半導(dǎo)體產(chǎn)品電鍍知識(shí)培訓(xùn)課件匯報(bào)人：XX目錄01電鍍基礎(chǔ)知識(shí)02半導(dǎo)體電鍍特點(diǎn)03電鍍?cè)O(shè)備與材料04電鍍工藝控制05電鍍環(huán)境與安全06電鍍技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)電鍍基礎(chǔ)知識(shí)PARTONE電鍍定義與原理電鍍?cè)黼娊獬练e金屬層電鍍定義利用電解鍍金屬層0102電鍍過(guò)程的化學(xué)反應(yīng)金屬銅失電子氧化為銅離子陽(yáng)極氧化反應(yīng)銅離子得電子還原為銅陰極還原反應(yīng)電鍍材料的分類按基材分類五金與塑膠電鍍按鍍層材質(zhì)金屬與非金屬半導(dǎo)體電鍍特點(diǎn)PARTTWO半導(dǎo)體電鍍要求實(shí)現(xiàn)大面積均勻沉積，精確控制金屬層厚度。高精度控制鍍層需具備低電阻、高導(dǎo)電性、良好可焊性和耐腐蝕性。高性能鍍層半導(dǎo)體電鍍流程選擇半導(dǎo)體基片，清洗預(yù)處理。準(zhǔn)備基片控制電流密度、電解液成分等，確保鍍層均勻。電鍍控制清洗、退火、烘干，檢驗(yàn)鍍層質(zhì)量。后處理檢驗(yàn)半導(dǎo)體電鍍的挑戰(zhàn)電子電鍍專用化學(xué)品高度依賴進(jìn)口，超純鍍液原材料進(jìn)口依賴性強(qiáng)。化學(xué)品依賴進(jìn)口7nm以下互連沉積等高端電鍍裝備被美國(guó)廠商壟斷。高端裝備壟斷電鍍?cè)O(shè)備與材料PARTTHREE電鍍?cè)O(shè)備介紹實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)調(diào)節(jié)工藝參數(shù)控制系統(tǒng)負(fù)責(zé)傳輸電流至工件電解槽與電極提供電鍍所需電流電壓電源系統(tǒng)電鍍化學(xué)品01脫脂工站藥品如CP-100S，用于脫油去雜。02酸洗工站藥品如硫酸，用于去氧化物及中和。03鍍鎳工站藥品如氯化鎳，用于鍍鎳工藝。電鍍輔助材料改善鍍層質(zhì)量，提高效率。電鍍助劑提供耐腐蝕美觀薄膜，廣泛應(yīng)用于多行業(yè)。貴金屬電鍍化學(xué)品電鍍工藝控制PARTFOUR工藝參數(shù)優(yōu)化優(yōu)化電流密度，確保鍍層均勻致密。電流密度調(diào)控精確控制電鍍時(shí)長(zhǎng)，達(dá)到所需鍍層厚度。電鍍時(shí)長(zhǎng)管理質(zhì)量檢測(cè)方法使用測(cè)厚儀測(cè)量，確保鍍層厚度符合標(biāo)準(zhǔn)。鍍層厚度檢測(cè)采用劃痕、熱震法，評(píng)估鍍層與基材結(jié)合力。附著力測(cè)試故障診斷與處理人為因素為主，如操作不當(dāng)常見(jiàn)故障原因準(zhǔn)確分析，科學(xué)排除，試驗(yàn)驗(yàn)證故障處理原則電鍍環(huán)境與安全PARTFIVE環(huán)保法規(guī)要求依據(jù)《重金屬污染綜合防治規(guī)劃》提高電鍍行業(yè)準(zhǔn)入門檻。國(guó)家層面法規(guī)01浙江省出臺(tái)電鍍產(chǎn)業(yè)環(huán)境準(zhǔn)入指導(dǎo)意見(jiàn)，加強(qiáng)電鍍產(chǎn)業(yè)環(huán)保。地方政策指導(dǎo)02廢水廢氣處理01廢水處理技術(shù)采用化學(xué)沉淀、離子交換等技術(shù)凈化廢水02廢氣排放控制使用低揮發(fā)化學(xué)品，設(shè)置高效粉塵收集系統(tǒng)安全操作規(guī)程穿戴防靜電服、鞋、手套，使用腕帶。保持整潔，通風(fēng)良好，檢查消防器材。個(gè)人防護(hù)裝備作業(yè)環(huán)境檢查電鍍技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)PARTSIX新技術(shù)應(yīng)用AI與大數(shù)據(jù)融合，優(yōu)化電鍍工藝控制，提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。智能化生產(chǎn)01采用環(huán)保電鍍工藝和設(shè)備，減少排放，實(shí)現(xiàn)綠色生產(chǎn)，滿足環(huán)保要求。綠色電鍍技術(shù)02行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)更新01新國(guó)標(biāo)實(shí)施介紹《GB/T5267.1-2023緊固件電鍍層》等新標(biāo)準(zhǔn)，推動(dòng)電鍍技術(shù)規(guī)范化。02國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)接軌電鍍行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)逐步與國(guó)際接軌，提高我國(guó)半導(dǎo)體電鍍產(chǎn)品的國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力。未來(lái)發(fā)展方向01環(huán)?；a(chǎn)推廣無(wú)氰電鍍，加強(qiáng)廢水處理，實(shí)現(xiàn)綠色電鍍。02