標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 37030-2018 電子級(jí)三甲基銦》是一項(xiàng)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，主要針對(duì)用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中的高純度三甲基銦產(chǎn)品。該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子級(jí)三甲基銦的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存的要求。

根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容，對(duì)于電子級(jí)三甲基銦而言，其純度是關(guān)鍵指標(biāo)之一，需要達(dá)到特定水平以滿足半導(dǎo)體行業(yè)的嚴(yán)格需求。此外，還對(duì)其中可能存在的雜質(zhì)種類(lèi)及其最大允許含量進(jìn)行了詳細(xì)限定，包括但不限于金屬雜質(zhì)和其他有機(jī)或無(wú)機(jī)化合物。這些雜質(zhì)限制旨在確保最終產(chǎn)品的性能不受影響，并能夠適用于各種精密的半導(dǎo)體工藝中。

在檢測(cè)方面，《GB/T 37030-2018》提供了具體的分析測(cè)試方法來(lái)驗(yàn)證產(chǎn)品質(zhì)量是否符合上述技術(shù)規(guī)范，涵蓋物理性質(zhì)測(cè)定（如密度）、化學(xué)成分分析等多方面內(nèi)容。通過(guò)采用高效液相色譜法(HPLC)、氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用(GC-MS)等先進(jìn)儀器進(jìn)行精確測(cè)量，保證數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠。

同時(shí)，此標(biāo)準(zhǔn)也明確了出廠前及入庫(kù)后的質(zhì)量控制流程，包括取樣方式、驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)等內(nèi)容，確保每一批次的產(chǎn)品都能達(dá)到統(tǒng)一的質(zhì)量水平。最后，在產(chǎn)品的標(biāo)識(shí)、包裝形式、運(yùn)輸條件等方面也有相應(yīng)指導(dǎo)性說(shuō)明，以便于用戶正確處理并保存這類(lèi)敏感化學(xué)品。


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  • 現(xiàn)行
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  • 2018-12-28 頒布
  • 2019-04-01 實(shí)施
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文檔簡(jiǎn)介

ICS7110020

G86..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T37030—2018

電子級(jí)三甲基銦

Electronicgradetrimethylindium

2018-12-28發(fā)布2019-04-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

中華人民共和國(guó)

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

電子級(jí)三甲基銦

GB/T37030—2018

*

中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社出版發(fā)行

北京市朝陽(yáng)區(qū)和平里西街甲號(hào)

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號(hào)

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線

:400-168-0010

年月第一版

201812

*

書(shū)號(hào)

:155066·1-61411

版權(quán)專(zhuān)有侵權(quán)必究

GB/T37030—2018

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位江蘇南大光電材料股份有限公司中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人陳化冰孫明璐王香曹可慰

:、、、。

Ⅰ

GB/T37030—2018

電子級(jí)三甲基銦

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了三甲基銦的技術(shù)要求試驗(yàn)方法檢驗(yàn)規(guī)則包裝標(biāo)志運(yùn)輸儲(chǔ)存和安全

、、、、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于銦鎂合金法三氯化銦法格式試劑法三種化學(xué)合成法制備并經(jīng)精制純化的三甲基

、、

銦該產(chǎn)品主要用于生長(zhǎng)化合物半導(dǎo)體薄膜材料等

。。

分子式

:C3H9In

相對(duì)分子質(zhì)量按年國(guó)際相對(duì)原子質(zhì)量計(jì)算

:159.92(2013)

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志

GB190

工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T3723

固體化工產(chǎn)品采樣通則

GB/T6679

電子級(jí)水

GB/T11446.1

危險(xiǎn)貨物運(yùn)輸包裝通用技術(shù)條件

GB12463

化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫(xiě)規(guī)定

GB15258

常用化學(xué)危險(xiǎn)品貯存通則

GB15603

潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范

GB50073

3技術(shù)要求

三甲基銦的技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合表要求

1。

表1技術(shù)指標(biāo)

項(xiàng)目指標(biāo)

三甲基銦純度質(zhì)量分?jǐn)?shù)-2

(C3H9In)()/10≥99.99995

銀含量

(Ag)/(μg/g)<0.2

鋁含量

(Al)/(μg/g)<0.3

砷含量

(As)/(g/g)<0.5

金屬元素μ

硼含量

及其他元(B)/(μg/g)<0.2

鋇含量

素含量(Ba)/(μg/g)<0.1

鈹含量

(Be)/(μg/g)<0.02

鉍含量

(Bi)/(μg/g)<

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