3.5其他壓力傳感器*3.5.1陶瓷壓力傳感器3.5.2擴(kuò)散硅壓力傳感器3.5.3藍(lán)寶石壓力傳感器3.5.4壓電壓力傳感器3.5.5集成壓力傳感器3.5其他壓力傳感器*利用不同性質(zhì)的材料作為敏感元件、具有不同物理效應(yīng)的材料作為轉(zhuǎn)換元件進(jìn)行有機(jī)組合，配合采用新技術(shù)、新工藝，使壓力傳感器產(chǎn)品更加豐富多彩，應(yīng)用領(lǐng)域更加廣泛。其典型產(chǎn)品有陶瓷壓力傳感器、擴(kuò)散硅壓力傳感器、藍(lán)寶石壓力傳感器、壓電壓力傳感器和集成壓力傳感器。3.5.1陶瓷壓力傳感器陶瓷是一種公認(rèn)的高彈性、抗腐蝕、抗磨損、抗沖擊和振動(dòng)的材料。陶瓷的熱穩(wěn)定特性好，具有測(cè)量精度高、輸出信號(hào)強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好、電氣絕緣程度高等特點(diǎn)。特別是其低成本優(yōu)勢(shì)已成為壓力傳感器的發(fā)展方向，在歐美國家有全面替代其它類型傳感器的趨勢(shì)，在中國也越來越多的用戶使用陶瓷壓力傳感器，廣泛用于過程控制、環(huán)境控制、液壓和氣動(dòng)設(shè)備、伺服閥門和傳動(dòng)、化學(xué)制品和化學(xué)工業(yè)及醫(yī)用儀表等眾多領(lǐng)域。陶瓷壓力傳感器分為陶瓷厚膜壓力傳感器和陶瓷電容壓力傳感器。3.5.1陶瓷壓力傳感器1.陶瓷厚膜壓力傳感器陶瓷厚膜式壓力傳感器是以特種陶瓷膜片為作為彈性元件，厚膜電阻印刷在陶瓷膜片的一側(cè)并連接成惠斯通電橋，經(jīng)過燒結(jié)固定在陶瓷膜片上，陶瓷膜片另一側(cè)可直接與被測(cè)量介質(zhì)接觸。被測(cè)介質(zhì)直接沖擊陶瓷膜片，引起電阻應(yīng)變效應(yīng)，使電橋產(chǎn)生一個(gè)與壓力成正比的高度線性、與激勵(lì)電壓也成正比的毫伏電壓信號(hào)。通過精密的補(bǔ)償技術(shù)、調(diào)阻技術(shù)、信號(hào)處理技術(shù)的處理，使傳感器輸出信號(hào)具有很高的時(shí)間穩(wěn)定性與溫度穩(wěn)定性。3.5.1陶瓷壓力傳感器1.陶瓷厚膜壓力傳感器由于傳感器邊緣設(shè)計(jì)成特殊加厚結(jié)構(gòu)，傳感器可以使用O型橡膠圈直接裝配密封在金屬外殼中。3.5.1陶瓷壓力傳感器2.陶瓷電容壓力傳感器陶瓷電容壓力傳感器也是采用無中介液的干式陶瓷電容傳感器，市場(chǎng)上以德國E.H公司和美國Kavlico公司產(chǎn)品為主。90年代中期，哈爾濱工業(yè)大學(xué)利用美國Kavlico公司的陶瓷電容式傳感器生產(chǎn)出PTM120壓力傳感器，其性能穩(wěn)定，測(cè)試數(shù)據(jù)準(zhǔn)確，大量投入到石油、化工、電力、鋼鐵、輕工等行業(yè)的壓力測(cè)量及現(xiàn)場(chǎng)控制。3.5.1陶瓷壓力傳感器2.陶瓷電容壓力傳感器陶瓷電容壓力傳感器采用雙電容結(jié)構(gòu)，包括上下極板兩部分。在陶瓷彈性膜片上燒結(jié)了可動(dòng)電極，并在可動(dòng)電極的外面同時(shí)燒結(jié)一個(gè)參考電容，以消除溫度對(duì)輸出信號(hào)的影響；在可動(dòng)電極上再燒結(jié)一層玻璃介質(zhì)防止電極接觸時(shí)短路。電容極板間的距離由燒結(jié)的玻璃體控制，漿料的配方、濃度和燒結(jié)的溫度變化對(duì)極板的間距都有影響。