ICS0104039

N10..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T38616—2020

納米定位與掃描平臺(tái)術(shù)語

Terminologyfornanopositioningandscanningstage

2020-04-28發(fā)布2020-11-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T38616—2020

目次

前言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

通用術(shù)語

2…………………1

檢測(cè)術(shù)語

3…………………2

索引

……………………………7

Ⅰ

GB/T38616—2020

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)電子測(cè)量?jī)x器標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC153)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位沈陽建筑大學(xué)三英精控天津儀器設(shè)備有限公司廣東工業(yè)大學(xué)中國(guó)計(jì)量科學(xué)

:、()、、

研究院蘇州昊通儀器科技有限公司沈陽理工大學(xué)

、、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人須穎戴敬安冬邵萌施玉書賈靜戴超文杰王賀

:、、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T38616—2020

納米定位與掃描平臺(tái)術(shù)語

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)界定了納米定位與掃描平臺(tái)以下簡(jiǎn)稱平臺(tái)的術(shù)語定義

()。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于納米定位與掃描平臺(tái)產(chǎn)品參數(shù)的定義

。

2通用術(shù)語

21

.

壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器piezoactuator

利用縱向壓電效應(yīng)將電能轉(zhuǎn)化為機(jī)械能的陶瓷元件

。

22

.

柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)flexurehingemechanism

利用材料彈性形變產(chǎn)生位移的一種特殊運(yùn)動(dòng)副具有無機(jī)械摩擦運(yùn)動(dòng)靈敏度高位移分辨力高等

,、、

特點(diǎn)常用于平臺(tái)傳動(dòng)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)

,。

注根據(jù)橫截面切口形狀可以將柔性鉸鏈分為直角型橢圓形過渡圓角型以及正圓形等如圖所示

::、、,1。

a直角型柔性鉸鏈b橢圓形柔性鉸鏈c過渡圓角型柔性鉸鏈d正圓形柔性鉸鏈

))))

圖1按橫截面切口形狀分類的柔性鉸鏈

23

.

納米定位與掃描平臺(tái)nanopositioningandscanningstage

基于壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器和柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)的具有納米量級(jí)定位和掃描功能的平臺(tái)

。

24

.

平臺(tái)材料stagematerial

用于制造平臺(tái)主體機(jī)械結(jié)構(gòu)的物質(zhì)

。

25

.

平臺(tái)尺寸stagesize

表征平臺(tái)外部輪廓的幾何量

。

注通常以毫米為單位

:(mm)。

26

.

平臺(tái)運(yùn)動(dòng)維度stagedegreeoffreedom

獨(dú)立的平臺(tái)運(yùn)動(dòng)空間坐標(biāo)方向的數(shù)目

。

注可分為一維二維六維平臺(tái)

:、、……、。

27