賽瑞達管式PECVD作業(yè)指導書溫州中硅科技有限公司版本/狀態(tài)文獻編號頁碼部門電池生產(chǎn)部1/141目的1.1為確保生產(chǎn)的順利進行、工藝正常穩(wěn)定，符合技術規(guī)定。1.2為本工序生產(chǎn)人員提供基本的生產(chǎn)作業(yè)指導文獻。2合用范疇2.1本文獻規(guī)定了管式PE工序機器操作辦法和生產(chǎn)操作規(guī)程。本文獻合用于管式PE工序操作崗位。3規(guī)范性引用文獻1賽瑞達PECVD設備操作維護手冊；橢偏儀檢測作業(yè)指導書；石墨舟清洗作業(yè)指導書；制程不合格品解決方法。4術語和定義4.1PECVD名詞化學全名：MicrowaveRemotePlasmaEnhanceChemicalVapourDeposition中文解釋：微波間等離子體增強化學氣相沉積PECVD：是借助微波或射頻等使含有薄膜構成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子化學活性很強，很容易發(fā)生反映，在基片上沉積出所盼望的薄膜。為了使化學反映能在較低的溫度下進行，運用了等離子體的活性來增進反映，因而這種CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積(PECVD).4.2實驗機理：是借助微波或射頻等使含有薄膜構成原子的氣體，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發(fā)生反映，在基片上沉積出所盼望的薄膜。4.3PECVD的目的和作用1，減反膜在太陽電池表面沉積深藍色減反膜-SiN膜。對光的減反射能力增賽瑞達管式PECVD作業(yè)指導書溫州中硅科技有限公司版本/狀態(tài)文獻編號頁碼部門電池生產(chǎn)部2/14加短路電流。其還含有卓越的抗氧化和絕緣性能，同時含有良好的阻擋鈉離子、掩蔽金屬和水蒸汽擴散的能力；它的化學穩(wěn)定性也較好，除氫氟酸和熱磷酸能緩慢腐蝕外，其它酸與它基本不起作用5職責5.1技術部人員制訂本文獻，如需要修改，由電池技術部工藝人員提出本文獻的修改申請。5.2生產(chǎn)部鍍膜崗位員工須嚴格按照本文獻的規(guī)定進行操作。5.3品管部和技術部負責按文獻規(guī)定對工藝進行檢查、監(jiān)督。6內容6.1本職工作：6.1.1）．純熟掌握PECVD崗位的工藝流程，日常操作設備及工夾具的掌握6.1.2）．理解PECVD崗位使用的多個原輔料的特性（NH3、SiH4、N2））做到能對的識別，對的使用6,1,3）．能夠分清鈍化后硅片的擴散面與非擴散面，確保擴散面與鍍膜面一致。6.1.4）．懂得鍍膜質量優(yōu)劣的區(qū)別，能根據(jù)鍍膜質量對的鑒定與否需要返工。6.1.5）．懂得噴頭的日常清理，以確保鍍膜均勻。6.1.6）．懂得維護設備，確保反映腔的純凈度。6.1.7）．懂得各《操作統(tǒng)計》及《工序流程卡》的對的填寫，確保生產(chǎn)過程中的統(tǒng)計精確。6.1.8)協(xié)同PECVD員工不停提高并保持工藝衛(wèi)生按原則作業(yè)進行文明生產(chǎn)。6.1.9)能及時發(fā)現(xiàn)生產(chǎn)過程中的多個問題，并及時向上級報告，爭取在第一時間內解決問題。