標準解讀

《GB/T 36653-2018 電子級三甲基鋁》是中國國家標準之一，針對電子工業(yè)中使用的高純度三甲基鋁（TMA）制定了詳細的技術(shù)要求和測試方法。該標準適用于半導體制造過程中作為化學氣相沉積(CVD)或原子層沉積(ALD)的前驅(qū)體材料。根據(jù)此標準，三甲基鋁產(chǎn)品需滿足特定純度要求，并對可能存在的雜質(zhì)種類及其最大允許含量進行了明確規(guī)定。

標準內(nèi)包含了一系列質(zhì)量控制指標，如主成分含量、水分、金屬離子濃度等關(guān)鍵參數(shù)的具體數(shù)值限制，確保了產(chǎn)品的穩(wěn)定性和可靠性。此外，《GB/T 36653-2018》還提供了詳細的采樣規(guī)則及分析檢測手段，包括但不限于氣相色譜法、電感耦合等離子體質(zhì)譜法等先進科學技術(shù)，以準確測定樣品中各組分的含量。


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....

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  • 現(xiàn)行
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  • 2018-09-17 頒布
  • 2019-01-01 實施
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文檔簡介

ICS7110020

G86..

中華人民共和國國家標準

GB/T36653—2018

電子級三甲基鋁

Electronicgradetrimethylaluminium

2018-09-17發(fā)布2019-01-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

中華人民共和國

國家標準

電子級三甲基鋁

GB/T36653—2018

*

中國標準出版社出版發(fā)行

北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線

:400-168-0010

年月第一版

20189

*

書號

:155066·1-61410

版權(quán)專有侵權(quán)必究

GB/T36653—2018

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國半導體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標準起草單位江蘇南大光電材料股份有限公司中國電子技術(shù)標準化研究院

:、。

本標準主要起草人陳化冰孫明璐王香曹可慰

:、、、。

Ⅰ

GB/T36653—2018

電子級三甲基鋁

1范圍

本標準規(guī)定了三甲基鋁的技術(shù)要求試驗方法檢驗規(guī)則包裝標志運輸儲存和安全

、、、、、、。

本標準適用于烷基交換法鈉還原法三種化學合成法制備并經(jīng)精制純化的三甲基鋁該產(chǎn)品主要

、。

用于生長化合物半導體薄膜材料等

。

分子式

:C3H9Al

相對分子質(zhì)量按年國際相對原子質(zhì)量計算

:72.09(2013)

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

危險貨物包裝標志

GB190

工業(yè)用化學產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T3723

液體化工產(chǎn)品采樣通則

GB/T6680

電子級水

GB/T11446.1

危險貨物運輸包裝通用技術(shù)條件

GB12463

化學品安全標簽編寫規(guī)定

GB15258

常用化學危險品貯存通則

GB15603

潔凈廠房設(shè)計規(guī)范

GB50073

3技術(shù)要求

三甲基鋁的技術(shù)指標應符合表要求

1。

表1技術(shù)指標

項目指標

三甲基鋁純度質(zhì)量分數(shù)-2

(C3H9Al)()/10≥99.99995

銀含量

(Ag)/(μg/g)<0.2

硼含量

(B)/(μg/g)<0.5

鋇含量

(Ba)/(g/g)<0.1

金屬元素μ

鈹含量

及其他元(Be)/(μg/g)<0.03

鈣含量

素含量(Ca)/(μg/g)<0.03

鎘含量

(Cd)/(μg/g)<0.1

鈷含量

(Co)/(μg/g)<

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