.503.503.493.493.493.483.473.490.0120.34%廈門金鷺3.633.603.663.633.523.603.603.593.553.573.600.0371.03%中南大學(xué)－－－－－－－－－－－－－鷹潭市檢驗(yàn)檢測認(rèn)證院3.603.563.533.573.53.513.533.563.553.533.540.0270.76%3#贛州澳克泰3.643.623.633.653.633.643.653.623.613.643.630.0120.33%崇義章源鎢業(yè)3.683.673.633.693.723.73.723.623.683.723.680.0320.87%廣東省科學(xué)院3.573.533.563.523.543.563.543.573.583.563.550.0180.50%廈門金鷺3.683.673.673.653.633.623.603.593.663.683.650.0300.82%中南大學(xué)－－－－－－－－－－－－－鷹潭市檢驗(yàn)檢測認(rèn)證院3.623.593.563.593.563.533.563.583.573.583.570.0220.61%AlTiSiN涂層+C基體1#贛州澳克泰3.43.393.373.373.383.383.393.413.43.383.390.0120.36%崇義章源鎢業(yè)3.413.393.413.43.393.423.393.43.373.463.400.0220.64%廣東省科學(xué)院3.453.513.483.483.533.523.493.443.453.483.480.0280.79%廈門金鷺3.553.523.443.473.483.553.473.473.543.523.500.0361.02%中南大學(xué)3.433.393.373.263.273.313.443.333.393.353.350.0561.67%鷹潭市檢驗(yàn)檢測認(rèn)證院3.473.463.513.433.483.423.493.423.493.513.470.0310.90%AlTiSiN涂層+C基體2#贛州澳克泰3.343.343.343.373.343.323.323.363.353.353.340.0140.42%崇義章源鎢業(yè)3.373.383.383.353.353.363.333.363.353.363.360.0140.41%廣東省科學(xué)院3.373.373.393.363.413.43.383.383.393.423.390.0170.50%廈門金鷺3.503.423.503.473.493.473.503.473.433.503.480.0270.77%中南大學(xué)3.313.263.293.293.283.363.293.293.293.393.310.0361.08%鷹潭市檢驗(yàn)檢測認(rèn)證院3.433.413.393.463.413.433.423.443.453.433.430.0190.54%AlTiSiN涂層+C基體3#贛州澳克泰3.413.423.43.423.453.423.413.433.443.423.420.0130.39%崇義章源鎢業(yè)3.433.433.423.423.443.433.383.453.443.443.430.0170.51%廣東省科學(xué)院3.483.493.523.513.513.493.463.483.483.473.490.0170.50%廈門金鷺3.523.513.543.543.563.513.493.553.523.493.520.0220.62%中南大學(xué)3.443.323.343.33.413.423.43.393.33.363.370.0461.37%鷹潭市檢驗(yàn)檢測認(rèn)證院3.493.463.493.513.523.483.453.493.513.533.490.0230.66%由表8可知，行業(yè)內(nèi)6家典型代表企業(yè)提供的AlTiN單層+A基體實(shí)驗(yàn)十次測定結(jié)果的相對標(biāo)準(zhǔn)差為1.59%，AlTiN涂層+B基體實(shí)驗(yàn)十次測定結(jié)果的相對標(biāo)準(zhǔn)差為1.28%，AlTiSiN涂層+B基體實(shí)驗(yàn)十次測定結(jié)果的相對標(biāo)準(zhǔn)差為0.60%；AlTiSiN涂層+C基體實(shí)驗(yàn)十次測定結(jié)果的相對標(biāo)準(zhǔn)差為0.74%。表明即使涂層和基體組合不同，各單位數(shù)據(jù)趨勢一致，X射線熒光測定硬質(zhì)合金涂層的高精密度和跨實(shí)驗(yàn)室一致性，說明本標(biāo)準(zhǔn)方法測試具有普遍性。表9第二輪驗(yàn)證精密度測定數(shù)據(jù)樣品1#調(diào)研單位實(shí)測值1（μm）實(shí)測值2（μm）實(shí)測值3（μm）實(shí)測值4（μm）實(shí)測值5（μm）實(shí)測值6（μm）實(shí)測值7（μm）實(shí)測值8（μm）實(shí)測值9（μm）實(shí)測值10（μm）平均值（μm）標(biāo)準(zhǔn)差RSD廈門金鷺3.523.523.473.543.513.553.543.553.463.473.510.0330.94%贛州澳克泰3.583.563.533.533.603.563.563.563.553.553.56