6.1.10)生產(chǎn)人員在取片時不要摩擦硅表面的氮化硅膜、在工序長的指導下對錯誤的操作手法及時改正。6.1.11)與組員團結協(xié)作，共創(chuàng)故意的工作環(huán)境。賽瑞達管式PECVD作業(yè)指導書溫州中硅科技有限公司版本/狀態(tài)文獻編號頁碼部門電池生產(chǎn)部3/146.2產(chǎn)前準備圖1圖2口罩汗布手套PVC手套6.2.1）、（見圖1）準時做好交接班工作，確保班組之間的帳、物相符，檢查石墨舟口罩汗布手套PVC手套圖（1）6.2.2）、（見圖2）穿好無塵服和無塵鞋，戴好工作帽和口罩，并按工藝衛(wèi)生規(guī)定搞好安全衛(wèi)生工作。圖（2）賽瑞達管式PECVD作業(yè)指導書溫州中硅科技有限公司版本/狀態(tài)文獻編號頁碼部門電池生產(chǎn)部4/146.2.3）、（見圖3）按《設備操作規(guī)程》中的規(guī)定檢查水、電、氣與否達成使用規(guī)定，開機以及檢查設備與否處在良好的運行狀態(tài)。圖（3）賽瑞達管式PECVD作業(yè)指導書溫州中硅科技有限公司版本/狀態(tài)文獻編號頁碼部門電池生產(chǎn)部5/14賽瑞達PECVD設備操作注意事項：6.3.1)（見圖4）臂槳處在“上限位”位置時，管內有舟時不可手動進槳圖（4）此垂直舟位為正值6.3.2)（見圖5）臂槳處在“下位”位置時，槳上有舟時不可手動進舟。c圖（5）此垂直舟位為負值賽瑞達管式PECVD作業(yè)指導書溫州中硅科技有限公司版本/狀態(tài)文獻編號頁碼部門電池生產(chǎn)部6/14（見圖6）時，報警顯示中有紅色報警，不準切換到自動運行狀態(tài)。圖（6）（見圖7）取放石墨舟必須兩個人操作，嚴禁一人搬運石墨舟。圖(7)賽瑞達管式PECVD作業(yè)指導書溫州中硅科技有限公司版本/狀態(tài)文獻編號頁碼部門電池生產(chǎn)部7/14進舟、退舟失敗報警時，一定要檢查舟的位置與否在合理的位置，才可操作，自動/手動的切換要謹慎，若舟不在對的位置請手動移動到對的位置后再對報警進行操作。6.3.6)上料時必須要看到機械手把舟平穩(wěn)的放到槳上后來，操作人員才能夠離開設備。6.3.7)不要隨意把頭伸進機器內，注意不要被機械運動所傷。設備運動機構有異常時按下急停后及時聯(lián)系設備人員。6.3.8)下料后及時把舟放入冷卻房，小車解鎖后嚴禁放置在設備中不移走。6.3.9)出現(xiàn)返工片要及時告知當班工藝人員查找問題。6.3.10)當機器出現(xiàn)報警時及時告知工序負責人或工藝設備人員。6.3.11)生產(chǎn)員工嚴禁更改工藝參數(shù)。6.4作業(yè)過程：6.4.1膜厚折射率監(jiān)控(以下圖)檢測辦法（參見《橢偏儀作業(yè)指導書》）；檢測原則片內85±5nm片內2.05±0.03；監(jiān)控頻率：每兩小時測量統(tǒng)計一次。6.4.3不合格品解決辦法合格品按照正常程序轉序；規(guī)定的不合格品，按照文獻規(guī)定進行解決；賽瑞達管式PECVD作業(yè)指導書溫州中硅科技有限公司版本/狀態(tài)文獻編號頁碼部門電池生產(chǎn)部8/146.5操作流程6.5.1、裝片：確認ＰＳＧ后的來片擴散面（普通根據(jù)片盒標記）．