標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 6621-1995 硅拋光片表面平整度測(cè)試方法》與《GB 6621-1986》相比，在內(nèi)容和結(jié)構(gòu)上進(jìn)行了多方面的更新和完善。首先，標(biāo)準(zhǔn)的編號(hào)從GB變更為GB/T，這意味著該文件由強(qiáng)制性國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)轉(zhuǎn)變?yōu)橥扑]性國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，反映了對(duì)于硅拋光片表面平整度測(cè)試方法在應(yīng)用范圍上的調(diào)整，使之更加靈活地適應(yīng)不同企業(yè)和機(jī)構(gòu)的需求。

在技術(shù)要求方面，《GB/T 6621-1995》對(duì)硅拋光片表面平整度的具體指標(biāo)做了更詳細(xì)的定義，并且增加了新的測(cè)試條件及參數(shù)設(shè)置指導(dǎo)，比如明確了使用光學(xué)干涉儀作為主要測(cè)量工具之一，并對(duì)其工作原理、操作步驟等進(jìn)行了規(guī)范說(shuō)明，提高了測(cè)試結(jié)果的一致性和可比性。

此外，新版本還引入了更多關(guān)于樣品準(zhǔn)備、環(huán)境控制等方面的建議，以減少外界因素對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果的影響。同時(shí)，對(duì)于數(shù)據(jù)處理部分也給出了更加具體的方法，包括如何計(jì)算平均值、標(biāo)準(zhǔn)偏差等統(tǒng)計(jì)量，以及如何根據(jù)這些數(shù)值來(lái)評(píng)估硅片表面的質(zhì)量等級(jí)。


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  • 1995-04-18 頒布
  • 1995-12-01 實(shí)施
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DDC.669.782-415.056.9：620.191.4H21中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T6621-1995硅拋光片表面平整度測(cè)試方法Testmethodsforsurfaceflatnessofsiliconpolishedslices1995-04-18發(fā)布1995-12-01實(shí)施國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布

中華人民供和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)CB/T6621-1995硅拋光片表面平整度測(cè)試方法代替GB6621-86Testmethodsforsurfaceflatnessofsiliconpolishedslices第一篇方法A—光干涉法主題內(nèi)客與適用范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用相干光的干涉現(xiàn)象測(cè)量硅拋光片表面平整度的方法.本標(biāo)準(zhǔn)適用于檢測(cè)硅拋光片的表面平整度，也適用于檢測(cè)硅外延片和類鏡面狀半導(dǎo)體品片的表面平整度。2術(shù)語(yǔ)2.1總指示讀數(shù)(TIR）totalindicatorrunout（TIR）兩個(gè)與基準(zhǔn)平面平行的平面之間的最小垂直距離。處于品片正面的固定優(yōu)質(zhì)區(qū)（FQA)或局部?jī)?yōu)質(zhì)區(qū)域內(nèi)的所有的點(diǎn)在兩平行平面的范圍內(nèi)。又稱最大峰谷差（見(jiàn)圖1)。掠射入射干沙儀拿考校鎮(zhèn)特調(diào)試樣的上表面峰伯差圖1片計(jì)量學(xué)定義注：峰和谷的位置可能出現(xiàn)在試樣表面的任何地方。2.2焦平面focalplane國(guó)家技

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