3.5.1陶瓷壓力傳感器2.陶瓷電容壓力傳感器當(dāng)被測(cè)壓力作用在傳感器的陶瓷彈性膜片上時(shí)，膜片發(fā)生變形，使極板的間距發(fā)生變化，導(dǎo)致傳感器的電容發(fā)生變化，通過測(cè)量電路的電容變化即可計(jì)算出傳感器所受壓力的改變，進(jìn)而測(cè)量出壓力，再通過處理電路，將電容的變化轉(zhuǎn)化為0.5V～5V輸出電壓信號(hào)。3.5.2擴(kuò)散硅壓力傳感器1.擴(kuò)散硅壓力傳感器1954年，C.S史密斯在對(duì)硅和鍺的電阻率與應(yīng)力變化特性測(cè)試中發(fā)現(xiàn)了壓阻效應(yīng)。20世紀(jì)90年代中期，美國ICSensors公司、Nova公司應(yīng)用硅精蝕和硅晶片疊合兩項(xiàng)尖端科技生產(chǎn)了新型擴(kuò)散硅壓力傳感器并開發(fā)出具有精度高，重復(fù)性好，抗腐蝕的擴(kuò)散硅壓力傳感器。目前，擴(kuò)散硅壓力傳感器已廣泛應(yīng)用于航空、航天、液壓系統(tǒng)、汽車、泵、制冷、醫(yī)療設(shè)備等領(lǐng)域。3.5.2擴(kuò)散硅壓力傳感器2.工作原理硅單晶材料在受到外力作用產(chǎn)生極微小應(yīng)變時(shí)，其內(nèi)部原子結(jié)構(gòu)的電子能級(jí)狀態(tài)會(huì)發(fā)生變化，從而導(dǎo)致其電阻率劇烈變化。用此材料制成的電阻也就出現(xiàn)極大變化，這種物理效應(yīng)稱為壓阻效應(yīng)。利用壓阻效應(yīng)原理，采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過摻雜、擴(kuò)散，沿單晶硅片上的特點(diǎn)晶向，制成應(yīng)變電阻，構(gòu)成惠斯通電橋，利用硅材料的彈性力學(xué)特性，在同一片硅材料上進(jìn)行各向異性微加工，就制成了一個(gè)集力敏元件與力電轉(zhuǎn)換檢測(cè)于一體的擴(kuò)散硅傳感器。3.5.2擴(kuò)散硅壓力傳感器2.工作原理擴(kuò)散硅壓力傳感器實(shí)質(zhì)是硅杯壓阻傳感器。它以N型單晶硅膜片作敏感元件，通過擴(kuò)散雜質(zhì)使其形成四個(gè)P型電阻，并組成惠斯通電橋。當(dāng)膜片受力后，由于半導(dǎo)體的壓阻效應(yīng)，電阻阻值發(fā)生變化，使電橋有相應(yīng)的輸出。對(duì)擴(kuò)散硅壓力傳感器，敏感元件通常都是周邊固定的圓膜片。主要由硅膜片（硅杯）及擴(kuò)散電阻、引線、外殼等組成。傳感器膜片上下有兩個(gè)壓力腔，分別與被測(cè)的高、低壓室連通，用以感受壓力的變化。通常硅杯直徑約為1.8~10mm，膜厚δ=50-500μm。3.5.2擴(kuò)散硅壓力傳感器3.技術(shù)特點(diǎn)：靈敏度高。擴(kuò)散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變片高50~80倍，它的滿量程信號(hào)輸出在80-100mv左右。對(duì)接口電路適配性好，應(yīng)用成本相應(yīng)較低。由于它輸入激勵(lì)電壓低，輸出信號(hào)大，且無機(jī)械動(dòng)件損耗，因而分辨率極高。精度高。擴(kuò)散硅壓力傳感器的感受、敏感轉(zhuǎn)換和檢測(cè)三位一體，無機(jī)械連接轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，所以不重復(fù)性和遲滯誤差很小。