裝片次序普通從左手至右次序每槽插一片（可按個人左右手習慣）后將石墨舟旋轉１８０度再按次序每槽添加一片．雙片的背靠背面為非擴散面．確保每片擴散面朝外。（如果是雙面擴散則揀無色斑的為鍍膜面進行鍍膜）。6.5.2、（見圖8）硅片按規(guī)定放入石墨舟內，輕拿輕放，注意卡入工藝點貼緊石墨舟壁內新員工按工序長的辦法去做。圖（8）6.5.3、（見圖9）硅片裝載完畢后,將石墨舟依次放置在貨架車上,確認石墨舟的電極方向（參考設備操作規(guī)程）．后將貨架車推至上料臺，放準位置然后在操作,每次放舟時作業(yè)員必須看著舟進入反映腔內。圖（9）賽瑞達管式PECVD作業(yè)指導書溫州中硅科技有限公司版本/狀態(tài)文獻編號頁碼部門電池生產(chǎn)部9/146,5，4、（見圖10）.程序運行完畢后，將石墨舟卸至貨架車上推至冷卻房冷卻．待硅片冷卻后用吸筆取下5片單片(固定方向固定點從爐口到爐尾)用橢偏儀測試膜厚和折射率并進行統(tǒng)計。圖（10）,6.5.5（見圖11）、.從石墨舟上卸下硅片，放入片盒內，鍍膜面盡量避免互相摩擦。認真填寫好流轉單和返工及破片的狀況后移交下一工序。圖（11）賽瑞達管式PECVD作業(yè)指導書溫州中硅科技有限公司版本/狀態(tài)文獻編號頁碼部門電池生產(chǎn)部10/146.6、責任本工序的全體生產(chǎn)員工嚴格按本作業(yè)指導書的規(guī)定做好生產(chǎn)和質量的自控工作；工序長和生產(chǎn)班長等嚴格按照本作業(yè)指導書的規(guī)定監(jiān)控好本工序的生產(chǎn)作業(yè)和質量控制工作。出現(xiàn)工藝或設備問題，應立刻告知工藝人員或設備人員進行解決，不得私自進行調節(jié)；生產(chǎn)過程中，嚴禁員工嬉戲打鬧；生產(chǎn)員工須嚴格恪守車間勞動紀律及工藝衛(wèi)生規(guī)定；生產(chǎn)過程中應時刻保持PVC手套干凈，一旦沾污，需立刻更換；普通PVC手套每一小時更換一次；生產(chǎn)過程中要時刻關注設備的運行狀況，需要離開工作崗位時，需要找人代為關注設備運行狀況；工藝人員在進行工藝實驗時，須持有對應的工藝協(xié)作單，效率排查實驗除外；在進行正常工藝實驗時，生產(chǎn)人員須按實驗規(guī)定全力配合協(xié)助工藝人員完畢實驗；賽瑞達管式PECVD作業(yè)指導書溫州中硅科技有限公司版本/狀態(tài)文獻編號頁碼部門電池生產(chǎn)部11/147統(tǒng)計7.1工藝參數(shù)范疇參數(shù)SiN膜的作用備注70…75…80nm膜的厚度對最大的光吸取為最佳的減反膜參數(shù)在燒結后膜的光學特性有某些變化1.9…2.0…2.1…2.2折射率對最大的光吸取為最佳的減反膜參數(shù)在燒結后膜的光學特性有某些變化+-1…+-3…+-5%膜的均勻性氫對硅表面的鈍化強烈依賴燒結工藝氫對體內的鈍化強烈依賴硅片的體材料氮化硅顏色與厚度的對照表顏色厚度（nm）顏色厚度（nm）顏色厚度（nm）硅本色0-20很淡藍色100-110藍色210-230褐色20-40硅本色110-120藍綠色230-250黃褐色40-50淡黃色120-130淺綠色250-280紅色55