多晶硅制造裝置基于風險的評價與檢驗技術規(guī)范2025-11-01實施2025-11-01實施青海省市場監(jiān)督管理局發(fā)布I 1范圍 12規(guī)范性引用文件 13術語和定義 14裝置損傷分布 25關鍵設備主要損傷及部位 46風險評估過程及要求 47基于風險的檢驗策略制定 58風險評估質量評定 6附錄A(資料性)多晶硅制造裝置損傷分布流程圖 7附錄B(資料性)多晶硅制造裝置風險評估質量評定 本文件按照GB/T1.1—2020《標準化工作導則第1部分：標準化文件的結構和起草規(guī)則》的規(guī)定請注意本文件的某些內容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機構不承擔識別專利的責任。本文件由中國特種設備檢測研究院提出。本文件由青海省市場監(jiān)督管理局歸口。本文件起草單位：中國特種設備檢測研究院、華北科技學院、青海省特種設備檢驗檢測院、青海中特檢特種設備檢測有限公司、內蒙古自治區(qū)特種設備檢驗研究院、北京化工大學、西安交通大學、寧波市特種設備檢驗研究院、江蘇省特種設備安全監(jiān)督檢驗研究院、榆林市特種設備檢驗檢測院、青海麗豪半導體材料有限公司、武漢左晟檢測技術有限公司、上海歌略軟件科技有限公司。本文件主要起草人：路篤輝、王目凱、叢廣佩、李兵、侯令瑋、童世合、劉大隆、李翔、楊碩、王偉華、張峰、李恒、冉祎、高東、徐業(yè)銀、趙盈國、勵凱宏、胡健、馬殿國、楊白冰、宋策、趙夢曦、王強、丁彥龍、趙毅、李修能、奚春洪。本文件由青海省市場監(jiān)督管理局監(jiān)督實施。1僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本GB/T26610.1承壓設備系統(tǒng)基于風險的檢驗實施導則第1部分：基本要求和實施程序GB/T26610.2承壓設備系統(tǒng)基于風險的檢驗實施導則第2部分：基于風險的檢驗策略GB/T26610.4承壓設備系統(tǒng)基于風險的檢驗實施導則第4部分：失效可能性定量分析方法GB/T26610.5承壓設備系統(tǒng)基于風險的檢驗實施導則第5部分：失效后果定量分析方法系統(tǒng)、結構、設備或部件喪失規(guī)定的功能.損傷模式2a)反應器至反應產物/氫氣熱交換器入口：o相脆化+475℃脆化+晶間腐蝕+再熱裂紋+鹽酸腐蝕(停產降溫過程)+氯化物應力腐蝕開裂(停產降溫過程);b)反應器至反應產物/氫氣熱交換器連接管道：多相流沖蝕；c)反應產物/氫氣熱交換器至混合器：含固多相流沖蝕+鹽酸腐蝕(停產降溫過程)+氯化物應力腐蝕開裂(停產降溫過程)。b)四氯化硅汽化器至反應產物/氫氣熱交換器入口：大氣腐蝕；c)反應產物/氫氣熱交換器相連管道：鹽酸腐蝕(裝置停產降溫過程)+氯化物應力腐蝕開裂(裝置停產降溫過程);d)反應產物/氫氣熱交換器至四氯化硅/氫氣加熱器入口：475℃脆化+晶間腐蝕+再熱裂紋+鹽酸腐蝕(裝置停產降溫過程)+氯化物應力腐蝕開裂(裝置停產降溫過程);e)四氯化硅/氫氣加熱器至氫化反應器底部入口：o相脆化+475℃脆化+晶間腐蝕+再熱裂紋+鹽酸腐蝕(裝置停產降溫過程)+氯化物應力腐蝕開裂(裝置停產降溫過程)。3a)混合器至洗滌塔入口：鹽酸b)洗滌塔至冷凝器入口、冷凝液中間儲罐入口：鹽酸腐蝕+大氣腐蝕；c)冷凝器至中間熱交換器入口、冷凝液中e)冷凝液中間儲罐至洗滌塔塔頂回流入口、粗三氯氫硅緩沖罐入口：大氣腐a)洗滌塔塔底出口至緊急排放罐b)緊急排放罐出口至洗滌塔中部回流入口：含固多相流沖蝕+大氣腐蝕。b)精餾塔經(jīng)塔頂冷凝器至渣漿閃蒸罐f)精餾塔再沸器至精餾塔塔底回流入口a)渣漿閃蒸罐底經(jīng)渣漿蒸發(fā)罐至渣漿旋轉干燥機入口：鹽酸腐蝕+大氣腐蝕+含固多相門處);b)渣漿高沸蒸發(fā)罐至渣漿旋轉干燥機入口：鹽酸腐蝕+大氣腐蝕+含固多相流沖蝕(閥門處);b)一級水解罐、二級水解罐頂至渣漿洗滌塔入口：大氣腐蝕；4d)一級水解廢水泵出口彎頭：含固多相流沖蝕+汽蝕(入口);f)渣漿洗滌塔經(jīng)渣漿洗滌液封槽回流至渣漿洗滌塔入口，渣漿洗滌塔經(jīng)渣漿洗滌廢水循環(huán)泵回g)渣漿洗滌廢水循環(huán)泵出口彎頭：鹽酸腐蝕+汽蝕(入口)。