由于硅材料的剛性好，形變小，因而傳感器的線性也非常好。3.5.2擴(kuò)散硅壓力傳感器3.技術(shù)特點(diǎn)：可靠性高。擴(kuò)散硅敏感膜片的彈性形變量在微應(yīng)變量級(jí)，膜片最大位移量在微米級(jí)，且無機(jī)械磨損，無疲勞，無老化，平均無故障時(shí)間長(zhǎng)，性能穩(wěn)定，可靠性高。頻響高。由于敏感膜片硅材料的本身固有頻率高，一般在50kHz。制造過程采用了集成工藝，膜片的有效面積很小，配以剛性結(jié)構(gòu)安裝，使傳感器頻率響應(yīng)很高，使用帶寬可達(dá)0～10050kHz。3.5.2擴(kuò)散硅壓力傳感器3.技術(shù)特點(diǎn)：溫度性能好。隨著集成工藝技術(shù)進(jìn)步，擴(kuò)散硅敏感膜的四個(gè)電阻一致性得到進(jìn)一步提高，采用激光調(diào)阻、計(jì)算機(jī)自動(dòng)修正技術(shù)，傳感器的零位和靈敏度溫度系數(shù)已達(dá)10-5/℃數(shù)量級(jí)，工作溫度也大幅度提高?？闺姄舸┬阅芎谩Ｓ捎诓捎昧颂厥獠牧虾脱b配工藝，擴(kuò)散硅傳感器不但可以做到130℃正常使用，在強(qiáng)磁場(chǎng)、高電壓擊穿試驗(yàn)中可抗擊1500V/AC電壓的沖擊。3.5.2擴(kuò)散硅壓力傳感器3.技術(shù)特點(diǎn)：耐腐蝕性好。擴(kuò)散硅材料具有優(yōu)良的化學(xué)防腐性能，即使傳感器受壓面不隔離，也能在普通使用中適應(yīng)各種介質(zhì)。硅材料又與硅油有良好的兼容性，使它在采用防腐材料隔離時(shí)，結(jié)構(gòu)工藝更易于實(shí)現(xiàn)。加之它的低電壓、低電流、低功耗、低成本和本安安全防爆的特點(diǎn)，可替代諸多同類型產(chǎn)品，具有優(yōu)良的性能價(jià)格比。3.5.3藍(lán)寶石壓力傳感器利用應(yīng)變電阻式工作原理，采用鈦/硅-藍(lán)寶石耐高溫材料、金屬膜片結(jié)構(gòu)和高溫?zé)Y(jié)技術(shù)等制造的高溫型壓力傳感器，具有無與倫比的計(jì)量特性，可在最惡劣的工作條件下正常工作，且具有抗疲勞、可靠性高、溫度性能穩(wěn)定、精度高、重量輕、性價(jià)比高、適用范圍廣等特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于航空、航天、石油、化工、發(fā)電廠、核電站、航海及造船行業(yè)等高溫壓力測(cè)控領(lǐng)域。3.5.3藍(lán)寶石壓力傳感器藍(lán)寶石是單晶體絕緣材料，不會(huì)發(fā)生滯后、疲勞和蠕變現(xiàn)象；有著非常好的彈性和絕緣特性（1000℃以內(nèi)），利用硅-藍(lán)寶石制造的半導(dǎo)體敏感元件對(duì)溫度變化不敏感，即使在高溫條件下也有著很好的工作特性；藍(lán)寶石的抗輻射性極強(qiáng)；且硅-藍(lán)寶石半導(dǎo)體敏感元件無p-n漂移。因此，從根本上簡(jiǎn)化了制造工藝，提高了重復(fù)性，確保了高成品率。3.5.3藍(lán)寶石壓力傳感器高溫型鈦/硅-藍(lán)寶石壓力傳感器由雙膜片構(gòu)成：鈦合金測(cè)量膜片和鈦合金接收膜片。利用微機(jī)械電子加工工藝在藍(lán)寶石膜片上外延硅層并制作惠斯通電橋，然后將其焊接在鈦合金測(cè)量膜片上，接收膜片與測(cè)量膜片之間用拉桿堅(jiān)固的連接在一起。