ICS7110020

G86..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T18867—2014

代替

GB/T18867—2002

電子工業(yè)用氣體六氟化硫

Gasesforelectronicindustry—Sulphurhexaflouride

2014-12-22發(fā)布2015-07-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T18867—2014

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別這些專利的責(zé)任

。。

本標(biāo)準(zhǔn)代替電子工業(yè)用氣體六氟化硫與相比除編

GB/T18867—2002《》。GB/T18867—2002,

輯性修改外主要技術(shù)變化如下

:

修改了范圍見(jiàn)第章年版的第章

———(1,20021);

修改了規(guī)范性引用文件見(jiàn)第章年版的第章

———(2,20022);

修改了技術(shù)指標(biāo)見(jiàn)第章年版的第章

———(3,20023);

修改了抽樣判定和復(fù)驗(yàn)見(jiàn)年版的第章

———、(4.1,20025);

修改了氧氬氮四氟化碳二氧化碳含量的測(cè)定方法見(jiàn)年版的

———+、、、(4.3,20024.2、4.3);

刪除了六氟乙烷八氟丙烷含量的測(cè)定方法見(jiàn)年版的

———、(20024.4);

增加了一氧化碳和甲烷含量的測(cè)定方法見(jiàn)

———(4.3);

修改了水分含量的測(cè)定方法見(jiàn)年版的

———(4.4,20024.5);

修改了標(biāo)志包裝貯運(yùn)及安全見(jiàn)第章年版的第章

———、、(5,20026)。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位黎明化工研究設(shè)計(jì)院有限責(zé)任公司成都科美特氟業(yè)塑膠有限公司青海信禾高

:、、

精化工有限公司佛山市華特氣體有限公司四川眾力氟業(yè)有限責(zé)任公司上海華愛(ài)色譜分析技術(shù)有限

、、、

公司大連大特氣體有限公司四川中測(cè)標(biāo)物科技有限公司上海儀盟電子科技有限公司光明化工研究

、、、、

設(shè)計(jì)院上?；繕?biāo)準(zhǔn)氣體有限公司西南化工研究設(shè)計(jì)院有限公司核工業(yè)理化工程研究院華核新技

、、、

術(shù)開(kāi)發(fā)公司

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人黃曉磊牛學(xué)坤賴明貴傅濤劉長(zhǎng)慶任清貴史淑慧方正廖恒易李曉明

:、、、、、、、、、、

曲慶楊任常俠楊遂平鄧建平方華周鵬云

、、、、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為

:

———GB/T18867—2002。

Ⅰ

GB/T18867—2014

電子工業(yè)用氣體六氟化硫

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了六氟化硫的技術(shù)要求試驗(yàn)方法標(biāo)志包裝貯存及安全等

、、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于硫與氟直接反應(yīng)并經(jīng)精制和純化制備的六氟化硫該產(chǎn)品主要用作電子工業(yè)中化學(xué)

。

氣相沉積室的清洗劑和等離子蝕刻劑等

。

分子式

:SF6。

相對(duì)分子質(zhì)量按年國(guó)際相對(duì)原子質(zhì)量計(jì)算

:146.0564192(2007)。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志

GB190

工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T3723

鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶

GB5099

氣體濕度的測(cè)定第部分電解法

GB/T5832.11:

氣體中微量水分的測(cè)定第部分光腔衰蕩光譜法

GB/T5832.33:

氣瓶顏色標(biāo)志

GB7144

數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定

GB/T8170

工業(yè)六氟化硫

GB/T12022

液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB14193

化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫(xiě)規(guī)定

GB15258

氣瓶警示標(biāo)簽

GB16804

特種氣體儲(chǔ)存期規(guī)范

GB/T26571

氣體分析氦離子化氣相色譜法

GB/T28726—2012

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程版

(2000)

危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例版

(2002)

3要求

六氟化硫的技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合表要求

1。

表1技術(shù)指標(biāo)