標(biāo)準(zhǔn)解讀
《T/CEMIA 006-2018 膜厚監(jiān)控用石英晶振片》是一項由中國電子材料行業(yè)協(xié)會發(fā)布的團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn),旨在規(guī)范膜厚監(jiān)控過程中使用的石英晶體振蕩片(簡稱石英晶振片)的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存等方面的內(nèi)容。該標(biāo)準(zhǔn)適用于在半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的薄膜沉積工藝中用于實時監(jiān)測膜層厚度變化的石英晶振片。
根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容,石英晶振片應(yīng)滿足特定尺寸精度與頻率穩(wěn)定性要求,以確保其能夠準(zhǔn)確地反映膜層生長過程中的質(zhì)量變化情況。此外,還規(guī)定了不同類型石英晶振片的工作溫度范圍、耐腐蝕性等性能指標(biāo),并對如何通過實驗驗證這些性能給出了詳細(xì)的方法指導(dǎo)。
對于石英晶振片的出廠檢驗項目包括外觀檢查、尺寸測量及電氣特性測試等;而型式檢驗則需按照更加嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)來進(jìn)行,涵蓋更全面的產(chǎn)品性能評估。標(biāo)準(zhǔn)還特別強(qiáng)調(diào)了產(chǎn)品標(biāo)識的重要性,要求每個石英晶振片都必須清晰標(biāo)注制造商名稱或商標(biāo)、型號規(guī)格、生產(chǎn)日期等信息。
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....
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- 現(xiàn)行
- 正在執(zhí)行有效
- 2018-12-14 頒布
- 2019-03-14 實施




文檔簡介
ICS31140
L21.
團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)
T/CEMIA006—2018
膜厚監(jiān)控用石英晶振片
Quartzcrystalresonatorforfilmthicknesscontrol
2018-12-14發(fā)布2019-03-14實施
中國電子材料行業(yè)協(xié)會發(fā)布
中國電子材料行業(yè)協(xié)會
團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)
膜厚監(jiān)控用石英晶振片
T/CEMIA006—2018
*
中國標(biāo)準(zhǔn)出版社出版發(fā)行
北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號
2(100029)
北京市西城區(qū)三里河北街號
16(100045)
網(wǎng)址
:
服務(wù)熱線
:400-168-0010
年月第一版
20194
*
書號
:155066·2-34127
版權(quán)專有侵權(quán)必究
T/CEMIA006—2018
前言
本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草
GB/T1.1—2009。
請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別這些專利的責(zé)任
。。
本標(biāo)準(zhǔn)由中國電子材料行業(yè)協(xié)會提出并歸口
。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位唐山萬士和電子有限公司武漢海創(chuàng)電子股份有限公司唐山國芯晶源電子
:、、
有限公司北京晨晶電子有限公司江蘇省東海硅產(chǎn)業(yè)科技創(chuàng)新中心
、、。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人王麗娟毛晶張立強(qiáng)宮桂英李健德李劍李潔陳中康張翔
:、、、、、、、、。
Ⅰ
T/CEMIA006—2018
膜厚監(jiān)控用石英晶振片
1范圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了膜厚監(jiān)控用石英晶振片的產(chǎn)品分類技術(shù)要求試驗和測量方法檢驗規(guī)則標(biāo)志包
、、、、、
裝運(yùn)輸貯存的要求
、、。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體激光紅外光學(xué)鏡片器材等行業(yè)鍍膜用膜厚監(jiān)控石英晶振片
、LED、OLED、、。
2規(guī)范性引用文件
下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件
。,()。
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RoHS/2011/65/EU2011/
號指令
65/EU
3術(shù)語和符號
界定的術(shù)語和定義適用于本文件
GB/T12273.1—2017、GB/T3352—2012。
4分類和標(biāo)記
41型號
.
按照石英晶振片外徑電極膜材料電極形狀差異分為不同型號的產(chǎn)品
、、。
42標(biāo)記
.
產(chǎn)品標(biāo)記方法應(yīng)符合以下規(guī)定
:
WXXYYZZ
電極圖形代碼滿電極圖形雙錨形電極
,01———,02———
電極膜材代碼鉻金膜銀鋁膜銀膜
,Au———,A1———,Ag———
直徑代碼直徑為直徑為
,14———13.97mm,12———12.45mm
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