在壓力的作用下，鈦合金接收膜片產(chǎn)生形變，通過拉桿傳導(dǎo)給鈦合金測(cè)量膜片，鈦合金測(cè)量膜片形變被硅-藍(lán)寶石應(yīng)變電橋感知，使橋路阻值發(fā)生變化，由此產(chǎn)生輸出電信號(hào)，經(jīng)放大線路把電信號(hào)放大輸出，實(shí)現(xiàn)壓力測(cè)量。3.5.3藍(lán)寶石壓力傳感器對(duì)于不同量程的壓力傳感器，可選用不同厚度的硅-藍(lán)寶石膜片。經(jīng)驗(yàn)得出，一般選用硅-藍(lán)寶石外延片厚度為300μm左右，根據(jù)實(shí)際量程需要及線性要求設(shè)計(jì)元件有效半徑，敏感元件電阻設(shè)在有效半徑的邊緣處，以便得到最大的靈敏度，橋路電阻設(shè)計(jì)為3.5～4.0kΩ，使傳感器的滿量程輸出在100mV以上。傳感器的電路保證了應(yīng)變電橋電路的供電，并將應(yīng)變電橋的失衡信號(hào)轉(zhuǎn)換為統(tǒng)一的電信號(hào)輸出（0～5，4～20mA或0～5V）。3.5.4壓電壓力傳感器壓電效應(yīng)分為正壓電效應(yīng)和逆壓電效應(yīng)。正壓電效應(yīng)是指：當(dāng)沿著一定方向?qū)w加力而使其變形時(shí)，內(nèi)部會(huì)產(chǎn)生電極化現(xiàn)象，在對(duì)應(yīng)的兩個(gè)表面上產(chǎn)生符號(hào)相反的電荷；當(dāng)外力撤去后，晶體又恢復(fù)到不帶電的狀態(tài)；當(dāng)外力作用方向改變時(shí)，電荷的極性也隨之改變；晶體受力所產(chǎn)生的電荷量與外力的大小成正比。3.5.4壓電壓力傳感器逆壓電效應(yīng)是指在晶體的極化方向施加交變電場(chǎng)，引起晶體在一定方向上產(chǎn)生機(jī)械變形或機(jī)械應(yīng)力，當(dāng)外電場(chǎng)撤去時(shí)這些變形或應(yīng)力也隨之消失的現(xiàn)象，又稱電致伸縮效應(yīng)。用逆壓電效應(yīng)制造的傳感器可用于電聲和超聲工程。3.5.4壓電壓力傳感器壓電式傳感器大多是利用正壓電效應(yīng)制成的。Kistler壓電式壓力傳感器壓電式壓力傳感器QSY8113壓電式壓力傳感器3.5.4壓電壓力傳感器壓電材料可分為單晶、多晶和有機(jī)壓電材料。壓電式傳感器中用得最多的是屬于多晶的各類壓電陶瓷和單晶中的石英晶體。壓電陶瓷包括鈦酸鋇壓電陶瓷、PZT、鈮酸鹽系壓電陶瓷、鈮鎂酸鉛壓電陶瓷等等，其優(yōu)點(diǎn)是燒制方便、易成型、耐濕、耐高溫；缺點(diǎn)是具有熱釋電性，會(huì)對(duì)力學(xué)量測(cè)量造成干擾。有機(jī)壓電材料有聚二氟乙烯、聚氟乙烯、尼龍等十余種高分子材料。有機(jī)壓電材料可大量生產(chǎn)和制成較大的面積，它與空氣的聲阻匹配具有獨(dú)特的優(yōu)越性，是很有發(fā)展?jié)摿Φ男滦碗娐暡牧稀?.5.4壓電壓力傳感器最先發(fā)現(xiàn)壓電效應(yīng)的石英晶體中的是一種天然晶體，在一定的溫度范圍之內(nèi)，壓電性質(zhì)一直存在，但溫度超過這個(gè)范圍之后，壓電性質(zhì)完全消失（這個(gè)高溫就是所謂的“居里點(diǎn)”）。由于石英晶體壓電系數(shù)比較低，隨著應(yīng)力的變化電場(chǎng)變化微小，所以石英晶體逐漸被其他的壓電晶體所替代。60年代以來發(fā)現(xiàn)了同時(shí)具有半導(dǎo)體特性和壓電特性的晶體，如硫化鋅、氧化鋅、硫化鈣等，利用這種材料可以制成集敏感元件和電子線路于一體的新型壓電傳感器，因此很有發(fā)展前途。