ICS1304035

CCSC.70.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T2591515—2022/ISO14644-152017

.:

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

第15部分按氣態(tài)化學(xué)物濃度評(píng)定

:

設(shè)備及材料的適用性

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—

Part15Assessmentofsuitabilitforuseofeuimentandmaterialsb

:yqpy

airbornechemicalconcentration

ISO14644-152017IDT

(:,)

2022-12-30發(fā)布2023-07-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T2591515—2022/ISO14644-152017

.:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語(yǔ)和定義

3………………1

符號(hào)

4………………………3

檢測(cè)裝置

5…………………4

代表性模式

6………………6

目視檢查

7…………………7

檢測(cè)流程

8…………………7

濃度的計(jì)算

9………………8

特定釋放速率的計(jì)算

10……………………8

評(píng)定

11………………………9

記錄

12……………………10

附錄資料性已安裝設(shè)備的適用性評(píng)定示例

A()………12

附錄資料性潔凈室或潔凈區(qū)域已安裝板壁材料的適用性評(píng)定計(jì)算示例

B()………13

附錄資料性設(shè)計(jì)階段潔凈室設(shè)備和地面材料適用性評(píng)定

C()………14

參考文獻(xiàn)

……………………16

Ⅰ

GB/T2591515—2022/ISO14644-152017

.:

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件是潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的第部分已經(jīng)發(fā)布了以下

GB/T25915《》15。GB/T25915

部分

:

第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)

———1:;

第部分潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測(cè)

———2:;

第部分檢測(cè)方法

———3:;

第部分設(shè)計(jì)建造啟動(dòng)

———4:、、;

第部分運(yùn)行

———5:;

第部分詞匯

———6:;

第部分隔離裝置潔凈風(fēng)罩手套箱隔離器微環(huán)境

———7:(、、、);

第部分按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)

———8:(ACC);

第部分按粒子濃度劃分表面潔凈度等級(jí)

———9:;

第部分按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度等級(jí)

———10:;

第部分監(jiān)測(cè)空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求

———12:;

第部分達(dá)到粒子和化學(xué)潔凈度要求的表面清潔

———13:;

第部分按粒子濃度評(píng)估設(shè)備適用性

———14:;

第部分按氣態(tài)化學(xué)物濃度評(píng)定設(shè)備及材料的適用性

———15:。

本文件等同采用潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分按氣態(tài)化學(xué)物濃度評(píng)定

ISO14644-15:2017《15:

設(shè)備及材料的適用性

》。

本文件做了下列最小限度的編輯性改動(dòng)

:

更正了表中的符號(hào)意義錯(cuò)誤將表中的x與檢測(cè)目標(biāo)相關(guān)的特定指標(biāo)x與評(píng)定目標(biāo)相關(guān)

———1,“”“

的數(shù)量合并修改為x檢測(cè)材料面積或檢測(cè)設(shè)備數(shù)量

”“”。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國(guó)潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC319)。

本文件起草單位深圳市吉隆潔凈技術(shù)有限公司中國(guó)電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司深圳天溯

:、、

計(jì)量檢測(cè)股份有限公司蘇州市計(jì)量測(cè)試院蘇州安泰空氣技術(shù)有限公司北京中邦興業(yè)科技有限公司

、、、、

中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會(huì)江蘇富泰凈化科技股份有限公司天津大學(xué)中國(guó)建筑科學(xué)研究院有限公司中國(guó)電子

、、、、

系統(tǒng)第四建設(shè)有限公司中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院有限公司上海市室內(nèi)環(huán)境凈化行業(yè)協(xié)會(huì)廣東省潔凈技

、、、

術(shù)行業(yè)協(xié)會(huì)江漢大學(xué)河南盛川凈化工程有限公司中國(guó)合格評(píng)定國(guó)家認(rèn)可中心中科圣杰深圳科技

、、、、()

集團(tuán)有限公司上海建科環(huán)境技術(shù)有限公司廣州市第二裝修有限公司深圳市朗奧潔凈科技技術(shù)股份

、、、

有限公司南京工業(yè)大學(xué)

