(19)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局(12)發(fā)明專利審查員薛飛地址215500江蘇省蘇州市常熟高新技術(shù)(72)發(fā)明人唐力隋勁東潘俊有限公司117184本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N干法刻蝕腔體真空門更持安裝法蘭塊，頂升單元用于驅(qū)動(dòng)夾緊單元升421.一種干法刻蝕腔體真空門更換裝置，干法刻蝕腔體真空門(1)包括密封板(11)、氣動(dòng)總成箱(12)和安裝法蘭塊(13),所述氣動(dòng)總成箱(12)和所述密封板(11)下方固定連接，所述安裝法蘭塊(13)和密封板(11)的下方固定連接，在所述氣動(dòng)總成箱(12)的兩側(cè)均設(shè)有所述安裝法蘭塊(13),其特征在于，干法刻蝕腔體真空門更換裝置包括：基座(2),位于干法刻蝕腔體的真空門安裝位置的下方；移動(dòng)臺(tái)車(3),在基座(2)上移動(dòng)；頂升單元(4),安裝在移動(dòng)臺(tái)車(3)上，所述頂升單元(4)上設(shè)有夾緊單元(5);承載臺(tái)(6),安裝在移動(dòng)臺(tái)車(3)上，所述承載臺(tái)(6)用于承接真空門(1);夾持單元(7),安裝在承載臺(tái)(6)或移動(dòng)臺(tái)車(3)上，所述夾持單元(7)用于將位于承載臺(tái)(6)上的氣動(dòng)總成箱(12)夾緊；其中，承載臺(tái)(6)的兩側(cè)均設(shè)有頂升單元(4),所述頂升單元(4)的位置和兩側(cè)的安裝法蘭塊(13)對(duì)應(yīng)，所述夾緊單元(5)用于夾持所述安裝法蘭塊(13),所述頂升單元(4)用于驅(qū)動(dòng)所述夾緊單元(5)升降，所述承載臺(tái)(6)用于抵接所述氣動(dòng)總成箱(12)的底部，所述夾持單元(7)用于夾緊所述氣動(dòng)總成箱(12)的相對(duì)兩側(cè)；干法刻蝕腔體真空門更換裝置還包括總控單元(8),所述頂升單元(4)、夾緊單元(5)和夾持單元(7)為氣動(dòng)或電動(dòng)設(shè)備，所述總控單元(8)用于控制移動(dòng)臺(tái)車(3)的移動(dòng)、頂升單元(4)的升降、夾緊單元(5)的夾持和釋放動(dòng)作、夾持單元(7)的夾持和釋放動(dòng)作；所述基座(2)的一端為上下料工位(22),所述基座(2)的另一端為拆裝工位(23),所述移動(dòng)臺(tái)車(3)位于拆裝工位(23)時(shí)，所述夾緊單元(5)和所述安裝法蘭塊(13)對(duì)正，或，所述承載臺(tái)(6)上的真空門(1)和干法刻蝕腔體上真空門的安裝位置對(duì)正；所述移動(dòng)臺(tái)車(3)位于上下料工位(22)時(shí)，所述移動(dòng)臺(tái)車(3)位于干法刻蝕腔體上真空門的安裝位置范圍外；所述移動(dòng)臺(tái)車(3)上設(shè)有若干個(gè)第二氣缸(36),所述第二氣缸(36)的輸出端上設(shè)有吸盤(35),所述基座(2)上設(shè)有固定板(25),所述固定板(25)的一側(cè)面和所述吸盤(35)的吸附面對(duì)正，所述第二氣缸(36)用于驅(qū)動(dòng)所述吸盤(35)的吸附面抵接或遠(yuǎn)離所述固定板(25),所述第二氣缸(36)的電磁閥以及吸盤(35)的電磁閥均和所述總控單元(8)連接，所述總控單元(8)用于在所述移動(dòng)臺(tái)車(3)位于上下料工位(22)或拆裝工位(23)時(shí)控制所述第二氣缸(36)驅(qū)動(dòng)所述吸盤(35)抵接所述固定板(25)、且控制所述吸盤(35)的通氣；所述總控單元(8)用于在所述夾持單元(7)夾持所述氣動(dòng)總成箱(12)后，控制所述吸盤(35)的電磁閥關(guān)閉，并控制所述第二氣缸(36)的伸縮軸縮回。