3.5.4壓電壓力傳感器由壓電材料制成的壓電元件受到壓力作用時(shí)產(chǎn)生的電荷量與作用力之間呈線性關(guān)系：式中，Q為電荷量；k為壓電常數(shù)；A為作用面積；p為壓力。通過測(cè)量電荷量可知被測(cè)壓力大小。壓電式壓力傳感器體積小，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，工作可靠；測(cè)量范圍寬，可測(cè)100MPa以下的壓力；測(cè)量精度較高；頻率響應(yīng)高，可達(dá)30kHz，是動(dòng)態(tài)壓力檢測(cè)中常用的傳感器，但由于壓電元件存在電荷泄漏，故不適宜測(cè)量緩慢變化的壓力和靜態(tài)壓力。3.5.4壓電壓力傳感器在膜片式壓電壓力傳感器中，壓電晶體支撐于絕緣導(dǎo)向套上，由膜片將被測(cè)壓力傳遞給壓電晶體，使壓電晶體受力而產(chǎn)生電荷；電荷量一般用電荷放大器或電壓放大器放大，轉(zhuǎn)換為電壓或電流輸出，輸出信號(hào)與被測(cè)壓力值相對(duì)應(yīng)。更換壓電元件可以改變壓力的測(cè)量范圍；在配用電荷放大器時(shí)，可以將多個(gè)壓電元件并聯(lián)以提高傳感器的靈敏度；在配用電壓放大器時(shí)，可以將多個(gè)壓電元件串聯(lián)以提高傳感器的靈敏度。3.5.5集成壓力傳感器微電子機(jī)械系統(tǒng)（MicroElectroMechanicalSystems，MEMS）是21世紀(jì)前沿技術(shù)，是建立在微米∕納米技術(shù)（micro/nanotechnology）基礎(chǔ)上的、對(duì)微米∕納米材料進(jìn)行設(shè)計(jì)、加工、制造、測(cè)量和控制的技術(shù)，它涉及機(jī)械、電子、化學(xué)、物理、光學(xué)、生物、材料等多學(xué)科，將對(duì)未來人類生活產(chǎn)生革命性的影響。MEMS齒輪MemsSensor3.5.5集成壓力傳感器微電子機(jī)械系統(tǒng)技術(shù)采用成熟的微電子技術(shù)和微加工技術(shù)（包括硅體微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片鍵合等技術(shù)）相結(jié)合的制造工藝，制造出各種性能優(yōu)異、價(jià)格低廉、微型化的傳感器、執(zhí)行器、微型構(gòu)件、微機(jī)械光學(xué)器件、真空微電子器件等，在航空、航天、汽車、生物醫(yī)學(xué)、環(huán)境監(jiān)控、軍事以及幾乎人們所接觸到的所有領(lǐng)域中都有著十分廣闊的應(yīng)用前景。目前MEMS市場(chǎng)的主導(dǎo)產(chǎn)品為壓力傳感器、加速度計(jì)、微陀螺儀、墨水噴咀和硬盤驅(qū)動(dòng)頭等。3.5.5集成壓力傳感器1987年美國U.C.Bekeley成功研制出的微型靜電馬達(dá)。微機(jī)械柱形開關(guān)，可二次開發(fā)設(shè)計(jì)為多種傳感器。TheMEMSmotorCloseUpofMEMSPostStyleActuator3.5.5集成壓力傳感器MEMS壓力傳感器一般分為電容式、壓阻式和壓電式。電容式壓力傳感器的溫漂比較小，精密度很好，芯片的結(jié)構(gòu)具有很好的穩(wěn)定性，但是它的線性度比較差，而且很容易受到寄生電容的影響。壓阻式壓力傳感器，溫漂較大、精密度較低、一致性較差，線性度卻很好，但通過溫度校正、特征參數(shù)校正和智能校正算法也可實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量。