ICS2522001

A29..

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T38518—2020

柔性薄膜基體上涂層厚度的測量方法

Measurementofcoatingthicknessonflexiblefilmsubstrate

2020-03-06發(fā)布2021-02-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

中華人民共和國

國家標(biāo)準(zhǔn)

柔性薄膜基體上涂層厚度的測量方法

GB/T38518—2020

*

中國標(biāo)準(zhǔn)出版社出版發(fā)行

北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線

:400-168-0010

年月第一版

20202

*

書號

:155066·1-64276

版權(quán)專有侵權(quán)必究

GB/T38518—2020

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由中國機械工業(yè)聯(lián)合會提出

。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國金屬與非金屬覆蓋層標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會歸口

(SAC/TC57)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位中國科學(xué)院上海硅酸鹽研究所

:。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人劉紫微吳偉林初城姜彩芬曾毅齊振一樂軍宋力昕

:、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T38518—2020

柔性薄膜基體上涂層厚度的測量方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了柔性薄膜基體上涂層包含有機無機與金屬涂層厚度掃描電子顯微鏡測量的基本

(、)

方法及原理標(biāo)準(zhǔn)樣品和儀器設(shè)備操作方法數(shù)據(jù)處理的方法

、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于厚度不大于的柔性薄膜基體上厚度為的涂層的厚度測量

3mm10nm~0.5mm。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

納米級長度的掃描電子顯微鏡測量方法通則

GB/T20307—2006

3基本方法及原理

31截面制備

.

針對柔性薄膜基體采用機械拋光容易發(fā)生扭曲變形或磨粒嵌入等問題采用氬離子束拋光機可以

,

有效對柔性薄膜基體截面進行拋光在掃描電子顯微鏡的二次電子像或者背散射電子像下能夠清晰區(qū)

,

分柔性薄膜基體與基體上的涂層

。

氬離子束拋光機主要由帶渦輪真空泵的樣品室和用于樣品定位的光學(xué)顯微鏡組成拋光過程中

。,

樣品固定在樣品座上在光學(xué)顯微鏡下選擇樣品拋光區(qū)域然后用遮擋板遮住樣品非目標(biāo)區(qū)域僅露出需

,,

拋光區(qū)域抽真空后氬氣通過離子源產(chǎn)生離子束經(jīng)加速集束后轟擊樣品拋光區(qū)域與樣品表面層發(fā)生

,,、,

碰撞將能量傳遞給樣品表面的原子分子而使之產(chǎn)生濺射從而形成對樣品的拋光作用

,、,。

32厚度測量

.

用掃描電子顯微鏡在相同加速電壓和工作距離下獲取待測樣品截面和標(biāo)準(zhǔn)樣品的二次電子像或

,

背散射電子像然后測量出待測樣品圖像中柔性薄膜基體上涂層的厚度和標(biāo)準(zhǔn)樣品圖像中的網(wǎng)格長度

,。

結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)樣品的已知長度計算涂層的厚度

,。

4標(biāo)準(zhǔn)樣品和儀器設(shè)備

41標(biāo)準(zhǔn)樣品

.

采用國家級有證書標(biāo)準(zhǔn)樣品或省級以上含省級計量技術(shù)機構(gòu)標(biāo)定的樣品

()。

4