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干法刻蝕腔體真空門更換裝置，其特征在于，所述移動(dòng)臺(tái)車(3)包括移動(dòng)車(31)和行走驅(qū)動(dòng)組件，所述基座(2)上設(shè)有導(dǎo)軌(21),所述移動(dòng)車(31)的滾輪(32)沿所述導(dǎo)軌(21)滾動(dòng)，所述行走驅(qū)動(dòng)組件的輸出端和移動(dòng)車(31)的滾輪(32)連接，所述行走驅(qū)動(dòng)組件用于驅(qū)動(dòng)所述滾輪(32)轉(zhuǎn)動(dòng)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的干法刻蝕腔體真空門更換裝置，其特征在于，所述基座(2)的兩端均設(shè)有第一光電傳感器和第二光電傳感器，所述第一光電傳感器用于檢測(cè)移動(dòng)臺(tái)車(3)即將到達(dá)上下料工位(22)或拆裝工位(23)時(shí)向所述總控單元(8)發(fā)送接近信號(hào)，所述總控單元(8)控制所述移動(dòng)臺(tái)車(3)減速，所述第二光電傳感器用于在移動(dòng)臺(tái)車(3)到達(dá)上下料工位(22)或拆裝工位(23)時(shí)向所述總控單元(8)發(fā)送到位信號(hào)，所述總控單元(8)控制所述移動(dòng)臺(tái)車(3)停止。34.根據(jù)權(quán)利要求3所述的干法刻蝕腔體真空門更換裝置，其特征在于，所述基座(2)上設(shè)有定位孔(24),所述移動(dòng)臺(tái)車(3)移動(dòng)上設(shè)有插銷(33),所述移動(dòng)臺(tái)車(3)上設(shè)有第一氣缸(34),所述第一氣缸(34)的輸出軸和所述插銷(33)固定連接，所述移動(dòng)臺(tái)車(3)位于上下料工位(22)或拆裝工位(23)時(shí)，所述插銷(33)和所述定位孔(24)對(duì)正，所述第一氣缸(34)的電磁閥和所述總控單元(8)電連接，所述總控單元(8)通過第一氣缸(34)的電磁閥控制第一氣缸(34)輸出軸的伸縮，所述總控單元(8)用于在所述移動(dòng)臺(tái)車(3)位于上下料工位(22)或拆裝工位(23)時(shí)控制所述第一氣缸(34)的伸縮軸伸出；所述總控單元(8)用于在所述夾持單元(7)夾持所述氣動(dòng)總成箱(12)后，控制所述第一氣缸(34)的伸縮軸縮回。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干法刻蝕腔體真空門更換裝置，其特征在于，所述吸盤(35)為伯努利吸盤(35)。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干法刻蝕腔體真空門更換裝置，其特征在于，所述頂升單元(4)上設(shè)有距離傳感器，所述距離傳感器用于檢測(cè)所述夾緊單元(5)和所述安裝法蘭塊(13)的距離，所述距離傳感器、頂升單元(4)和夾緊單元(5)均和所述總控單元(8)電連接，所述總控單元(8)根據(jù)距離傳感器輸出的距離信息控制頂升單元(4)的輸出軸的升高和停止、以及夾緊單元(5)執(zhí)行夾緊動(dòng)作，所述夾緊單元(5)夾緊所述安裝法蘭塊(13)后，所述總控單元(8)控制所述頂升單元(4)的輸出端下降。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干法刻蝕腔體真空門更換裝置，其特征在于，所述承載臺(tái)(6)上設(shè)有接近傳感器，所述接近傳感器用于檢測(cè)氣動(dòng)總成箱(12)是否進(jìn)入所述夾持單元(7)的夾持范圍，所述氣動(dòng)總成箱(12)進(jìn)入所述夾持單元(7)夾持范圍后，所述總控單元(8)控制所述夾持單元(7)夾持所述氣動(dòng)總成箱(12)。4一種干法刻蝕腔體真空門更換裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001]本申請(qǐng)涉及干法刻蝕設(shè)備的領(lǐng)域，尤其是涉及一種干法刻蝕腔體真空門更換裝背景技術(shù)[0002]現(xiàn)有液晶面板干法刻蝕設(shè)備真空門更換，拆解需要3-4人同時(shí)操作，并且真空門重量500Kg左右，第一作業(yè)危險(xiǎn)性高，第二作業(yè)強(qiáng)度高，作業(yè)成本高，多人更換作業(yè)時(shí)候在無(wú)塵室產(chǎn)生粉塵等污染物污染無(wú)塵室。