ICS23160

J78.

中華人民共和國國家標準

GB/T40333—2021/ISO142912012

:

真空計四極質譜儀的定義與規(guī)范

Vacuumgauges—Definitionsandspecificationsforquadrupole

massspectrometers

(ISO14291:2012,IDT)

2021-05-21發(fā)布2021-12-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標準化管理委員會

GB/T40333—2021/ISO142912012

:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

術語和定義

2………………1

部組件

2.1………………1

物理參數(shù)

2.2……………4

符號和縮略語

3……………8

四極質譜儀的原理

4………………………8

制造商提供的四極質譜儀說明書

5………………………9

質量范圍

5.1……………9

離子源類型

5.2…………………………9

離子檢測器類型

5.3……………………9

質量分辨率

5.4…………………………9

質量數(shù)穩(wěn)定性

5.5………………………9

靈敏度

5.6………………9

線性響應范圍

5.7………………………9

最小可檢分壓力

5.8……………………9

最小可檢濃度

5.9………………………9

最大工作壓力

5.10……………………10

掃描參數(shù)

5.11…………………………10

信號輸出

5.12…………………………10

電位

5.13………………10

檢測器技術規(guī)范

5.14…………………10

設定值

5.15……………10

最高烘烤溫度

5.16……………………10

標稱工作環(huán)境

5.17……………………10

預熱時間

5.18…………………………10

燈絲材料

5.19…………………………10

電子放射電流

5.20……………………10

更換燈絲

5.21…………………………11

更換檢測器

5.22………………………11

腔室接口

5.23…………………………11

安裝方向

5.24…………………………11

Ⅰ

GB/T40333—2021/ISO142912012

:

尺寸

5.25………………11

內(nèi)部容積

5.26…………………………11

傳感器頭和電控單元的質量

5.27……………………11

電控單元的輸入電源

5.28……………11

電纜

5.29………………11

軟件

5.30………………11

接口關系

5.31…………………………11

貯存和運輸條件

5.32…………………11

制造商另給出的四極質譜儀的說明

6……………………12

質量分辨率

6.1…………………………12

圖形系數(shù)

6.2……………12

靈敏度的溫度系數(shù)

6.3…………………12

四極質譜儀傳感器清洗

6.4……………12

去氣

6.5…………………12

去氣電源

6.6……………12

圖片

6.7…………………12

檢測記錄

6.8……………12

放氣率

6.9………………12

參考文獻

……………………13

Ⅱ

GB/T40333—2021/ISO142912012

:

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準使用翻譯法等同采用真空計四極質譜儀的定義與規(guī)范

ISO14291:2012《》。

本標準由中國機械工業(yè)聯(lián)合會提出

。

本標準由全國真空技術標準化技術委員會歸口

(SAC/TC18)。

本標準起草單位蘭州空間技術物理研究所安徽皖儀科技股份有限公司安徽歌博科技有限公司

:、、、

湖南維格磁流體股份有限公司惠州飛凱新材料有限公司沈陽真空技術研究所有限公司

、、。

本標準主要起草人成永軍孫雯君趙瀾李亞麗陳聯(lián)黃文平王國東朱迎青左澤凡言繼春

:、、、、、、、、、、

王功發(fā)錢天景陳修明董猛袁征難王玲玲

、、、、、。

Ⅲ

GB/T40333—2021/ISO142912012

:

引言

四極質譜儀現(xiàn)在不但可應用于真空檢漏和殘余氣體分析而且還可作為定量分析儀器應用

(QMS),

在諸如物理和化學氣相沉積以及刻蝕等過程控制中

,。

總壓力混合氣體組分儀器參數(shù)設置環(huán)境條件等因素均會對四極質譜計的測量結果測量不確定

、、、、

度產(chǎn)生重要影響因此四極質譜儀的校準不可能覆蓋到所有應用場合校準要滿足特定的使用條件或

。,,

標準化條件

。

同時為方便用戶比較不同制造商生產(chǎn)的四極質譜計的性能并能夠正確使用儀器有必要對此標

,,

準化

。

本標準通過規(guī)范術語和參數(shù)邁出了確立四極質譜儀標準化校準過程方向的第一步

,。

Ⅳ

GB/T40333—2021/ISO142912012

:

真空計四極質譜儀的定義與規(guī)范

1范圍

本標準界定了四極質譜儀相關的術語并規(guī)定了制造商說明書中需要的參數(shù)用于正常的校準和分

,,

壓力測量質量的保證

。

本標準適用于配備了電子轟擊型離子源的四極質譜儀這樣的四極質譜儀通常用于測量質荷比

。

mz小于的物質配有如化學電離光電離場致電離等其他類型的離子源以及主要用于檢測

(/)300。、、,

質荷比mz大于的特定有機物質的四極質譜儀不在本標準適用范圍內(nèi)

(/)300,。

2術語和定義

下列術語和定義適用于本文件

。

21部組件

.

211

..

四極質譜儀quadrupolemassspectrometerQMS

;

軸向入射的離子進入由四個電極通常為桿組成的四極透鏡系統(tǒng)透鏡加有成臨界比的射頻和直

(),

流電場使得僅讓一定質荷比的離子通過的一種質譜儀

,。

[2]定義

[ISO3529