、。

本文件主要起草人胡茂從王天羿郝胤博馮昕裴晶晶黃吉輝暴海霞孫玉澄吳建華袁月

:、、、、、、、、、、

袁佳吳志堅(jiān)閻冬陳晶晶徐曉麗石霞夏高豐韓輝張志行張仲杰董學(xué)鑫周斌劉永陳健胡向陽(yáng)

、、、、、、、、、、、、、、、

樊娜

。

Ⅲ

GB/T2591515—2022/ISO14644-152017

.:

引言

采用系列國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)各部分設(shè)置與國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)保持一致擬由個(gè)部分

GB/T25915ISO14644,,15

構(gòu)成

。

第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)目的是區(qū)分粒子污染程度

———1:。。

第部分潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測(cè)目的是指導(dǎo)監(jiān)測(cè)粒子污染以避免可能產(chǎn)生的污染

———2:。,

風(fēng)險(xiǎn)

。

第部分檢測(cè)方法目的是指導(dǎo)對(duì)潔凈室內(nèi)各種污染和相關(guān)環(huán)境要素的檢測(cè)

———3:。。

第部分設(shè)計(jì)建造啟動(dòng)目的是指導(dǎo)潔凈室的設(shè)計(jì)建造啟動(dòng)

———4:、、。、、。

第部分運(yùn)行目的是指導(dǎo)潔凈室的運(yùn)行

———5:。。

第部分詞匯目的是統(tǒng)一規(guī)范技術(shù)術(shù)語(yǔ)

———6:。。

第部分隔離裝置潔凈風(fēng)罩手套箱隔離器微環(huán)境目的是提出潔凈室用隔離裝置的基

———7:(、、、)。

本要求

。

第部分按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)目的是區(qū)分空氣化學(xué)污染程度

———8:(ACC)。。

第部分按粒子濃度劃分表面潔凈度等級(jí)目的是區(qū)分表面粒子污染程度

———9:。。

第部分按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度等級(jí)目的是區(qū)分表面化學(xué)污染程度

———10:。。

第部分監(jiān)測(cè)空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求目的是提出納米級(jí)別的粒子污染的檢測(cè)

———12:。

要求

。

第部分達(dá)到粒子和化學(xué)潔凈度要求的表面清潔目的是提出潔凈室內(nèi)表面的清潔要求以

———13:。

避免可能產(chǎn)生的粒子和化學(xué)污染的風(fēng)險(xiǎn)

。

第部分按粒子濃度評(píng)估設(shè)備適用性目的是通過(guò)對(duì)相關(guān)設(shè)備可能在潔凈室產(chǎn)生粒子污染

———14:。

的測(cè)試確定設(shè)備的適合性

,。

第部分按氣態(tài)化學(xué)物濃度評(píng)定設(shè)備及材料的適用性目的是通過(guò)對(duì)相關(guān)設(shè)備及材料可能

———15:。

在潔凈室產(chǎn)生氣態(tài)化學(xué)污染的測(cè)試確定設(shè)備及材料的適用性

,。

第部分提升潔凈室和空氣凈化裝置的能效目的是節(jié)約潔凈室運(yùn)行的能源消耗

———16:。。

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境按照對(duì)污染物敏感的作業(yè)所適用的水平提供污染控制污染控制有利于航

。

空航天微電子光學(xué)核能和生命科學(xué)制藥醫(yī)療器械食品醫(yī)療等行業(yè)的產(chǎn)品和工藝

、、、(、、、)。

本部分采用按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度的等級(jí)來(lái)評(píng)定潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中的設(shè)備適用性

。

附錄附錄附錄給出了適用性評(píng)定的案例

A、B、C。

Ⅳ

GB/T2591515—2022/ISO14644-152017

.:

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

第15部分按氣態(tài)化學(xué)物濃度評(píng)定

:

設(shè)備及材料的適用性

1范圍

本文件規(guī)定了評(píng)定潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中設(shè)備和材料的適用性要求提供了指南

,。

本文件不適用于以下內(nèi)容

:

健康和安全要求

———;

清潔劑及清潔技術(shù)的相容性

———;

清潔性

———;

生物污染

———;

工藝和產(chǎn)品對(duì)設(shè)備和材料的特定要求

———;

設(shè)備的設(shè)計(jì)細(xì)節(jié)

———。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,(