發(fā)明內(nèi)容[0003]有鑒于此，本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N干法刻蝕腔體真空門更換裝置，解決了現(xiàn)有技術(shù)中的[0004]本申請(qǐng)?zhí)峁┑囊环N干法刻蝕腔體真空門更換裝置采用如下的技術(shù)方案：[0005]一種干法刻蝕腔體真空門更換裝置，干法刻蝕腔體真空門包括密封板、氣動(dòng)總成箱和安裝法蘭塊，所述氣動(dòng)總成箱和所述密封板下方固定連接，所述安裝法蘭和密封板的下方固定連接，在所述氣動(dòng)總成箱的兩側(cè)均設(shè)有所述安裝法蘭塊，干法刻蝕腔體真空門更換裝置包括：[0006]基座，位于干法刻蝕腔體的真空門安裝位置的下方；[0008]頂升單元，安裝在移動(dòng)臺(tái)車上，所述頂升單元上設(shè)有夾緊單元；[0010]夾持單元，安裝在承載臺(tái)或移動(dòng)臺(tái)車上，所述夾持單元用于將位于承載臺(tái)上的氣動(dòng)總成箱夾緊；[0011]其中，承載臺(tái)的兩側(cè)均設(shè)有頂升單元，所述頂升單元的位置和兩側(cè)的安裝法蘭塊對(duì)應(yīng)，所述夾緊單元用于夾持所述安裝法蘭塊，所述頂升單元用于驅(qū)動(dòng)所述夾緊單元升降，所述承載臺(tái)用于抵接所述氣動(dòng)總成箱的底部，所述夾持單元用于夾緊所述氣動(dòng)總成箱的相對(duì)兩側(cè)。[0012]可選的，所述移動(dòng)臺(tái)車包括移動(dòng)車和行走驅(qū)動(dòng)組件，所述基座上設(shè)有導(dǎo)軌，所述移動(dòng)車的滾輪沿所述導(dǎo)軌滾動(dòng)，所述行走驅(qū)動(dòng)組件的輸出端和移動(dòng)車的滾輪連接，所述行走驅(qū)動(dòng)組件用于驅(qū)動(dòng)所述滾輪轉(zhuǎn)動(dòng)。[0013]可選的，干法刻蝕腔體真空門更換裝置還包括總控單元，所述頂升單元、夾緊單元和夾持單元為氣動(dòng)或電動(dòng)設(shè)備，所述總控單元用于控制移動(dòng)臺(tái)車的移動(dòng)、頂升單元的升降、夾緊單元的夾持和釋放動(dòng)作、夾持單元的夾持和釋放動(dòng)作。[0014]可選的，所述基座的一端為上下料工位，所述基座的另一端為拆裝工位，所述移動(dòng)臺(tái)車位于拆裝工位時(shí)，所述夾緊單元和所述安裝法蘭塊對(duì)正，或，所述承載臺(tái)上的真空門和干法刻蝕腔體上真空門的安裝位置對(duì)正；所述移動(dòng)臺(tái)車位于上下料工位時(shí)，所述移動(dòng)臺(tái)車5位于干法刻蝕腔體上真空門的安裝位置范圍外；[0015]所述基座的兩端均設(shè)有第一光電傳感器和第二光電傳感器，所述第一光電傳感器用于檢測(cè)移動(dòng)臺(tái)車即將到達(dá)上下料工位或拆裝工位時(shí)向所述總控單元發(fā)送接近信號(hào)，所述總控單元控制所述移動(dòng)臺(tái)車減速，所述第二光電傳感器用于在移動(dòng)臺(tái)車到達(dá)上下料工位或拆裝工位時(shí)向所述總控單元發(fā)送到位信號(hào)，所述總控單元控制所述移動(dòng)臺(tái)車停止。[0016]可選的，所述基座上設(shè)有定位孔，所述移動(dòng)臺(tái)車移動(dòng)上設(shè)有插銷，所述移動(dòng)臺(tái)車上設(shè)有第一氣缸，所述第一氣缸的輸出軸和所述插銷固定連接，所述移動(dòng)臺(tái)車位于上下料工位或拆裝工位時(shí)，所述插銷和所述定位孔對(duì)正，所述第一氣缸的電磁閥和所述總控單元電連接，所述總控單元通過第一氣缸的電磁閥控制第一氣缸輸出軸的伸縮，所述總控單元用于在所述移動(dòng)臺(tái)車位于上下料工位或拆裝工位時(shí)控制所述第一氣缸的伸縮軸伸出；[0017]所述總控單元用于在所述夾持單元夾持所述氣動(dòng)總成箱后，控制所述第一氣缸的伸縮軸縮回。