標(biāo)準(zhǔn)解讀
《T/CEMIA 025-2021 光伏電池片制程用石英管》這一標(biāo)準(zhǔn)詳細規(guī)定了在光伏電池片制造過程中使用的石英管的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運輸和貯存等方面的內(nèi)容。該標(biāo)準(zhǔn)適用于光伏電池片生產(chǎn)中作為擴散爐、PECVD等設(shè)備關(guān)鍵部件的石英管。
根據(jù)標(biāo)準(zhǔn),對于石英管的基本性能提出了明確的要求,包括但不限于材料純度、外觀質(zhì)量、尺寸精度及耐溫性等。其中,材料純度方面強調(diào)了SiO2含量需達到一定水平以保證其優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn)定性;外觀上則要求表面光滑無裂紋、氣泡或雜質(zhì)等缺陷;尺寸公差控制嚴(yán)格,旨在確保安裝使用時的一致性和可靠性;同時,考慮到實際應(yīng)用環(huán)境,還特別指出了對高溫條件下穩(wěn)定性的需求。
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....
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- 現(xiàn)行
- 正在執(zhí)行有效
- 2021-08-01 頒布
- 2021-12-25 實施



文檔簡介
ICS27160
CCSF.12
團體標(biāo)準(zhǔn)
T/CEMIA025—2021
光伏電池片制程用石英管
Quartztubingforphotovoltaiccellprocess
2021-08-01發(fā)布2021-12-25實施
中國電子材料行業(yè)協(xié)會發(fā)布
T/CEMIA025—2021
前言
本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定
GB/T1.1—2020《1:》
起草
。
請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任
。。
本文件由中國電子材料行業(yè)協(xié)會提出并歸口
。
本文件主要起草單位江蘇太平洋石英股份有限公司
:。
本文件參與起草單位晶澳太陽能科技股份有限公司上海強華實業(yè)股份有限公司北京凱德石英
:、、
股份有限公司隆基綠能科技有限公司晶科能源控股有限公司沈陽漢科半導(dǎo)體材料有限公司中國建
、、、、
筑材料研究總院東海奧博石英制品有限公司
、。
本文件主要起草人陳士斌劉明偉趙永猛高君周文華張忠恕任改改陳昌林錢衛(wèi)剛
:、、、、、、、、、
李來斌董平王慧孔凡昌藍呈張建解冬利
、、、、、、。
Ⅰ
T/CEMIA025—2021
光伏電池片制程用石英管
1范圍
本文件規(guī)定了光伏電池片制程用石英管的術(shù)語和定義技術(shù)要求試驗方法檢驗規(guī)則包裝標(biāo)志
、、、、、、
運輸貯存要求
、。
本文件適用于以高純石英砂二氧化硅為原料采用連續(xù)電熔工藝生產(chǎn)石英母管并將其直徑擴大
(),,
到用于光伏電池片擴散和化學(xué)氣相沉積等制程用石英玻璃管
300mm~600mm,。
2規(guī)范性引用文件
下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文
。,
件僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于
,;,()
本文件
。
石英玻璃化學(xué)成分分析方法
GB/T3284
石英玻璃熱變色性試驗方法
GB/T4121
石英玻璃熱穩(wěn)定性試驗方法
GB/T10701
石英玻璃中羥基含量檢驗方法
GB/T12442
半導(dǎo)體用透明石英玻璃管
JC/T597
石英玻璃術(shù)語
JC/T2205
3術(shù)語和定義
界定的下列術(shù)語和定義適用于本文件
JC/T2205。
31
.
氣泡bubble
石英玻璃管壁內(nèi)的圓形橢圓形空穴
、。
來源有修改
[:JC/T2205—2014,4.1,]
32
.
破皮氣泡openbubble
暴露在石英玻璃管內(nèi)或外表面的開口氣泡
。
來源有修改
[:JC/T2205—2014,4.2,]
33
.
氣線airline
石英玻璃管壁內(nèi)或表面平行于管長方向的線狀梭狀空穴
、。
來源有修改
[:JC/T2205—2014,4.4,]
34
.
破皮氣線openairline
暴露在石英玻璃管內(nèi)或外表面的開口氣線
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