ICS7104040

G04..

中華人民共和國國家標準

GB/T25184—2010

X射線光電子能譜儀檢定方法

VerificationmethodforX-rayphotoelectronspectrometers

2010-09-26發(fā)布2011-08-01實施

中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T25184—2010

目次

前言…………………………

Ⅰ

范圍………………………

11

規(guī)范性引用文件…………………………

21

符號和縮略語……………

31

方法原理與系統(tǒng)構成……………………

43

計量單位與技術指標……………………

54

檢定環(huán)境…………………

65

檢定項目與方法…………………………

75

報告檢定結果……………

822

檢定周期…………………

922

GB/T25184—2010

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國微束分析標準化技術委員會表面分析分委員會歸口

。

本標準負責起草單位福建光電有限公司廈門大學固體表面物理化學國家重點實驗室

:、。

本標準主要起草人王水菊時海燕丁訓民

:、、。

Ⅰ

GB/T25184—2010

X射線光電子能譜儀檢定方法

1范圍

本標準規(guī)定了射線光電子能譜儀的檢定方法本標準適用于使用非單色化或射線或

X。AlMgX

單色化射線且?guī)в袨R射清潔用離子槍的射線光電子能譜儀的檢定

AlX,X。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

,,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用本文件

。,()。

射線光電子能譜分析方法通則

GB/T19500—2004X

表面化學分析射線光電子能譜儀和俄歇電子能譜儀強度標的線性

GB/T21006—2007X

(ISO21270:2004,IDT)

表面化學分析詞匯

GB/T22461—2008(ISO18115:2001,IDT)

表面化學分析濺射深度剖析用層狀膜系為參考物質的優(yōu)化方法

GB/T20175—2006

(ISO14606:2000,IDT)

表面化學分析射線光電子能譜儀能量標尺的校準

GB/T22571—2008X(ISO15472:2001,

IDT)

表面化學分析射線光電子能譜荷電控制和荷電校正方法的報告

GB/T25185—2010X

(ISO19318:2004,IDT)

表面化學分析射線光電子能譜儀所選儀器性能參數(shù)表述

ISO15470:1999X(Surface

ChemicalAnalysis—X-rayphotoelectronspectrometers—Descriptionofselectedinstrumental

performanceparameters)

表面化學分析樣品制備和安裝程序標準指南

ISO18116(Surfacechemicalanalysis—

Guidelinesforpreparationandmountingofspecimensforanalysis)

表面化學分析和均相材料定量分析用實驗測定相對靈敏度因子

ISO18118:2004AESXPS

的使用指南

(Surfacechemicalanalysis—AugerelectronspectroscopyandX-rayphotoelectron

spectroscopy—Guidetotheuseofexperimentallydeterminedrelativesensitivityfactorsforthequantitative

analysisofhomogeneousmaterials)

表面化學分析和橫向分辨率的測定

ISO18516:2006AESXPS(Surfacechemicalanalysis—

AugerelectronspectroscopyandX-rayphotoelectronspectroscopy—Determinationoflateralresolution)

表面化學分析和橫向分辨率分析面積和分析器分析面積的測