[0018]可選的，所述移動(dòng)臺(tái)車上設(shè)有若干個(gè)第二氣缸，所述第二氣缸的輸出端上設(shè)有吸盤，所述基座上設(shè)有固定板，所述固定板的一側(cè)面和所述吸盤的吸附面對(duì)正，所述第二氣缸用于驅(qū)動(dòng)所述吸盤的吸附面抵接或遠(yuǎn)離所述固定板，所述第二氣缸的電磁閥以及吸盤的電磁閥均和所述總控單元連接，所述總控單元用于在所述移動(dòng)臺(tái)車位于上下料工位或拆裝工位時(shí)控制所述第二氣缸驅(qū)動(dòng)所述吸盤抵接所述固定板、且控制所述吸盤的通氣；[0019]所述總控單元用于在所述夾持單元夾持所述氣動(dòng)總成箱后，控制所述吸盤的電磁閥關(guān)閉，并控制所述第二氣缸的伸縮軸縮回。[0021]可選的，所述頂升單元上設(shè)有距離傳感器，所述距離傳感器用于檢測(cè)所述夾緊單元和所述安裝法蘭塊的距離，所述距離傳感器、頂升單元和夾緊單元均和所述總控單元電連接，所述總控單元根據(jù)距離傳感器輸出的距離信息控制頂升單元的輸出軸的升高和停止、以及夾緊單元執(zhí)行夾緊動(dòng)作，所述夾緊單元夾緊所述安裝法蘭塊后，所述總控單元控制所述頂升單元的輸出端下降。[0022]可選的，所述承載臺(tái)上設(shè)有接近傳感器，所述接近傳感器用于檢測(cè)氣動(dòng)總成箱是否進(jìn)入所述夾持單元的夾持范圍，所述氣動(dòng)總成箱進(jìn)入所述夾持單元夾持范圍后，所述總控單元控制所述夾持單元夾持所述氣動(dòng)總成箱。[0024]利用本申請(qǐng)的更換裝置進(jìn)行真空門的更換作業(yè)可以提高作業(yè)安全性，而且只需要1人，相比以前4-5人，大幅減少人員配置，并且可以節(jié)約了20-30%更換真空門時(shí)間，進(jìn)而節(jié)省成本。[0025]同時(shí)基座、移動(dòng)臺(tái)車、頂升單元、承載臺(tái)、夾緊單元和堅(jiān)持單元等等部件的原件不生銹的材質(zhì)，都是低發(fā)塵并且運(yùn)動(dòng)部件都有防塵罩，達(dá)到Class100無(wú)塵等級(jí)，大幅減少了作附圖說(shuō)明[0026]為了更清楚地說(shuō)明本申請(qǐng)實(shí)施例的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本申請(qǐng)的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域6普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其它的附圖。[0027]圖1為本申請(qǐng)干法刻蝕腔體真空門更換裝置的整體結(jié)構(gòu)示意圖；[0028]圖2為本申請(qǐng)移動(dòng)臺(tái)車在拆裝工位夾持真空門的結(jié)構(gòu)示意圖；[0029]圖3為本申請(qǐng)移動(dòng)臺(tái)車在拆裝工位的結(jié)構(gòu)示意圖；[0030]圖4為圖3中A部分的放大結(jié)構(gòu)示意圖。具體實(shí)施方式[0032]下面結(jié)合附圖對(duì)本申請(qǐng)實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述。[0033]以下通過特定的具體實(shí)例說(shuō)明本申請(qǐng)的實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說(shuō)明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本申請(qǐng)的其他優(yōu)點(diǎn)與功效。顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本申請(qǐng)一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。