壓電式MEMS壓力傳感器可輕松實(shí)現(xiàn)小型化，在于集成的應(yīng)變硅電橋可直接獲取應(yīng)變膜的彎曲量，從而實(shí)現(xiàn)元件結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)化。另外，通過采用薄膜工藝技術(shù)、微細(xì)加工技術(shù)及封裝技術(shù)，也可減小傳感器元件尺寸，使其達(dá)到業(yè)界最小。3.5.5集成壓力傳感器德國BOSCH公司生產(chǎn)的MEMS壓力傳感器BMP085，是目前最小數(shù)字式壓力傳感器，尺寸為3.6mm×3.8mm×0.93mm。BMP085是一款高精度、超低能耗、智能化的壓力傳感器，配備了求值電路并經(jīng)過完全校準(zhǔn)和檢測(cè)，絕對(duì)精度最低可以達(dá)到0.03hPa，并且耗電極低，只有3μA；BMP085采用8-pin陶瓷無引線芯片承載（LCC），超薄封裝，通過I2C總線直接與各種微處理器相連。典型應(yīng)用有：GPS精確導(dǎo)航（航位推算，上下橋檢測(cè)等）、室內(nèi)室外導(dǎo)航、休閑體育和醫(yī)療健康等，監(jiān)測(cè)、天氣預(yù)報(bào)、垂直速度指示（上升/下沉速度）、風(fēng)扇功率控制等。3.5.5集成壓力傳感器美國Honeywell公司的FSS系列小型精密可靠觸力傳感器，傳感器采用專門設(shè)計(jì)的精制壓敏電阻硅傳感元件，通過不銹鋼球?qū)⑹┘拥牧械焦杵?，電阻值的變化是隨施加力的大小而成比例變化的。小功率，無放大、無補(bǔ)償?shù)幕菟诡D電橋電路設(shè)計(jì)可在測(cè)力范圍內(nèi)提供穩(wěn)定的mV輸出。典型應(yīng)用有：醫(yī)療用輸液泵、可移動(dòng)的非倒裝壓力泵、堵塞物探測(cè)、腎透析機(jī)、負(fù)載和加壓傳感、可變張力控制、模擬機(jī)器人端部感應(yīng)器等。3.5.5集成壓力傳感器美國Honeywell公司的240pc系列硅壓力傳感器，傳感器集成了惠斯通電橋結(jié)構(gòu)、硅壓阻技術(shù)、線性比例輸出，設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔、易安裝且靈活。傳感器適合于包括醫(yī)療設(shè)備在內(nèi)的眾多工業(yè)場(chǎng)合。應(yīng)用范圍包括：流量校準(zhǔn)器、通風(fēng)及風(fēng)量監(jiān)控器、氣體流量?jī)x表、透析裝置、睡眠呼吸暫停監(jiān)視與治療設(shè)備、HVAC（采暖、通風(fēng)、空調(diào)）控制裝置、氣壓測(cè)定、氣動(dòng)控制等。3.5.5集成壓力傳感器西安自動(dòng)化儀表一廠生產(chǎn)的FYC系列微型壓力傳感器，分為高溫型和常溫型。FYC系列高溫壓力傳感器采用MEMS技術(shù)和SOI技術(shù)，集成平膜壓力傳感器芯體，并采用先進(jìn)的梁膜結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，使其具有耐高溫及瞬時(shí)高溫沖擊的能力、動(dòng)態(tài)頻率響應(yīng)高、超高量程、高過載等特點(diǎn)。該壓力傳感器廣泛應(yīng)用于航空航天、國防、石油、化工、冶金、電力、船舶、汽車、醫(yī)藥、科研等領(lǐng)域?qū)Ω邷亓黧w的測(cè)量。