犐犆犛０１．０４０．７１，７１．０４０．４０

犌０４

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

犌犅／犜２２４６１—２００８／犐犛犗１８１１５：２００１

表面化學(xué)分析詞匯

犛狌狉犳犪犮犲犮犺犲犿犻犮犪犾犪狀犪犾狔狊犻狊—犞狅犮犪犫狌犾犪狉狔

（ＩＳＯ１８１１５：２００１，ＩＤＴ）

２００８１０３０發(fā)布２００９０６０１實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局

發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

書(shū)

犌犅／犜２２４６１—２００８／犐犛犗１８１１５：２００１

目次

前言!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!Ⅰ

引言!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!Ⅱ

１范圍!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

２縮略語(yǔ)!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

３格式!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!２

４表面分析方法的定義!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!２

５表面分析詞匯的定義!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!３

附錄Ａ（資料性附錄）術(shù)語(yǔ)補(bǔ)充說(shuō)明!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!４２

參考文獻(xiàn)!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!４４

中文索引!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!４５

英文索引!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!５０

書(shū)

犌犅／犜２２４６１—２００８／犐犛犗１８１１５：２００１

前言

本標(biāo)準(zhǔn)等同采用ＩＳＯ１８１１５：２００１《表面化學(xué)分析———詞匯》。

本標(biāo)準(zhǔn)的附錄Ａ是資料性附錄。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)微束標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)微束標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)（ＳＡＣ／ＴＣ３８）歸口。

本標(biāo)準(zhǔn)負(fù)責(zé)起草單位：北京大學(xué)、清華大學(xué)。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：黃惠忠、曹立禮。

Ⅰ

犌犅／犜２２４６１—２００８／犐犛犗１８１１５：２００１

引言

表面化學(xué)分析是一個(gè)重要的領(lǐng)域，涉及來(lái)自不同領(lǐng)域和有不同背景人們間的相互交流。從事表面

化學(xué)分析的人們可能是材料科學(xué)家、化學(xué)家或物理學(xué)家，具有從事實(shí)驗(yàn)或理論研究的背景。使用表面化

學(xué)數(shù)據(jù)的人們不僅僅是上述人員，也可以是其他學(xué)科的人員。

用現(xiàn)有的表面化學(xué)分析技術(shù)，可以獲得來(lái)自接近于表面區(qū)域（一般在２０ｎｍ內(nèi)）的成分信息。隨著

表面層的去除，用該技術(shù)可得到成分深度信息。本標(biāo)準(zhǔn)中包含表面分析技術(shù)的范疇，已從電子能譜和

質(zhì)譜擴(kuò)展到光譜和Ｘ射線分析。上述技術(shù)的概念源自核物理和輻射科學(xué)以至物理化學(xué)和光學(xué)等廣泛

領(lǐng)域。

廣泛的學(xué)術(shù)領(lǐng)域和不同國(guó)家獨(dú)特的用法導(dǎo)致了對(duì)專用詞匯不同的解釋，從而會(huì)用不同的詞匯描述

相同的概念。為了避免由此產(chǎn)生的誤解和便于信息的交流，有必要明確概念，采用正確的詞匯以確定其

定義。

Ⅱ

犌犅／犜２２４６１—２００８／犐犛犗１８１１５：２００１

表面化學(xué)分析詞匯

１范圍

本標(biāo)準(zhǔn)定義的詞匯適用于表面化學(xué)分析。

２縮略語(yǔ)

ＡＥＳＡｕｇｅｒｅｌｅｃｔｒｏｎｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ俄歇電子能譜

ＣＤＰｃｏｍｐｏｓｉｔｉｏｎａｌｄｅｐｔｈｐｒｏｆｉｌｅ成分深度剖析

ＣＭＡｃｙｌｉｎｄｒｉｃａｌｍｉｒｒｏｒａｎａｌｙｓｅｒ筒鏡型能量分析器

ｅＶｅｌｅｃｔｒｏｎｖｏｌｔ電子伏

ＥＥＬＳｅｌｅｔｒｏｎｅｎｅｒｇｙｌｏｓｓｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ電子能量損失譜

ＥＩＡｅｎｅｒｇｅｔｉｃｉｏｎａｎａｌｙｓｉｓ荷能離子分析

ＥＰＭＡｅｌｅｃｔｒｏｎｐｒｏｂｅｍｉｃｒｏａｎａｌｙｓｉｓ電子探針顯微分析

ＥＳＣＡｅｌｅｃｔｒｏｎｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙｆｏｒｃｈｅｍｉｃａｌａｎａｌｙｓｉｓ化學(xué)分析用電子能譜

ＦＡＢＭＳｆａｓｔａｔｏｍｂｏｍｂａｒｄｍｅｎｔｍａｓｓｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ快原子轟擊質(zhì)譜

ＦＷＨＭｆｕｌｌｗｉｄｔｈａｔｈａｌｆｍａｘｉｍｕｍ半高峰寬

ＧＤＳｇｌｏｗｄｉｓｃｈａｒｇｅｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ輝光放電譜

ＧＤＯＥＳｇｌｏｗｄｉｓｃｈａｒｇｅｏｐｔｉｃａｌｅｍｉｓｓｉｏｎｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ輝光放電發(fā)射光譜

ＧＤＭＳｇｌｏｗｄｉｓｃｈａｒｇｅｍａｓｓｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ輝光放電質(zhì)譜

ＨＥＩＳＳｈｉｇｈｅｎｅｒｇｙｉｏｎｓｃａｔｔｅｒｉｎｇｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ高能離子散射譜

ＨＳＡｈｅｍｉｓｐｈｅｒｉｃａｌｓｅｃｔｏｒａｎａｌｙｓｅｒ半球型能量分析器

ＩＢＡｉｏｎｂｅａｍａｎａｌｙｓｉｓ離子束分析

ＬＥＩＳＳｌｏｗｅｎｅｒｇｙｉｏｎｓｃａｔｔｅｒｉｎｇｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ低能離子散射譜

ＭＥＩＳＳｍｅｄｉｕｍｅｎｅｒｇｙｉｏｎｓｃａｔｔｅｒｉｎｇｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ中能離子散射譜

ＰＴＰｐｅａｋｔｏｐｅａｋ峰峰值

ＲＢＳＲｕｔｈｅｒｆｏｒｄｂａｃｋｓｃａｔｔｅｒｉｎｇｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ盧瑟福背散射譜

ＲＦＡｒｅｔａｒｄｉｎｇｆｉｅｌｄａｎａｌｙｓｅｒ減速場(chǎng)分析器

ＳＡＭｓｃａｎｎｉｎｇＡｕｇｅｒｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ掃描俄歇顯微鏡

ＳＤＰｓｐｕｔｔｅｒｄｅｐｔｈｐｒｏｆｉｌｅ濺射深度剖析

ＳＥＭ