本申請(qǐng)還可以通過另外不同的具體實(shí)施方式加以實(shí)施或應(yīng)用，本說(shuō)明書中的各項(xiàng)細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點(diǎn)與應(yīng)用，在沒有背離本申請(qǐng)的精神下進(jìn)行各種修飾或改變。需說(shuō)明的是，在不沖突的情況下，以下實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。基于本申請(qǐng)中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本申請(qǐng)保護(hù)的范圍。[0034]要說(shuō)明的是，下文描述在所附權(quán)利要求書的范圍內(nèi)的實(shí)施例的各種方面。應(yīng)顯而易見，本文中所描述的方面可體現(xiàn)于廣泛多種形式中，且本文中所描述的任何特定結(jié)構(gòu)及/或功能僅為說(shuō)明性的。基于本申請(qǐng)，所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)了解，本文中所描述的一個(gè)方面可與任何其它方面獨(dú)立地實(shí)施，且可以各種方式組合這些方面中的兩者或兩者以上。舉例來(lái)說(shuō)，可使用本文中所闡述的任何數(shù)目個(gè)方面來(lái)實(shí)施設(shè)備及/或?qū)嵺`方法。另外，可使用除了本文中所闡述的方面中的一或多者之外的其它結(jié)構(gòu)及/或功能性實(shí)施此設(shè)備及/或?qū)嵺`此方法。[0035]還需要說(shuō)明的是，以下實(shí)施例中所提供的圖示僅以示意方式說(shuō)明本申請(qǐng)的基本構(gòu)想，圖示中僅顯示與本申請(qǐng)中有關(guān)的組件而非按照實(shí)際實(shí)施時(shí)的組件數(shù)目、形狀及尺寸繪制，其實(shí)際實(shí)施時(shí)各組件的型態(tài)、數(shù)量及比例可為一種隨意的改變，且其組件布局型態(tài)也可能更為復(fù)雜。[0036]另外，在以下描述中，提供具體細(xì)節(jié)是為了便于透徹理解實(shí)例。然而，所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將理解，可在沒有這些特定細(xì)節(jié)的情況下實(shí)踐所述方面。[0037]本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種干法刻蝕腔體真空門更換裝置。干法刻蝕腔體真空門1包括密封板11、氣動(dòng)總成箱12和安裝法蘭塊13,所述氣動(dòng)總成箱12和所述密封板11下方固定連接，所述安裝法蘭和密封板11的下方固定連接，在所述氣動(dòng)總成箱12的兩側(cè)均設(shè)有所述安裝法蘭塊13,其中，安裝法蘭塊13不直接和刻蝕腔體配合安裝，安裝法蘭塊13僅作為安裝過程中的輔助連接結(jié)構(gòu)。7[0039]基座2,位于干法刻蝕腔體的真空門1安裝位置的下方，基座2可以固定或放置在車間地面上。[0040]移動(dòng)臺(tái)車3,在基座2上移動(dòng)。[0041]頂升單元4,安裝在移動(dòng)臺(tái)車3上，所述頂升單元4上設(shè)有夾緊單元5。[0042]承載臺(tái)6,安裝在移動(dòng)臺(tái)車3上，所述承載臺(tái)6用于承接真空門1。[0043]夾持單元7,安裝在承載臺(tái)6或移動(dòng)臺(tái)車3上，所述夾持單元7用于將位于承載臺(tái)6上的氣動(dòng)總成箱12夾緊。[0044]其中，承載臺(tái)6的兩側(cè)均設(shè)有頂升單元4,所述頂升單元4的位置和兩側(cè)的安裝法蘭塊13對(duì)應(yīng)，所述夾緊單元5用于夾持所述安裝法蘭塊13,所述頂升單元4用于驅(qū)動(dòng)所述夾緊單元5升降，所述承載臺(tái)6用于抵接所述氣動(dòng)總成箱12的底部，所述夾持單元7用于夾緊所述氣動(dòng)總成箱12的相對(duì)兩側(cè)。[0045]更換真空門1的步驟包括拆卸舊真空和安裝新真空門1。