ICS7110020

G86..

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T36653—2018

電子級三甲基鋁

Electronicgradetrimethylaluminium

2018-09-17發(fā)布2019-01-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

中華人民共和國

國家標(biāo)準(zhǔn)

電子級三甲基鋁

GB/T36653—2018

*

中國標(biāo)準(zhǔn)出版社出版發(fā)行

北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線

:400-168-0010

年月第一版

20189

*

書號

:155066·1-61410

版權(quán)專有侵權(quán)必究

GB/T36653—2018

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位江蘇南大光電材料股份有限公司中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人陳化冰孫明璐王香曹可慰

:、、、。

Ⅰ

GB/T36653—2018

電子級三甲基鋁

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了三甲基鋁的技術(shù)要求試驗方法檢驗規(guī)則包裝標(biāo)志運(yùn)輸儲存和安全

、、、、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于烷基交換法鈉還原法三種化學(xué)合成法制備并經(jīng)精制純化的三甲基鋁該產(chǎn)品主要

、。

用于生長化合物半導(dǎo)體薄膜材料等

。

分子式

:C3H9Al

相對分子質(zhì)量按年國際相對原子質(zhì)量計算

:72.09(2013)

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

危險貨物包裝標(biāo)志

GB190

工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T3723

液體化工產(chǎn)品采樣通則

GB/T6680

電子級水

GB/T11446.1

危險貨物運(yùn)輸包裝通用技術(shù)條件

GB12463

化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定

GB15258

常用化學(xué)危險品貯存通則

GB15603

潔凈廠房設(shè)計規(guī)范

GB50073

3技術(shù)要求

三甲基鋁的技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合表要求

1。

表1技術(shù)指標(biāo)

項目指標(biāo)

三甲基鋁純度質(zhì)量分?jǐn)?shù)-2

(C3H9Al)()/10≥99.99995

銀含量

(Ag)/(μg/g)<0.2

硼含量

(B)/(μg/g)<0.5

鋇含量

(Ba)/(g/g)<0.1

金屬元素μ

鈹含量

及其他元(Be)/(μg/g)<0.03

鈣含量

素含量(Ca)/(μg/g)<0.03

鎘含量

(Cd)/(μg/g)<0.1

鈷含量

(Co)/(μg/g)<