-70黃色130-150橙黃色280-300深藍色73-80橙黃色150-180紅色300-330藍色80-93紅色180-190淡藍色93-100深紅色190-210此工藝參數(shù)僅可作參考，要根據(jù)硅電池片的性質所決定其性能參數(shù)賽瑞達管式PECVD作業(yè)指導書溫州中硅科技有限公司版本/狀態(tài)文獻編號頁碼部門電池生產(chǎn)部12/147.2、工藝衛(wèi)生和安全：7.2.1）氨氣：無水氨氣是一種刺激性、無色、可燃的儲存于鋼瓶的液化壓縮氣體。氨氣會嚴重灼傷眼、皮膚及呼吸道。當它在空氣中的濃度超出15%時有立刻造成火災及爆炸的危險，因此進入這樣的區(qū)域前必須排空。進入濃度超出暴露極限的區(qū)域要佩戴自給式呼吸器。大規(guī)模泄露時需要全身防護服，并應隨時意識到潛在的火災和爆炸危險。暴露在氨氣中會對眼睛造成中度到重度的刺激。氨氣強烈地刺激鼻子、喉嚨和肺。癥狀涉及灼傷感、咳嗽、喘息加重、氣短、頭痛及惡心。過分暴露會影響中樞神經(jīng)系統(tǒng)并會造成痙攣和失去知覺。上呼吸道易受傷害并造成氣管炎。聲帶在高濃度下特別容易受到腐蝕，下呼吸道傷害會造成水腫和出血，暴露在5000ppm下5分鐘會造成死亡。如發(fā)生泄露，從泄漏區(qū)疏散全部的人，切斷氨氣泄漏源，然后根據(jù)燃燒的物質進行滅火。由于受熱鋼瓶內壓力會升高，如果泄壓裝置功效失靈，會引發(fā)鋼瓶爆炸。7.2.2）防護方法：眼睛接觸：用大量的水沖洗，立刻進行醫(yī)療解決。吸入：將人員移到空氣清新處，若呼吸困難，則輸氧，并快速進行醫(yī)務解決。皮膚接觸：用大量水沖洗，立刻脫掉被污染的衣服，并立刻進行藥品解決。如發(fā)生火災，滅火劑：干粉、二氧化碳或水7.2.3）硅烷：硅烷是一種無色、與空氣反映并會引發(fā)窒息的氣體。該氣體普通與空氣接觸會引發(fā)燃燒并放出很濃的白色無定型二氧化硅煙霧。它對健康的首要危害是它自燃的火焰會引發(fā)嚴重的熱灼傷。如果嚴重甚至會致命。如果火焰或高溫作用在硅烷鋼瓶的某一部分會使鋼瓶在安全閥啟動之前爆炸，如果泄放硅烷時壓力過高或速度過快，會引發(fā)滯后性的爆炸。泄漏的硅烷如沒有自燃會非常危險，不要靠近，不要試圖在切斷氣源之前滅火。硅烷會刺激眼睛，硅烷分解產(chǎn)生的無定型二氧化硅顆粒會引發(fā)眼睛刺激。吸賽瑞達管式PECVD作業(yè)指導書溫州中硅科技有限公司版本/狀態(tài)文獻編號頁碼部門電池生產(chǎn)部13/14入高濃度的硅烷會引發(fā)頭痛、惡心、頭暈并刺激上呼吸道。硅烷會刺激呼吸系統(tǒng)及粘膜。過分吸入硅烷會引發(fā)肺炎和腎病。硅烷會刺激皮膚、硅烷分解產(chǎn)生無定型二氧化硅顆粒會引發(fā)皮膚刺激。如發(fā)生泄露，切斷氣源滅火，用水霧減少空氣中形成的燃燒產(chǎn)物，不要用鹵化物類滅火器。從最遠的距離用水冷卻暴露在火焰中的鋼瓶。從泄漏區(qū)疏散全部人，切斷氣源，根據(jù)燃燒的物質滅火。由于熱量的作用氣瓶內壓力會升高，如果泄壓裝置失靈會引發(fā)鋼瓶爆炸。7.2.4防護方法：由于硅烷泄漏引發(fā)人員灼傷應由受過培訓的人員進行急救，并立刻謀求醫(yī)療解決。眼睛接觸：應立刻用水沖洗最少15分鐘，水流不要太快，同時翻開眼瞼