ICS29045

CCSH.82

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T40561—2021

光伏硅材料氧含量的測(cè)定

脈沖加熱惰性氣體熔融紅外吸收法

Photovoltaicsiliconmaterial—Determinationofoxygen—

Pulseheatinginertgasfusioninfraredabsorptionmethod

2021-10-11發(fā)布2022-05-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T40561—2021

目次

前言

…………………………Ⅰ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語(yǔ)和定義

3………………1

原理

4………………………1

干擾因素

5…………………1

試劑和材料

6………………2

儀器和設(shè)備

7………………2

樣品制備

8…………………2

試驗(yàn)步驟

9…………………3

結(jié)果處理

10…………………4

精密度

11……………………4

試驗(yàn)報(bào)告

12…………………5

質(zhì)量保證與控制

13…………………………5

附錄資料性儀器參考工作條件

A()……………………6

GB/T40561—2021

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC203)。

本文件起草單位無(wú)錫市產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)院無(wú)錫市分析測(cè)試學(xué)會(huì)青海黃河上游水電開發(fā)有限

:、、

責(zé)任公司光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)分公司上海賽夫特半導(dǎo)體材料有限公司福建省計(jì)量科學(xué)研究院蘇州博飛克

、、、

分析技術(shù)服務(wù)有限公司中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院江蘇中能硅業(yè)科技發(fā)展有限公司上海材料研究

、、、

所無(wú)錫市計(jì)量測(cè)試院中節(jié)能太陽(yáng)能科技鎮(zhèn)江有限公司湖北省計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院洛陽(yáng)中硅高科

、、()、、

技有限公司新疆新特新能材料檢測(cè)中心有限公司

、。

本文件主要起草人朱曉崗?fù)跣褫x徐敏秀盧佳妍翁佳燕楊愛(ài)軍羅海燕魯文鋒劉曉霞

:、、、、、、、、、

王彬王趕強(qiáng)何永強(qiáng)何莉馬沖先蘇耿賢馬昀鋒沈亞芹黃國(guó)平劉瓊馨楚東旭邱艷梅

、、、、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T40561—2021

光伏硅材料氧含量的測(cè)定

脈沖加熱惰性氣體熔融紅外吸收法

1范圍

本文件描述了用脈沖加熱惰性氣體熔融紅外吸收法測(cè)定光伏硅材料中氧含量的方法

。

本文件適用于生產(chǎn)多晶硅的原料硅粉工業(yè)硅顆粒多晶硅等光伏硅材料中氧含量的測(cè)定測(cè)定范

、、,

圍為氧的質(zhì)量分?jǐn)?shù)其他生產(chǎn)光伏組件的各類晶體硅材料參照使用

0.0010%~0.40%。。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

測(cè)量方法與結(jié)果的準(zhǔn)確度正確度與精密度第部分確定標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量方法重復(fù)

GB/T6379.2()2:

性與再現(xiàn)性的基本方法

數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定

GB/T8170

半導(dǎo)體材料術(shù)語(yǔ)

GB/T14264

3術(shù)語(yǔ)和定義

界定的術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

GB/T14264。

4原理

試料放置于經(jīng)脫氣的石墨套坩堝中在惰性氣氛下加熱熔融試料中的氧和坩堝中的碳形成的一氧

,,

化碳和少量的二氧化碳隨同氦氣或氬氣通過(guò)高溫稀土氧化銅使一氧化碳轉(zhuǎn)化成二氧化碳導(dǎo)入紅外

(),,

檢測(cè)器進(jìn)行測(cè)定根據(jù)紅外吸收強(qiáng)度信號(hào)變化計(jì)算出氧含量

。,。

5干擾因素

51對(duì)檢測(cè)結(jié)果影響較大的因素主要有樣品的均勻性樣品表面清潔度惰性氣體純度石墨坩堝和助

.,,、

劑材料高純鎳囊的純度校準(zhǔn)樣品定值的準(zhǔn)確度和不確定度電子天平的準(zhǔn)確度儀器操作參數(shù)的優(yōu)

(),,,

化選擇等

。

52樣品表面清潔度影響檢測(cè)結(jié)果如果在取樣和制樣過(guò)程中樣品可能受到污染則樣品在分析前應(yīng)

.,