FYC系列常溫微型壓力傳感器外徑在Φ3mm到Φ12mm、長(zhǎng)度不超過25mm，以滿足在空氣動(dòng)力學(xué)研究、飛行器及發(fā)動(dòng)機(jī)試驗(yàn)、風(fēng)洞試驗(yàn)、流體力學(xué)及水工試驗(yàn)、水輪機(jī)及水下兵器試驗(yàn)、生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用，化爆或核爆沖擊波等許多研究中的特殊要求。3.5.5集成壓力傳感器美國Honeywell公司的ASDX-DO系列壓力傳感器，內(nèi)置專用集成電路（ASIC），經(jīng)全面校準(zhǔn)并有溫度補(bǔ)償。ASDX-DO壓力傳感器采用標(biāo)準(zhǔn)DIP封裝，可對(duì)傳感器偏置、靈敏度、溫度系數(shù)和非線性度進(jìn)行數(shù)字校正。ASDX系列采用了I2C兼容性協(xié)議，傳感器的輸出是一個(gè)16進(jìn)制格式的已校正的壓力值，其分辨率為12位。具有可用單一5VDC供電電壓工作的特性。傳感器的設(shè)計(jì)和制造均遵循ISO9001標(biāo)準(zhǔn)，所有ASDX-DO壓力傳感器的精度在滿量程范圍內(nèi)為±2.0％。壓力傳感器可用于測(cè)量絕壓、差壓和表壓，可用于非腐蝕性、非電離的工作流體，如空氣和干燥氣體。3.5.5集成壓力傳感器德國ELMOS公司的共集成壓力傳感器芯片，將ELMOSCMOS技術(shù)和最先進(jìn)的壓力傳感器和創(chuàng)新組裝方法結(jié)合在一起，智能校準(zhǔn)算法和集成EEPROM中儲(chǔ)存校準(zhǔn)數(shù)據(jù)結(jié)合在一起，產(chǎn)生了具有評(píng)估電子設(shè)備和接口的全面集成高精度壓力傳感器。數(shù)字校準(zhǔn)算法確保了高精度測(cè)量（在氣溫和壓力波動(dòng)下少于0.5%）。3.5.5集成壓力傳感器美國SMI公司SM5812和SM5852系列為硅微結(jié)構(gòu)OEM壓力傳感器，是基于SMI高穩(wěn)定性安裝在陶瓷基板上的壓阻式壓力芯片，并集成可編程ASIC邏輯器件，生產(chǎn)的具有放大、充分校準(zhǔn)、多階壓力修正和溫度補(bǔ)償?shù)碾p列直插式封裝的高性能壓力傳感器。傳感器模塊可直接安裝在標(biāo)準(zhǔn)的PCB板上，經(jīng)過放大、高精確性校準(zhǔn)和溫度補(bǔ)償過的壓力信號(hào)可通過數(shù)字接口或者模擬輸出。傳感器可用于氣壓測(cè)量、醫(yī)療器械（呼吸機(jī)、麻醉機(jī)和監(jiān)護(hù)儀）、HVAC（空調(diào)）、水平監(jiān)測(cè)、流量測(cè)量、氣動(dòng)控制等。3.5.5集成壓力傳感器美國freescale公司的MPX系列硅壓力傳感器，主要以氣壓測(cè)量為主，適合用于醫(yī)療器械，氣體壓力控制等領(lǐng)域，輸出數(shù)字信號(hào)。其測(cè)量方式可分為：表壓（GP）、絕壓（A、AP）、差壓（D、DP）型。在寬溫度范圍工作時(shí)需外加補(bǔ)償網(wǎng)絡(luò)和信號(hào)調(diào)整電路。具體型號(hào)分類而定。拓展提高

壓電壓力傳感器應(yīng)用壓電傳感器主要應(yīng)用在加速度、壓力和力等的測(cè)量中。壓電式加速度傳感器是一種常用的加速度計(jì)，它具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小、