b)水冷器至尾氣低溫冷卻器入口：大氣腐蝕；c)尾氣低溫冷卻器經(jīng)一級氯硅烷分離罐至一級冷卻尾氣/二級冷卻尾氣換熱器入口：大氣腐蝕+d)一級氯硅烷分離罐至二級氯硅烷分離罐入口：大氣腐蝕；f)尾氣深冷器經(jīng)二級氯硅烷分離罐至尾氣/低溫h)尾氣壓縮機至壓縮尾氣/深冷氫氣換熱器入口：鹽酸腐蝕+大氣腐蝕+機械疲勞。b)貧/富液換熱器至富/貧液余熱換熱器入口：大氣腐蝕；d)氯化氫解析塔頂至氯化氫解析塔頂水冷卻器入口：鹽酸腐蝕+大氣腐蝕；g)氯化氫解析塔底經(jīng)氯化氫解析塔再沸器回流至氯化氫解析塔底，或經(jīng)氯化氫解析塔底釜液泵多晶硅制造裝置氫化反應器主要損傷及部位見表1,氫化反應產物主要損傷及部位見表2,精餾塔主6.1風險評估過程應滿GB/T26610.1的要求，其中，裝置失效可能性分析過程應滿足GB/T26610.4的要求，裝置失效后果分析過程應滿足GB/T26610.5的要求。56.2執(zhí)行風險評估的單位應滿足我國法多晶硅制造裝置基于風險的檢驗策略制定應滿足GB/T26610.2和相關法規(guī)標準的要求，其中氫化反應器推薦的檢驗策略見表1,氫化反應產物換熱器推薦的檢驗策略見表2,精餾塔推薦的檢驗策略見表檢驗比例內檢1σ相脆化相/宏觀100%,/2度/金相宏觀100%,滲透、硬度/金相抽/3晶間腐蝕滲透+金相//4//5鹽酸腐蝕(停產降溫冷卻宏觀100%,壁厚抽查重點檢查點6產降溫冷卻時)+金相滲透檢測>25%;渦流檢測10%~25%;檢驗比例內檢1管束內窺鏡+渦流//2管箱、管束、管粉+硬度/金相3晶間腐蝕滲透+金相/4管箱、管束、管波5降溫冷卻時)內窺鏡+壁厚檢測/壁厚監(jiān)測/6冷卻時)流+金相/6表3精餾塔推薦的檢驗方法和檢驗比例檢驗比例內檢1內窺鏡+壁厚檢測壁厚監(jiān)測/2氯化物應力渦流+金相宏觀100%,滲透/渦流檢測10%~25%,金相抽檢/3外壁接管或保溫破損測/壁厚監(jiān)測8風險評估質量評定8.1完成風險評估后，應對風險評估的質量進行評定，確保風險評估質量。8.2采用附錄B的表B.1對風險評估質量進行分項打分，并依據(jù)附錄B的表B.2進行風險評估質量等級評定?！坷湔羝?由四氧化硅頻沖罐經(jīng)洗滌塔頂四氯化硅中間熱交換熱蒸汽由四氧化硅頻沖罐經(jīng)洗滌塔頂四氯化硅中間熱交換8硅粉過濾器1硅粉料倉8硅粉料倉88硅粉過濾器867674778、大氣腐蝕注1:閥門處發(fā)生注2:冷卻時發(fā)生88補充氫壓縮機補充氫緩沖罐混合器補充氫緩沖罐氫氣預熱器補充氫緩沖罐混合器8循環(huán)氫緩沖罐1巷2循環(huán)氫緩沖罐3反應產物氫氣反應產物氫氣熱交換器135熱蒸汽56四氯化硅/四氯化硅/氫氣過熱器7氫氣加熱器7四氧化在產化4567氯化氫預熱器氯化氫壓縮機氯化氫緩沖罐氯化氫緩沖罐冷蒸汽熱蒸汽A.1反應工段損傷模式分布A.1反應工段損傷模式分布附錄A8A.2分餾工段損傷模式分布分餾工段損傷模式分布情況見圖A.2。置置正工工卷卷8中卻8中卻回流罐回流罐1、鹽酸腐蝕2、氯化物應力腐蝕開裂3、含固多相流沖蝕8、大氣腐蝕9、無或未知損傷機理868精餾塔精餾塔8484喜量林量林利耶冷蒸汽利耶冷蒸汽氣液分離罐88帳利取利取冷凝器8↑冷凝器8↑大w中懶3中懶3帳洗滌塔區(qū)洗滌塔868賺混合器混合器88844章真當e兩兩項化項化蓋圖A.2分餾工段(僅為示意圖)自腦考明塞氯磕回收罐ii1女B女33木3臺18重還原氫愛沖罐8腐蝕2、氯化物應力腐蝕開裂3、含固多相流沖蝕8、大氣腐蝕9、無冷凍水上水7七水冷卻器冷凍水回水88乙二醇冷媒回水88尾氣低溫尾氣換熱器8尾氣低溫冷卻器乙二蘑冷媒上水尾氣低溫尾氣換熱器8分離罐尾氣壓縮機出口緩沖峰尾氣壓縮機壓縮尾氣深冷氫氣換熱器99氫氣換熱暑9尾氣壓縮機入口級沖雄氟利昂壓縮尾氣氟利昂9氯化氫吸收塔89氟利昂深冷器氟利昂99塔底蓋液系8換熱器換熱器8汽化氟利昂R228汽化氟利昂R22一級冷卻尾氣V二級冷卻尾氣換熱器9液化氟利昂R22尾氣深冷器液化氟利昂R229二級氯硅烷9氯硅燒輸送泵8氯化氫塔底釜液富液貧液余熱換熱器氯化氫解析塔頂水冷凝器氧化氯解析塔頂8乙二蘑冷媒上水乙二蘑冷媒上水冷凝水氯化氫冷凝水氯化氫解析塔再沸器蒸汽(資料性)審查內容審查結果任何缺陷，在該子項下扣除10分)1.采集了被評設備和管道最新的工藝管道及儀表流程圖、工藝流程圖、裝置操作規(guī)程或工藝說明3.采集了被評設備和管道最近三次的檢驗檢測率未到三次，