標準解讀

《GB/T 38616-2020 納米定位與掃描平臺術語》是中國國家標準之一，專門針對納米技術領域內(nèi)使用的定位與掃描平臺相關術語進行了定義。該標準適用于從事納米科學研究、開發(fā)及應用的相關人員，為行業(yè)內(nèi)交流提供了統(tǒng)一的語言基礎。根據(jù)標準內(nèi)容，其主要涵蓋了以下幾個方面的術語：

  • 基本概念：包括了對納米定位技術和掃描平臺的基本解釋，明確了這些設備和技術在納米尺度上進行精確位置控制和測量的能力。
  • 系統(tǒng)組成：描述了構成納米定位與掃描平臺的主要部件及其功能，如壓電驅(qū)動器、傳感器、控制器等，并對各組件的工作原理進行了簡要說明。
  • 性能指標：列舉了一系列評價納米定位與掃描平臺性能的關鍵參數(shù)，例如分辨率、重復精度、最大行程范圍等，幫助用戶了解不同產(chǎn)品的特性和適用場景。
  • 應用場景：概述了幾種典型的應用領域，比如生物醫(yī)學成像、材料科學研究以及微納加工等，在這些領域中納米級的精準度至關重要。


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....

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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2020-04-28 頒布
  • 2020-11-01 實施
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文檔簡介

ICS0104039

N10..

中華人民共和國國家標準

GB/T38616—2020

納米定位與掃描平臺術語

Terminologyfornanopositioningandscanningstage

2020-04-28發(fā)布2020-11-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標準化管理委員會

GB/T38616—2020

目次

前言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

通用術語

2…………………1

檢測術語

3…………………2

索引

……………………………7

Ⅰ

GB/T38616—2020

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國電子測量儀器標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC153)。

本標準起草單位沈陽建筑大學三英精控天津儀器設備有限公司廣東工業(yè)大學中國計量科學

:、()、、

研究院蘇州昊通儀器科技有限公司沈陽理工大學

、、。

本標準主要起草人須穎戴敬安冬邵萌施玉書賈靜戴超文杰王賀

:、、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T38616—2020

納米定位與掃描平臺術語

1范圍

本標準界定了納米定位與掃描平臺以下簡稱平臺的術語定義

()。

本標準適用于納米定位與掃描平臺產(chǎn)品參數(shù)的定義

。

2通用術語

21

.

壓電陶瓷驅(qū)動器piezoactuator

利用縱向壓電效應將電能轉(zhuǎn)化為機械能的陶瓷元件

。

22

.

柔性鉸鏈機構flexurehingemechanism

利用材料彈性形變產(chǎn)生位移的一種特殊運動副具有無機械摩擦運動靈敏度高位移分辨力高等

,、、

特點常用于平臺傳動導向機構

,。

注根據(jù)橫截面切口形狀可以將柔性鉸鏈分為直角型橢圓形過渡圓角型以及正圓形等如圖所示

::、、,1。

a直角型柔性鉸鏈b橢圓形柔性鉸鏈c過渡圓角型柔性鉸鏈d正圓形柔性鉸鏈

))))

圖1按橫截面切口形狀分類的柔性鉸鏈

23

.

納米定位與掃描平臺nanopositioningandscanningstage

基于壓電陶瓷驅(qū)動器和柔性鉸鏈機構的具有納米量級定位和掃描功能的平臺

。

24

.

平臺材料stagematerial

用于制造平臺主體機械結構的物質(zhì)

。

25

.

平臺尺寸stagesize

表征平臺外部輪廓的幾何量

。

注通常以毫米為單位

:(mm)。

26

.

平臺運動維度stagedegreeoffreedom

獨立的平臺運動空間坐標方向的數(shù)目

。

注可分為一維二維六維平臺

:、、……、。

27

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