ICS0104039

N10..

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T38614—2020

基于柔性鉸鏈機構(gòu)和壓電陶瓷驅(qū)動器的

納米定位與掃描平臺測量方法

Measurementmethodfornanopositioningandscanningstage

basedonflexurehingemechanismandpiezoactuator

2020-04-28發(fā)布2020-11-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T38614—2020

目次

前言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

測量條件

4…………………1

測量儀器

5…………………1

測量方法

6…………………1

軸向行程

6.1……………1

準(zhǔn)確度

6.2………………2

單向重復(fù)定位精度

6.3…………………2

雙向重復(fù)定位精度

6.4…………………3

遲滯誤差

6.5……………4

線性度

6.6………………5

位移分辨力

6.7…………………………6

角擺偏差

6.8……………6

直線度

6.9………………8

平面度

6.10………………9

正交誤差

6.11…………………………10

Ⅰ

GB/T38614—2020

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國電子測量儀器標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC153)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位沈陽建筑大學(xué)三英精控天津儀器設(shè)備有限公司廣東工業(yè)大學(xué)中國計量科

:、()、、

學(xué)研究院蘇州昊通儀器科技有限公司沈陽理工大學(xué)

、、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人須穎戴敬邵萌安冬施玉書賈靜戴超文杰石懷濤

:、、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T38614—2020

基于柔性鉸鏈機構(gòu)和壓電陶瓷驅(qū)動器的

納米定位與掃描平臺測量方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了基于柔性鉸鏈機構(gòu)和壓電陶瓷驅(qū)動器的納米定位與掃描平臺以下簡稱為平臺的測

()

量條件測量系統(tǒng)和測量方法

、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于平臺的研究設(shè)計生產(chǎn)檢測及使用

、、、。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

直線度誤差檢測

GB/T11336─2004

納米定位與掃描平臺術(shù)語

GB/T38616—2020

3術(shù)語和定義

界定的術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T38616—2020。

4測量條件

平臺的測量應(yīng)滿足如下條件

:

測量場地應(yīng)無影響測量精度的灰塵振動氣流擾動和較強磁場

a)、、;

測量時的環(huán)境溫度為其變化應(yīng)不大于

b)(20±1)℃,0.5℃/h;

測量時的環(huán)境相對濕度為

c)(50±5)%;

測量前應(yīng)確認平臺無影響測量正確性實施和測量結(jié)果的外觀缺陷

d);

測量時平臺處于正常工作狀態(tài)

e)。

5測量儀器

本標(biāo)準(zhǔn)中推薦使用激光干涉儀以下簡稱干涉儀角擺偏差也可使用自準(zhǔn)直儀測量儀器精度應(yīng)滿

(),