ICS29045

CCSH.82

中華人民共和國國家標準

GB/T40561—2021

光伏硅材料氧含量的測定

脈沖加熱惰性氣體熔融紅外吸收法

Photovoltaicsiliconmaterial—Determinationofoxygen—

Pulseheatinginertgasfusioninfraredabsorptionmethod

2021-10-11發(fā)布2022-05-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標準化管理委員會

GB/T40561—2021

目次

前言

…………………………Ⅰ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

原理

4………………………1

干擾因素

5…………………1

試劑和材料

6………………2

儀器和設備

7………………2

樣品制備

8…………………2

試驗步驟

9…………………3

結果處理

10…………………4

精密度

11……………………4

試驗報告

12…………………5

質量保證與控制

13…………………………5

附錄資料性儀器參考工作條件

A()……………………6

GB/T40561—2021

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本文件起草單位無錫市產(chǎn)品質量監(jiān)督檢驗院無錫市分析測試學會青海黃河上游水電開發(fā)有限

:、、

責任公司光伏產(chǎn)業(yè)技術分公司上海賽夫特半導體材料有限公司福建省計量科學研究院蘇州博飛克

、、、

分析技術服務有限公司中國電子技術標準化研究院江蘇中能硅業(yè)科技發(fā)展有限公司上海材料研究

、、、

所無錫市計量測試院中節(jié)能太陽能科技鎮(zhèn)江有限公司湖北省計量測試技術研究院洛陽中硅高科

、、()、、

技有限公司新疆新特新能材料檢測中心有限公司

、。

本文件主要起草人朱曉崗王旭輝徐敏秀盧佳妍翁佳燕楊愛軍羅海燕魯文鋒劉曉霞

:、、、、、、、、、

王彬王趕強何永強何莉馬沖先蘇耿賢馬昀鋒沈亞芹黃國平劉瓊馨楚東旭邱艷梅

、、、、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T40561—2021

光伏硅材料氧含量的測定

脈沖加熱惰性氣體熔融紅外吸收法

1范圍

本文件描述了用脈沖加熱惰性氣體熔融紅外吸收法測定光伏硅材料中氧含量的方法

。

本文件適用于生產(chǎn)多晶硅的原料硅粉工業(yè)硅顆粒多晶硅等光伏硅材料中氧含量的測定測定范

、、,

圍為氧的質量分數(shù)其他生產(chǎn)光伏組件的各類晶體硅材料參照使用

0.0010%~0.40%。。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

測量方法與結果的準確度正確度與精密度第部分確定標準測量方法重復

GB/T6379.2()2:

性與再現(xiàn)性的基本方法

數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定

GB/T8170

半導體材料術語

GB/T14264

3術語和定義

界定的術語和定義適用于本文件

GB/T14264。

4原理

試料放置于經(jīng)脫氣的石墨套坩堝中在惰性氣氛下加熱熔融試料中的氧和坩堝中的碳形成的一氧

,,

化碳和少量的二氧化碳隨同氦氣或氬氣通過高溫稀土氧化銅使一氧化碳轉化成二氧化碳導入紅外

(),,

檢測器進行測定根據(jù)紅外吸收強度信號變化計算出氧含量

。,。

5干擾因素

51對檢測結果影響較大的因素主要有樣品的均勻性樣品表面清潔度惰性氣體純度石墨坩堝和助

.,,、

劑材料高純鎳囊的純度校準樣品定值的準確度和不確定度電子天平的準確度儀器操作參數(shù)的優(yōu)

(),,,

化選擇等

。

52樣品表面清潔度影響檢測結果如果在取樣和制樣過程中樣品可能受到污染則樣品在分析前應

.,