量塊光波干涉儀檢定規(guī)程本規(guī)程適用于測量范圍從0.5mm～1000mm的激光量塊干涉儀及用于高等級量塊測量的量塊光波干涉儀的首次檢定、后續(xù)檢定和使用中的檢驗。使用本規(guī)程時，應注意使用上述引用文獻的現(xiàn)行有效版本。量塊光波干涉儀是指以激光或其他光波波長為標準，用光波干涉原理測量量塊長度的儀器。儀器按測量方法分為小數(shù)重合法和脈沖計數(shù)法，按測量范圍分為(0.5～100)mm和(100～1000)mm。常見的有激光量塊干涉儀、柯氏光波干涉儀、海爾格一瓦茲光波干涉儀、雙參考鏡一米光波干涉儀、接觸式激光量塊干涉儀等。量塊光波干涉儀所用光波真空波長的相對不確定度應滿足表1的要求。使用多個波長時，至少有一個波長的相對不確定度應滿足表1的要求。4.2量塊溫度測量儀器的示值誤差量塊溫度測量儀器的示值誤差應滿足表1的要求?？諝庹凵渎蕼y量儀器的示值誤差應滿足表1的要求。采用研合方式測量時使用的平晶，其工作面的24.5測量重復性量塊長度的測量重復性應滿足表1的要求。4.6儀器示值誤差儀器的示值誤差應滿足表1的要求。空氣折射率空氣折射率的相對不確定度U,k=3大氣壓力測量儀示值最大允許誤差空氣溫度測量儀示值最大允許誤差CO?含量測量儀*示值最大允許誤差*:CO?含量的測量是否采用可視具體情況，根據測量不確定度要求確定，下同。#*:l表示量塊的長度。5通用技術要求5.1外觀儀器的主體完整，配套設備齊全。儀器的輸出信號(干涉條紋圖像或李沙育圖形等)滿足測量要求。5.2各部分相互作用儀器的各個運動部件能正常運行，各個調整部件能靈活調節(jié)，有效可靠。量塊溫度測量儀的感溫元件應能與量塊有良好的導熱。6計量器具控制計量器具控制包括：首次檢定、后續(xù)檢定和使用中的檢驗。6.1檢定條件6.1.1實驗室的溫度：(20±0.2)℃,溫度變化不超過0.1℃/h。6.1.2實驗室的濕度：40%RH～60%RH。6.1.3實驗室內應清潔，無影響測量的振動、氣流等。6.2檢定項目3量塊光波干涉儀的檢定項目和主要檢定設備見表2。檢定項目使用中的檢驗1外觀+十十2各部分相互作用+++3++ 4量塊溫度測量儀器的++ 5A空氣折射率干涉儀的空氣折射率測量儀器，測量不確定度十+ B誤差參考.JJG875—1994數(shù)字壓力計檢定++ C空氣溫度測量儀器的++ D++ ECO?含量*測量儀器的示值誤差++ 6平晶++ 7+++81等量塊++注：1.表中需檢定的項目用“+”表示，可以不檢定的項日用“-”表示。2.6中的平晶只適用于需要研合測量的儀3.溫度、氣壓、空氣濕度和CO?含量的儀器種類較多，適用的規(guī)程會不同，因此，本規(guī)程只引用一種代表性儀器的適用規(guī)程。使用者需要根據各自的儀器種類選擇適用的規(guī)程或規(guī)范。6.3檢定方法6.3.1外觀及各部分相互作用目力觀察、手動試驗。6.3.2儀器的光波波長氪燈波長的測量按附錄進行，激光波長參考JJG353—1994蘭姆凹陷穩(wěn)頻He-Ne激4直接測量空氣折射率的儀器，與測量不確定度Um≤3×10~?,k=3的空氣折射率采用間接法測量空氣折射率時，其測量空氣溫度、大氣壓力、絕對濕度和CO?含量測量范圍在(0.5～100)mm的儀器選用1mm量塊，測量范圍在(100～1000)mm的儀器選用125mm量塊，連續(xù)重復測量量塊中心長度10次，計算出單次測量的標準偏需研合測量的儀器，測量重復性時不需要重新研合。測量范圍在(0.5～100)mm的儀器選用1mm,50mm,100mm量塊，測量范圍(100~1000)mm的儀器選用125mm,500mm,1000mm量塊，量塊中心長度測量結果與量塊也可根據儀器的測量范圍選用量塊，一般不少于3塊，且要求基本覆蓋全部測量對需研合測量的儀器，量塊的研合應由被檢儀器的使用者進行。檢定結果不合格的，出具檢定結果通知書，并標明不合格項的檢定結果。5附錄A柯氏干涉儀中幾個主要部分的檢定方法A.1柯氏干涉儀使用的氪燈的檢氪燈發(fā)出的波長具有自然基準的特性，即當燈管的形式，沖氣度，激發(fā)電壓等在工藝上保證達到規(guī)定數(shù)據時，其波長的相對不確定度是Um=1×10~?,k=3。所以使用中的氪燈管不必專門檢定譜線波 接通電源后，將電流調到(15～20)mA,氪燈應能正常發(fā)光，光強應穩(wěn)定。 取一塊不低于0級的100mm量塊與一級平晶相研合并安放在工作臺上，調整工作臺高度使標線對準刻度尺上100mm刻度處。經過適當?shù)臏囟绕胶夂?，依次引入紅、黃、綠、紫四條譜線，量塊和平晶表面上均應能產生對比度良好、清晰易讀的干涉滿足上述要求的燈管即可認為合格，四條譜線標準狀態(tài)下的波長紅A.2.1在出光隙縫位置上放置十字刻線光闌，用白光燈通過高斯目鏡照明十字刻線，通過目鏡應能觀察到由參考鏡反射回來的十字線像與十字刻線重b,在水平方向的不重合度為x,垂直方向的不重合度為y,十字刻線光闌繞光軸旋轉A.2.2取下十字刻線光闌，使目鏡進入光路。沿光軸前后調整目鏡，應能找到某個位A.2.3裝上出光隙縫，通過目鏡觀察，從參考鏡反射回來的像應與出光隙縫相重合，A.3.1取下出光隙縫，通過目鏡應能觀察到清晰、明亮的進光隙縫的像。A.3.2裝上出光隙縫，轉動色散棱鏡調整手輪，應能使進光隙縫的像與出光隙縫相6附錄B關于溫度和空氣折射率測量的注意事項量塊溫度的測量誤差不等于溫度測量儀器的示值誤差，測量時要考慮溫度傳感器與量塊的熱接觸，溫度波動大小，溫度平衡時間等影響因素?？諝鉁囟葴y量同樣要考慮溫度波動大小等影響因素。量塊溫度和空氣溫度的短時間(10min)波動不能超過溫度測量儀器的最大允許誤差的1/4(0.01℃)。測量空氣溫度、大氣壓力、絕對濕度和CO?含量要考慮傳感器是否在測量光路附近，如不是應考慮其對測量影響的