標準解讀
《GB/Z 32494-2016 表面化學分析 俄歇電子能譜 化學信息的解析》是一項指導性技術(shù)文件,旨在為使用俄歇電子能譜(AES)進行表面化學分析時提供化學信息解析的方法和技術(shù)指南。該標準詳細介紹了如何通過AES技術(shù)獲取樣品表面元素組成、化學狀態(tài)等信息,并對這些信息進行準確解讀。
首先,標準概述了俄歇電子能譜的基本原理及其在材料科學、半導體工業(yè)等領域中的應用背景,強調(diào)了正確理解和解釋實驗數(shù)據(jù)的重要性。接著,它提供了關(guān)于實驗條件設置、數(shù)據(jù)采集過程以及后續(xù)處理步驟的具體建議,包括但不限于選擇合適的激發(fā)源、設定適當?shù)哪芰糠直媛屎蛼呙璺秶?,以確保獲得高質(zhì)量的數(shù)據(jù)。
此外,《GB/Z 32494-2016》還深入探討了從原始AES光譜中提取有用化學信息的方法,比如如何識別特定元素的存在形式、評估其濃度分布情況等。對于復雜體系或存在多種化學態(tài)的情況,標準建議采用理論模擬與實驗結(jié)果相結(jié)合的方式來進行更精確的分析。同時,也提到了利用其他互補技術(shù)如X射線光電子能譜(XPS)來輔助AES數(shù)據(jù)分析的可能性。
最后,文檔內(nèi)含有關(guān)于報告撰寫格式及內(nèi)容要求的部分,強調(diào)了清晰、準確地呈現(xiàn)研究發(fā)現(xiàn)的重要性。通過遵循本標準提供的指導原則,研究人員能夠更加有效地利用俄歇電子能譜技術(shù)開展相關(guān)科學研究工作。
如需獲取更多詳盡信息,請直接參考下方經(jīng)官方授權(quán)發(fā)布的權(quán)威標準文檔。
....
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- 現(xiàn)行
- 正在執(zhí)行有效
- 2016-02-24 頒布
- 2017-01-01 實施





文檔簡介
ICS7104040
G04..
中華人民共和國國家標準化指導性技術(shù)文件
GB/Z32494—2016/ISO/TR183942006
:
表面化學分析俄歇電子能譜
化學信息的解析
Surfacechemicalanalysis—Augerelectron
spectroscopy—Derivationofchemicalinformation
(ISO/TR18394:2006,IDT)
2016-02-24發(fā)布2017-01-01實施
中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布
中國國家標準化管理委員會
GB/Z32494—2016/ISO/TR183942006
:
目次
前言
…………………………Ⅲ
引言
…………………………Ⅳ
范圍
1………………………1
規(guī)范性引用文件
2…………………………1
術(shù)語和定義
3………………1
縮略語
4……………………1
俄歇電子能譜中化學效應和固態(tài)效應的類型
5…………1
芯能級俄歇電子躍遷引起的化學效應
6…………………2
引言
6.1…………………2
俄歇電子能量的化學位移
6.2…………2
俄歇參數(shù)的化學位移
6.3………………3
化學態(tài)圖
6.4……………4
俄歇電子能量和俄歇參數(shù)的化學位移數(shù)據(jù)庫
6.5……………………5
俄歇電子衛(wèi)星結(jié)構(gòu)的化學效應
6.6……………………5
俄歇線相對強度和線形變化的化學效應
6.7CCC……………………6
俄歇電子能譜中非彈性區(qū)域的化學效應
6.8CCC……………………6
芯能級俄歇電子躍遷引起的化學效應
7…………………7
引言
7.1…………………7
化學態(tài)有關(guān)的和俄歇譜的線形
7.2CCVCVV………7
分析和俄歇譜線形獲取局域電子結(jié)構(gòu)的信息
7.3CCVCVV……10
參考文獻
……………………11
Ⅰ
GB/Z32494—2016/ISO/TR183942006
:
前言
本指導性技術(shù)文件按照給出的規(guī)則起草
GB/T1.1—2009。
本指導性技術(shù)文件使用翻譯法等同采用表面化學分析俄歇電子能譜化
ISO/TR18394:2006《
學信息的解析
》。
本指導性技術(shù)文件由全國微束分析標準化技術(shù)委員會提出并歸口
(SAC/TC38)。
本指導性技術(shù)文件負責起草單位中國科學院上海硅酸鹽研究所
:。
本指導性技術(shù)文件主要起草人卓尚軍申如香虞玲劉芬沈電洪丁訓民
:、、、、、。
Ⅲ
GB/Z32494—2016/ISO/TR183942006
:
引言
本指導性技術(shù)文件提供了識別射線或者電子激發(fā)俄歇能譜的化學效應以及把它們用于化學表
X
征的方法準則
。
俄歇電子能譜含有表面或者界面元素組成的信息也含有芯能級具有初始空位的原子周圍區(qū)域的
,
信息[1-5]由于原子周圍環(huán)境的改變而引起俄歇電子能譜的變化被稱之為化學或者固態(tài)效應對化
。()。
學效應的認識對俄歇電子能譜的正確定量分析非常重要對識別表面化學組分以及表面和界面層中原
,
子組成的化學態(tài)也非常有幫助
。
Ⅳ
GB/Z32494—2016/ISO/TR183942006
:
表面化學分析俄歇電子能譜
化學信息的解析
1范圍
本指導性技術(shù)文件規(guī)定了識別射線或者電子激發(fā)的俄歇譜中的化學效應以及把它們用于化學
X
表征的方法準則
。
2規(guī)范性引用文件
下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件
。,()。
表面化學分析詞匯
GB/T22461—2008(ISO18115:2001,IDT)
3術(shù)語和定義
界定的術(shù)語和定義適用于本文件
ISO18115。
4縮略語
芯能級芯能級芯能級俄歇電子躍遷
CCC--()
芯層芯層價層俄歇電子躍遷
CCV--()
躍遷
CKCoster-Kronig(Coster-Kronig)
立方氮化硼
c-BN
芯層價帶層價帶層俄歇電子躍遷
CVV--()
六方氮化硼
h-BN
反射電子能量損失譜
REELS
5俄歇電子能譜中化學效應和固態(tài)效應的類型
在俄歇電子能譜圖中能觀察到許多類型的化學或固態(tài)效應[1-5]一個內(nèi)殼層發(fā)生電離后的原子
,。,
由于它周圍環(huán)境的變化會導致所發(fā)射的俄歇電子的動能產(chǎn)生位移在射線激發(fā)的俄歇電子能譜中
。X
也能檢測到俄歇參數(shù)即俄歇電子發(fā)射過程中俄歇峰與所對應的芯能級光電子峰之間的動能差的能量
()
位移俄歇線形相對強度和衛(wèi)星結(jié)構(gòu)由原子內(nèi)部激發(fā)過程誘導形成會受到化學效應的較大影響與
。、(),
本征峰相伴的能量損失區(qū)域的結(jié)構(gòu)由原子外部電子散射過程誘導形成也會受到這種影響俄歇譜形
()。
上較強的化學效應提供了用指紋識別的方式來鑒別化學形態(tài)的途徑
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