IcS71.100.20G86中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T18867一2002電子工業(yè)用氣體六氟化硫GasesforelectronicindustrySulfurhexafluoride2002-10-15發(fā)布2003-04-01實施中華民共和入發(fā)布國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局

GB/T18867-2002前本標(biāo)準(zhǔn)對應(yīng)于SEMIC3.24:1995《鋼瓶裝六氟化硫》標(biāo)準(zhǔn)中的體積分?jǐn)?shù)為99.97%（SEMI為半導(dǎo)體設(shè)備和材料國際組織),與SEMIC3.24的一致性程度為非等效本標(biāo)準(zhǔn)與SEMIC3.24:1995的主要技術(shù)差異如下：根據(jù)我國半導(dǎo)體工業(yè)、集成電路對氣體純度的要求及我國高純六氟化硫氣體生產(chǎn)工藝水平，本標(biāo)準(zhǔn)中的技術(shù)指標(biāo)除水外均優(yōu)于SEMIC3.24。六氟化硫純度定為大于或等于99.99%.優(yōu)于SEMIC3.24中的99.97%。分析方法中修改采用SEMIC3.24中空氣、四氟化碳及水分的測定;同時由于目前國內(nèi)主要采用電解氟氣與硫反應(yīng)生成六氟化硫的工藝路線，該工藝可能產(chǎn)生微量可水解氟化物、其他氟碳化物、其他氟硫化物.這些雜質(zhì)對使用有害，因此增加了二氧化碳、六氟乙烷、八氟丙烷、硫酰氟、亞硫酰氟、十氟一氧化二硫的測定對其他氟硫化物的檢測采用帶有火焰光度檢測器(FPD)的氣相色譜儀，綜合考慮使用方便、設(shè)備費用等因素，本標(biāo)準(zhǔn)采用熱導(dǎo)檢測器與火焰光度檢測器串聯(lián)的氣相色譜儀進行檢測空氣、四氟化碳、硫酰氟、亞硫酰氟、十氟一氧化二硫并作為資料性附錄A。采采用帶有火焰離子化檢測器的氣相色譜儀檢測六氟乙烷、八氟丙烷并作為資料性附錄B。本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A和附錄B為資料性附錄。本標(biāo)準(zhǔn)由原國家石油和化學(xué)工業(yè)局提出。本標(biāo)準(zhǔn)由全國氣體標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會（CSBTS/TC206)歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：中核紅華特種氣體股份有限公司、西南化工研究設(shè)計院起草，光明化工研究設(shè)計院參與起草本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：杜偉華、張奎、賀國武、張軍、何道善本標(biāo)準(zhǔn)為首次發(fā)布。

GB/T18867-—2002電子工業(yè)用氣體六氟化硫分子式：SF.分子量：146.05(按1999年國際相對原子質(zhì)量)范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用氣體六氟化硫產(chǎn)品的技術(shù)要求、分析方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運輸、存和安全要求。本標(biāo)準(zhǔn)適用于硫與氟反應(yīng)生成并經(jīng)精制和純化制備的高純度六氟化硫。該產(chǎn)品主要用作等離子蝕刻劑、摻雜劑、電子元器件的外延氣或稀釋載氣等規(guī)范性引用文件下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件,其隨后所有的修改單(不包括勒誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn).然而，鼓勵根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達成協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。GB190危險貨物包裝標(biāo)志GB5099鋼質(zhì)無縫氣瓶(neqISO4705)GB/T5832.1氣體中微量水分的測定電電解法GB/T5832.2氣體中微量水分的測定露點法GB7144氣瓶顏色標(biāo)記GB/T8984.1碳氫化合物的測定第一部分：氣體中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的測定氣相色譜法GB/T11640鋁合金無縫氣瓶GB12022—1989工業(yè)六氟化硫(neqIEC376A:1973)《氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程》3技術(shù)要求電子工業(yè)用氣體六氟化硫應(yīng)符合表1要求表1技術(shù)指標(biāo)項目名稱大氟化硫(SFa)的體積分?jǐn)?shù)/10-99.99空氣的體積分?jǐn)?shù)/10750.（四氟化碳(CF.)的體積分?jǐn)?shù)/10一濕度(H.O)的體積分?jǐn)?shù)/10-酸度(以HF計)的體積分?jǐn)?shù)/10-可水解氟化物(以