所述基座2的一端為上下料工位22,所述基座2的另一端為拆裝工位23,所述移動(dòng)臺(tái)車3位于拆裝工位23時(shí)，所述夾緊單元5和所述安裝法蘭塊13對(duì)正，或，所述承載臺(tái)6上的真空門1和干法刻蝕腔體上真空門1的安裝位置對(duì)正；所述移動(dòng)臺(tái)車3位于上下料工位22時(shí)，所述移動(dòng)臺(tái)車3位于干法刻蝕腔體上真空門1的安裝位置范圍外。[0046]本申請(qǐng)中，在拆卸舊真空門1時(shí)，將移動(dòng)臺(tái)車3在基座2上移動(dòng)至舊真空門1下方，并調(diào)整移動(dòng)臺(tái)車3的位置使夾緊單元5和舊真空門1上的安裝法蘭塊13對(duì)齊，移動(dòng)臺(tái)車3位于拆裝工位23。然后控制頂升單元4的輸出端升高，使夾緊單元5隨之升高，直至夾緊單元5的夾持部位環(huán)繞在安裝法蘭塊13的外周，啟動(dòng)夾緊單元5對(duì)安裝法蘭塊13進(jìn)行夾持；確定夾緊單元5夾緊安裝法蘭塊13后，工人拆卸真空門1和刻蝕腔體的連接部件，使真空門1和刻蝕腔體實(shí)現(xiàn)機(jī)械分離?？刂祈斏龁卧?的輸出端下降，夾緊單元5帶動(dòng)真空門1下降，直至真空門1下降至氣動(dòng)總成箱12的底部接觸承載臺(tái)6;控制夾持單元7對(duì)氣動(dòng)總成箱12進(jìn)行夾持，用來(lái)保證后續(xù)移動(dòng)過程中整個(gè)真空門1的穩(wěn)定性，最后控制移動(dòng)臺(tái)車3在基座2上移動(dòng)，移動(dòng)臺(tái)車3帶著舊真空門1移動(dòng)至干法刻蝕腔體上真空門1的安裝位置范圍外，移動(dòng)臺(tái)車3位于上下料工位22。利用行車的吊鉤和舊真空門1的吊點(diǎn)連接，松開夾緊單元5和夾持單元7對(duì)舊真空門1的夾持，然后行車將舊真空門1起吊，將舊真空門1移動(dòng)至預(yù)定位置。完成舊真空門1的拆[0047]利用行車移走舊真空門1后，移動(dòng)臺(tái)車3仍位于上下料工位22,利用行車將新的真空門1移動(dòng)至移動(dòng)臺(tái)車3上方，并控制新真空門1的位置，使安裝法蘭塊13和夾緊單元5對(duì)齊，然后控制頂升單元4的輸出端升高，使夾緊單元5隨之升高，直至夾緊單元5的夾持部位環(huán)繞在安裝法蘭塊13的外周，啟動(dòng)夾緊單元5對(duì)安裝法蘭塊13進(jìn)行夾持；確定夾緊單元5夾緊安裝法蘭塊13后，釋放行車和新真空門1的連接，控制頂升單元4的輸出端下降，夾緊單元5帶動(dòng)真空門1下降，直至真空門1下降至氣動(dòng)總成箱12的底部接觸承載臺(tái)6;控制夾持單元7對(duì)氣動(dòng)總成箱12進(jìn)行夾持，用來(lái)保證后續(xù)移動(dòng)過程中整個(gè)真空門1的穩(wěn)定性；控制移動(dòng)臺(tái)車3移動(dòng)至拆裝工位23,此時(shí)，新真空門1和刻蝕腔體真空門1的安裝位置上下對(duì)齊；釋放夾持單元7對(duì)氣動(dòng)總成箱12的夾持，控制頂升單元4的輸出端升高，使夾緊單元5隨之升高，帶動(dòng)新真空門1升高至安裝位置，工人將新真空門1和刻蝕腔體連接，完成新真空門1的安裝。最后松開夾緊單元5對(duì)安裝法蘭塊13的夾緊，將移動(dòng)臺(tái)車3移動(dòng)至上下料位置。8[0048]所述移動(dòng)臺(tái)車3包括移動(dòng)車31和行走驅(qū)動(dòng)組件，所述基座2上設(shè)有導(dǎo)軌21,所述移動(dòng)車31的滾輪32沿所述導(dǎo)軌21滾動(dòng)，所述行走驅(qū)動(dòng)組件的輸出端和移動(dòng)車31的滾輪32連接，所述行走驅(qū)動(dòng)組件用于驅(qū)動(dòng)所述滾輪32轉(zhuǎn)動(dòng)，導(dǎo)軌21呈三棱柱，三棱柱的一個(gè)棱邊朝上，滾輪32的外周設(shè)有環(huán)槽，環(huán)槽呈V形，滾輪32的V形槽和三棱柱的一個(gè)棱邊的兩側(cè)壁配合；行走驅(qū)動(dòng)組件為第一電機(jī)311和第一減速機(jī)312的組合，第一電機(jī)311的輸出和第一減速機(jī)312的輸入軸連接，第一減速機(jī)312的輸出端和滾輪32連接；所述頂升單元4、夾緊單元5和夾持單元7為氣動(dòng)或電動(dòng)設(shè)備。