標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 32652-2016 多晶硅鑄錠石英坩堝用熔融石英料》是一項(xiàng)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，主要針對(duì)用于多晶硅鑄錠過程中制作石英坩堝所需的熔融石英材料進(jìn)行了規(guī)范。該標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)規(guī)定了熔融石英料的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存等方面的要求。

在技術(shù)要求部分，明確了熔融石英料的化學(xué)成分、物理性能等具體指標(biāo)。比如，對(duì)于SiO2含量有明確的規(guī)定，同時(shí)對(duì)Al2O3、Fe2O3等雜質(zhì)元素的最大允許含量也給出了限定值。此外，還規(guī)定了熔融石英料的密度、熱膨脹系數(shù)等物理性質(zhì)的標(biāo)準(zhǔn)范圍。

試驗(yàn)方法章節(jié)則介紹了如何通過一系列科學(xué)實(shí)驗(yàn)來檢測(cè)熔融石英料是否符合上述技術(shù)要求。這包括但不限于使用X射線熒光光譜法測(cè)定其主要及微量元素組成；采用阿基米德原理測(cè)量密度；利用差示掃描量熱儀(DSC)或熱機(jī)械分析儀(TMA)測(cè)試熱膨脹系數(shù)等。

檢驗(yàn)規(guī)則方面，《GB/T 32652-2016》指出了產(chǎn)品出廠前必須經(jīng)過的質(zhì)量檢查流程，包括批次劃分原則、抽樣方案以及合格判定條件等內(nèi)容。只有當(dāng)所有項(xiàng)目均達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)要求時(shí)，才能認(rèn)為這批熔融石英料為合格品，并準(zhǔn)許出廠銷售。

最后，在標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存部分，標(biāo)準(zhǔn)提供了關(guān)于如何正確標(biāo)識(shí)產(chǎn)品信息（如制造商名稱、地址、執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)號(hào)等），以及推薦使用的包裝材料類型、方式以確保運(yùn)輸過程中的安全性和完整性。同時(shí)也提出了存放環(huán)境的具體建議，比如避免陽(yáng)光直射、保持干燥通風(fēng)等措施，以延長(zhǎng)產(chǎn)品的使用壽命并保證其性能穩(wěn)定。


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文檔簡(jiǎn)介

ICS31030

L90.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T32652—2016

多晶硅鑄錠石英坩堝用熔融石英料

Fusedquartzusedforquartzceramiccruciblesforcastingpolycrystallinesilicon

2016-04-25發(fā)布2016-11-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

中華人民共和國(guó)

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

多晶硅鑄錠石英坩堝用熔融石英料

GB/T32652—2016

*

中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社出版發(fā)行

北京市朝陽(yáng)區(qū)和平里西街甲號(hào)

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號(hào)

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線

:400-168-0010

年月第一版

20166

*

書號(hào)

:155066·1-53852

版權(quán)專有侵權(quán)必究

GB/T32652—2016

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別這些專利的責(zé)任

。。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位國(guó)家硅材料深加工產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心東海縣產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)所江蘇中

:、、

騰石英材料科技有限公司中材高新江蘇硅材料有限公司中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院

、、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人薄雷明程尚栩欒振祥張存君王祥許振午李建德管琪馮亞彬

:、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T32652—2016

多晶硅鑄錠石英坩堝用熔融石英料

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了多晶硅鑄錠石英坩堝用熔融石英料的技術(shù)要求檢驗(yàn)方法檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志包裝運(yùn)

、、、、

輸和貯存

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于太陽(yáng)能級(jí)多晶硅鑄錠石英坩堝用熔融石英料

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

石英玻璃化學(xué)成分分析方法

GB/T3284

塑料編織袋通用技術(shù)要求

GB/T8946

高純石英中雜質(zhì)含量的測(cè)定方法電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法

JC/T2027—2010———

工業(yè)用酸洗石英砂

SJ/T10380—2012

3產(chǎn)品分類

多晶硅鑄錠石英坩堝用熔融石英料按產(chǎn)品粒度分為熔融石英塊料和熔融石英砂料

。

4技術(shù)要求

41外觀

.

熔融石英塊料外觀應(yīng)為無色透明或半透明無異色點(diǎn)

,。

42灼燒失量

.

熔融石英料灼燒失量應(yīng)小于

0.05%。

43粒度

.

熔融石英塊料應(yīng)大于或等于粒徑小于的為熔融石英砂料

830μm;830μm。

44二氧化硅含量

.

二氧化硅含量應(yīng)不低于

99.95%。

45雜質(zhì)元素含量

.

雜質(zhì)元素總含量應(yīng)小于各

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