東旭鉑金通道組

MEC系統(tǒng)操作說明通道的MEC系統(tǒng)主要是為通道外體和坩堝之間提供一個(gè)穩(wěn)定可控的環(huán)境，目的是通過調(diào)節(jié)通道環(huán)境氛圍，減少通道氣泡的產(chǎn)生。設(shè)備組成：該系統(tǒng)主要由氮?dú)庋鯕鈿庠础⒕彌_水箱、混合氣體配比柜、高精度混合氣體計(jì)量柜、高精度定量給水柜、混合氣體輸送管道、輸水毛細(xì)管道、氣體擴(kuò)散管等組成。主要提供水和氮?dú)狻⒀鯕?，并將其按照設(shè)定的比例輸送至通道本體內(nèi)部特定的位置。如下圖所示：

一、系統(tǒng)概況

該系統(tǒng)對(duì)水、氣的控制提供了本地和遠(yuǎn)程兩套控制系統(tǒng)，可以對(duì)任何一個(gè)支路中供水量和供氣量進(jìn)行單獨(dú)調(diào)控，供水供氣系統(tǒng)均可由三樓電腦遠(yuǎn)程控制和四樓控制盤本地控制。系統(tǒng)開機(jī)順序先是打開三樓電腦，然后四樓將開關(guān)打開。關(guān)機(jī)順序則是先將三樓電腦關(guān)掉，然后四樓將開關(guān)關(guān)掉。順序不可打亂，否則系統(tǒng)將無法正常運(yùn)行。無論本地控制盤還是遠(yuǎn)程計(jì)算機(jī)控制，開機(jī)后都是一個(gè)通道整體圖。點(diǎn)擊翻頁鍵可以切換控制界面，進(jìn)入該部分的單獨(dú)控制界面。F1和F8分別是進(jìn)入（上翻）和退出（下翻）鍵，其他控制鍵無效。通過現(xiàn)場(chǎng)的觸控屏或者控制室遠(yuǎn)程電腦可以通過單個(gè)回路界面，控制單個(gè)水泵的供水和氣體計(jì)量的供氣量。如下圖所示

純水控制系統(tǒng)由15路支路組成，加1路備用。純水由主要由定量水泵通過擠壓提供動(dòng)力使水從微細(xì)管流出，流量通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速來控制，轉(zhuǎn)速以開度表示。如圖

二、純水控制系統(tǒng)

安裝或更換安裝或更換安裝或更換安裝或更換安裝或更換氣體控制系統(tǒng)由26路支路組成，分別供應(yīng)到從提升段到供料段的混合氣體流量。另加備用一路。氮?dú)庋鯕馀浔戎饕ㄟ^高精度混合氣體配比柜控制，柜面板上有各種壓力表和指示燈以及調(diào)節(jié)旋鈕，壓力表指示出了進(jìn)口和出口以及控制壓力，指示燈指示出了該柜子的工作狀態(tài)，在線氧含量監(jiān)測(cè)儀實(shí)時(shí)指示出口混合氣體中氧氣含量，氧含量的調(diào)整通過控制旋鈕手動(dòng)調(diào)整。供氣系統(tǒng)由配比柜調(diào)節(jié)氣體比例，如圖

三、氣體控制系統(tǒng)

配比柜和氧氣氮?dú)夤尴噙B。通過減壓閥將氧氣罐和氮?dú)夤迚毫Ψ€(wěn)定在6公斤，過高或者過低配比柜都會(huì)報(bào)警。配比柜箱平時(shí)開一備一，操作上需要先打開Power開關(guān)預(yù)熱到750℃，達(dá)到設(shè)定溫度后打開電源開關(guān)。通過調(diào)整氧氣調(diào)節(jié)閥和Flow旋鈕調(diào)節(jié)混合氣的比例。下圖為在線氧含量監(jiān)測(cè)儀實(shí)時(shí)指示的出口混合氣比例的顯示界面上圖為配比柜的控制界面。我公司設(shè)定的氧氣比例在1±0.1%