[0049]干法刻蝕腔體真空門更換裝置還包括總控單元8,所述頂升單元4、夾緊單元5和夾持單元7為氣動(dòng)或電動(dòng)設(shè)備，所述總控單元8用于控制移動(dòng)臺(tái)車3的移動(dòng)、頂升單元4的升降、夾緊單元5的夾持和釋放動(dòng)作、夾持單元7的夾持和釋放動(dòng)作。[0050]利用本申請(qǐng)的更換裝置進(jìn)行真空門1的更換作業(yè)可以提高作業(yè)安全性，而且只需要1人，相比以前4-5人，大幅減少人員配置，并且可以節(jié)約了20-30%節(jié)省成本。件不生銹的材質(zhì)，都是低發(fā)塵并且運(yùn)動(dòng)部件都有防塵罩，達(dá)到Class100無(wú)塵等級(jí)，大幅減少[0052]對(duì)于移動(dòng)臺(tái)車3的移動(dòng)和停止：[0053]具體的，所述基座2的兩端均設(shè)有第一光電傳感器和第二光電傳感器，所述第一光電傳感器用于檢測(cè)移動(dòng)臺(tái)車3即將到達(dá)上下料工位22或拆裝工位23時(shí)向所述總控單元8發(fā)送接近信號(hào)，所述總控單元8控制所述移動(dòng)臺(tái)車3減速，所述第二光電傳感器用于在移動(dòng)臺(tái)車3到達(dá)上下料工位22或拆裝工位23時(shí)向所述總控單元8發(fā)送到位信號(hào)，所述總控單元8控制所述移動(dòng)臺(tái)車3停止。[0054]第一光電傳感器和第二光電傳感器可以是紅外傳感器，也可以是激光傳感器，在上下料工位22沿移動(dòng)臺(tái)車3移動(dòng)方向依次設(shè)置了第一光電傳感器和第二光電傳感器，移動(dòng)臺(tái)車3從拆裝工位23向上下料工位22移動(dòng)時(shí)先經(jīng)過第一光電傳感器，到位后恰好遮擋第二光電傳感器；同理在拆裝工位23沿移動(dòng)臺(tái)車3移動(dòng)方向依次設(shè)置了第一光電傳感器和第二光電傳感器，移動(dòng)臺(tái)車3從上下料工位22向拆裝工位23移動(dòng)時(shí)先經(jīng)過第一光電傳感器，到位后恰好遮擋第二光電傳感器，每個(gè)工位上的兩個(gè)光電傳感器的距離根據(jù)車速和剎車機(jī)構(gòu)性能決定。移動(dòng)臺(tái)車3經(jīng)過第一光電傳感器時(shí)，移動(dòng)臺(tái)車3遮擋光線，第一光電傳感器的接收端信號(hào)發(fā)生變化，從而檢測(cè)出移動(dòng)臺(tái)車3達(dá)到到位前的接近位置，第一光電傳感器將信號(hào)發(fā)送至總控單元8,總控單元8的PLC給移動(dòng)臺(tái)車3的行走驅(qū)動(dòng)組件信號(hào)，控制移動(dòng)臺(tái)車3開始減速，移動(dòng)臺(tái)車3緩慢移動(dòng)，當(dāng)移動(dòng)臺(tái)車3恰好遮擋第二光電傳感器時(shí)，說(shuō)二光電傳感器將信號(hào)發(fā)送至總控單元8,總控單元8則控制移動(dòng)臺(tái)車3停止。在基座2的兩端設(shè)置有機(jī)械極限位置擋塊，用于阻擋移動(dòng)臺(tái)車3的移動(dòng)，避免移動(dòng)臺(tái)車3跑出基座2。[0055]對(duì)于移動(dòng)臺(tái)車3的定位和固定：[0056]如圖1、圖3和圖4所示，所述基座2上設(shè)有定位孔24,所述移動(dòng)臺(tái)車3移動(dòng)上設(shè)有插銷33,所述移動(dòng)臺(tái)車3上設(shè)有第一氣缸34,所述第一氣缸34的輸出軸和所述插銷33固定連接，所述移動(dòng)臺(tái)車3位于上下料工位22或拆裝工位23時(shí)，所述插銷33和所述定位孔24對(duì)正。