其他類型激光器第一頁，共二十一頁，2022年，8月28日其他類型激光器6.1CO2激光器6.2He-Ne激光器6.3Ar離子激光器6.4準(zhǔn)分子激光器6.5染料激光器6.6自由電子激光器2第二頁，共二十一頁，2022年，8月28日6.1CO2激光器屬于氣體激光器，分子激光器波長9－11um，最常見10.6um效率高光束質(zhì)量好功率范圍大（幾瓦～幾萬瓦）運行方式多樣結(jié)構(gòu)多樣3第三頁，共二十一頁，2022年，8月28日CO2激光器工作原理4第四頁，共二十一頁，2022年，8月28日CO2激光器的激發(fā)機理上能級的激發(fā)下能級的激發(fā)弛豫過程輔助氣體N2COHeXeH2H2O5第五頁，共二十一頁，2022年，8月28日CO2激光器類型封離型縱向激勵CO2激光器高功率軸快流CO2激光器高功率橫流CO2激光器橫向激勵高氣壓CO2激光器（TEA）波導(dǎo)CO2激光器6第六頁，共二十一頁，2022年，8月28日CO2激光器運行方式7第七頁，共二十一頁，2022年，8月28日6.2He-Ne激光器氣體原子激光器輸出譜線：632.8nm，1.15um，3.39um，以632.8nm為最常見。功率在mW級，最大1W光束質(zhì)量好，發(fā)散角可小于1mrad單色性好，帶寬可小于20Hz穩(wěn)定性高8第八頁，共二十一頁，2022年，8月28日He-Ne激光器工作原理能級圖9第九頁，共二十一頁，2022年，8月28日He-Ne激光器工作特性譜線競爭（3..39um譜線的抑制）輸出功率的穩(wěn)定性穩(wěn)頻輸出10第十頁，共二十一頁，2022年，8月28日6.3Ar離子激光器氣體離子激光器主要波長488nm，514.5nm常見功率幾十瓦，最高500W能量轉(zhuǎn)換效率低11第十一頁，共二十一頁，2022年，8月28日Ar離子激光器工作原理激光機理弧光放電12第十二頁，共二十一頁，2022年，8月28日Ar離子激光器工作特性等離子參數(shù)抽運效應(yīng)閾值電流強度磁場對輸出效率的影響輸出譜線13第十三頁，共二十一頁，2022年，8月28日6.4準(zhǔn)分子激光器準(zhǔn)分子指在激發(fā)態(tài)能夠暫時結(jié)合成的不穩(wěn)定分子（Excimer）高重復(fù)率可調(diào)諧量子效率高波長短，紫外到可見區(qū)主要的準(zhǔn)分子激光器14第十四頁，共二十一頁，2022年，8月28日準(zhǔn)分子激光器工作原理躍遷過程泵浦要求電子束泵浦機理脈沖放電泵浦機理15第十五頁，共二十一頁，2022年，8月28日6.5染料激光器以某種有機染料溶解于一定溶劑中作為激活介質(zhì)的激光器波長可調(diào)諧，調(diào)諧范圍寬光譜分辨率高結(jié)構(gòu)簡單價格便宜穩(wěn)定性差16第十六頁，共二十一頁，2022年，8月28日染料激光器的工作原理17第十七頁，共二十一頁，2022年，8月28日染料激光器的工作方式脈沖染料激光器閃光泵浦激光器泵浦連續(xù)染料激光器波長調(diào)諧光柵棱鏡F－P雙折射濾光片18第十八頁，共二十一頁，2022年，8月28日設(shè)計染料激光器應(yīng)考慮的幾個問題染料的選擇光譜特性，轉(zhuǎn)換效率，化學(xué)穩(wěn)定性，濃度，壽命溶劑的選擇染料盒的結(jié)構(gòu)泵浦源19第十九頁，共二十一頁，2022年，8月28日6.6自由電子激光器真空中自由電子通過與泵浦場（周期磁場或電磁場）相互作用產(chǎn)生激光。高功率（MW）高效率（理論上50％）寬波長調(diào)諧范圍（原則上從微波到X射線）20第二十頁，共二十一頁，2022年，8月28日自由電子激光組成及類型組成高能電子加速器擺動器光