所述第一氣缸34的電磁閥和所述總控單元8電連接，所述總控單元8通過第一氣缸34的電磁9閥控制第一氣缸34輸出軸的伸縮，所述總控單元8用于在所述移動(dòng)臺(tái)車3位于上下料工位22或拆裝工位23時(shí)控制所述第一氣缸34的伸縮軸伸出；插銷33插入定位孔24,對(duì)移動(dòng)臺(tái)車3進(jìn)行定位和初步固定。所述總控單元8用于在所述夾持單元7夾持所述氣動(dòng)總成箱12后，控制所述第一氣缸34的伸縮軸縮回，便于移動(dòng)臺(tái)車3進(jìn)行移動(dòng)。[0057]本申請(qǐng)實(shí)施例中，移動(dòng)臺(tái)車3的前后兩端均設(shè)有插銷33,基座2的上下料工位22設(shè)有對(duì)應(yīng)兩端插銷33的兩個(gè)定位孔24,基座2的拆裝工位23也設(shè)有對(duì)應(yīng)兩端插銷33的兩個(gè)定位孔24。其中，移動(dòng)臺(tái)車3的前后方向?yàn)橐苿?dòng)臺(tái)車3的移動(dòng)方向。插銷33和定位孔24豎直設(shè)置，第一氣缸34的伸縮軸伸縮方向?yàn)樨Q直方向。[0058]所述移動(dòng)臺(tái)車3上設(shè)有若干個(gè)第二氣缸36,所述第二氣缸36的輸出端上設(shè)有吸盤35,所述基座2上設(shè)有固定板25,所述固定板25的一側(cè)面和所述吸盤35的吸附面對(duì)正，所述第二氣缸36用于驅(qū)動(dòng)所述吸盤35的吸附面抵接或遠(yuǎn)離所述固定板25,所述第二氣缸36的電磁閥以及吸盤35的電磁閥均和所述總控單元8連接，所述總控單元8用于在所述移動(dòng)臺(tái)車3位于上下料工位22或拆裝工位23時(shí)控制所述第二氣缸36驅(qū)動(dòng)所述吸盤35抵接所述固定板25、且控制所述吸盤35通氣，吸盤35通氣產(chǎn)生吸附力固定板25上，穩(wěn)定移動(dòng)臺(tái)車3在基座2上的位置，為后續(xù)頂升單元4升降、夾緊單元5夾持安裝法蘭塊13以及帶動(dòng)真空門1升降提供穩(wěn)定基礎(chǔ)；所述總控單元8用于在所述夾持單元7夾持所述氣動(dòng)總成箱12后，控制所述吸盤35的電磁閥關(guān)閉，吸盤35的吸附力停止，并控制所述第二氣缸36的伸縮軸縮回，吸盤35和固定[0059]本申請(qǐng)實(shí)施例中，固定板25從上下料工位22延伸至拆裝工位23,即，在上下料工位22延和拆裝工位23移動(dòng)臺(tái)車3均能通過吸盤35吸附固定板25穩(wěn)定移動(dòng)臺(tái)車3。吸盤35的吸附面朝下，第二氣缸36的伸縮方向?yàn)樨Q直方向。對(duì)于夾持單元7夾持所述氣動(dòng)總成箱12的動(dòng)作判斷方式為：夾持單元7可以為氣動(dòng)夾具，核心驅(qū)動(dòng)為氣缸，夾持單元7夾持氣動(dòng)總成箱12后，氣缸磁性開關(guān)信號(hào)反饋至總控單元8,總控單元8根據(jù)，氣缸磁性開關(guān)信號(hào)判斷夾持單元7夾緊氣動(dòng)總成箱12。[0060]所述吸盤35為伯努利吸盤35,吸盤35連通供氣設(shè)備，供氣設(shè)備為吸盤35提供壓縮空氣。移動(dòng)臺(tái)車3的四個(gè)點(diǎn)位設(shè)有第二氣缸36,每個(gè)第二氣缸36的輸出端上連接有并列的兩個(gè)吸盤35。[0061]本申請(qǐng)的第一光電傳感器、第二光電傳感器、定位用的插銷33以及固定用的吸盤35提高了安裝和搬送的定位精度，不需要人員手動(dòng)調(diào)整，提高了作業(yè)的效率。[0062]所述頂升單元4上設(shè)有距離傳感器，所述距離傳感器用于檢測(cè)所述夾緊單元5和所述安裝法蘭塊13的距離，距離傳感器為激光傳感器，所述距離傳感器、頂升單元4和夾緊單元5均和所述總控單元8電連接，所述總控單元8根據(jù)距離傳感器輸出的距離信息控制頂升單元4的輸出軸的升高和停止、以及夾緊單元5執(zhí)行夾緊動(dòng)作。所述夾緊單元5夾緊所述安裝法蘭塊13后，所述總控單元8控制所述頂升單元4的輸出端下降，夾緊單元5為氣動(dòng)夾爪，夾緊單元5的夾持端和安裝法蘭塊13的形狀匹配，核心驅(qū)動(dòng)為氣缸，總控單元8通過控制氣