標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 20307-2006 納米級(jí)長(zhǎng)度的掃描電鏡測(cè)量方法通則》是一項(xiàng)由中國(guó)發(fā)布的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，旨在為使用掃描電子顯微鏡（SEM）進(jìn)行納米尺度長(zhǎng)度測(cè)量提供統(tǒng)一的方法指導(dǎo)和規(guī)范。該標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)闡述了測(cè)量原理、儀器要求、樣品制備、測(cè)量步驟、數(shù)據(jù)處理以及測(cè)量不確定度評(píng)估等方面，以確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性和可比性。以下是該標(biāo)準(zhǔn)的主要內(nèi)容概覽：

  1. 范圍：標(biāo)準(zhǔn)明確了適用范圍，即規(guī)定了使用掃描電子顯微鏡進(jìn)行納米級(jí)別（一般指1到100納米之間）長(zhǎng)度測(cè)量時(shí)應(yīng)遵循的一般原則和方法。

  2. 術(shù)語(yǔ)和定義：對(duì)涉及的術(shù)語(yǔ)進(jìn)行了明確界定，包括掃描電子顯微鏡的基本概念、納米級(jí)長(zhǎng)度測(cè)量相關(guān)的專業(yè)術(shù)語(yǔ)等，確保讀者對(duì)標(biāo)準(zhǔn)中的表述有共同的理解基礎(chǔ)。

  3. 引用文件：列出了實(shí)施該標(biāo)準(zhǔn)時(shí)需要參考的其他標(biāo)準(zhǔn)文獻(xiàn)，這些文件可能包含了更具體的技術(shù)細(xì)節(jié)或測(cè)試方法。

  4. 測(cè)量原理：解釋了掃描電子顯微鏡如何通過電子束與樣品相互作用來(lái)獲取表面形貌信息，并基于此進(jìn)行長(zhǎng)度測(cè)量的基本物理原理。

  5. 儀器要求：詳細(xì)描述了進(jìn)行納米級(jí)長(zhǎng)度測(cè)量所用掃描電鏡的性能要求，包括分辨率、穩(wěn)定性、放大倍數(shù)范圍等關(guān)鍵參數(shù)，以保證測(cè)量精度。

  6. 樣品制備：提供了樣品制備的一般指南，包括清潔、切割、固定、鍍膜等步驟，因?yàn)闃悠返臓顟B(tài)直接影響測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。

  7. 測(cè)量步驟：詳細(xì)說明了從設(shè)置實(shí)驗(yàn)條件、選擇合適的測(cè)量區(qū)域、獲取圖像到實(shí)際長(zhǎng)度測(cè)量的具體操作流程。

  8. 數(shù)據(jù)處理：涵蓋了測(cè)量數(shù)據(jù)的收集、分析方法及校正措施，確保測(cè)量結(jié)果的可靠性和準(zhǔn)確性。包括如何處理圖像噪聲、幾何校正和量化的具體方法。

  9. 不確定度評(píng)估：指導(dǎo)用戶如何評(píng)估測(cè)量結(jié)果的不確定度，考慮所有可能影響測(cè)量精度的因素，如儀器誤差、樣品制備不確定性、操作者差異等。

  10. 報(bào)告：規(guī)定了測(cè)量結(jié)果報(bào)告應(yīng)包含的內(nèi)容和格式，確保測(cè)量信息的完整傳遞，便于結(jié)果的交流和復(fù)核。


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  • 2007-02-01 實(shí)施
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GB/T 20307-2006納米級(jí)長(zhǎng)度的掃描電鏡測(cè)量方法通則_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

ICS37.020.17.040N33中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T20307—2006納米級(jí)長(zhǎng)度的掃描電鏡測(cè)量方法通則Generalrulesfornanometer-scalelengthmeasurementbySEM2006-07-19發(fā)布2007-02-01實(shí)施中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T20307一2006三次前言范圍2規(guī)范性引用文件3基本原理4標(biāo)準(zhǔn)樣品和儀器設(shè)備5操作方法6數(shù)據(jù)處理？測(cè)量結(jié)果附錄A（規(guī)范性附錄)被測(cè)長(zhǎng)度方向的確認(rèn)和調(diào)節(jié)附錄B（規(guī)范性附錄)標(biāo)準(zhǔn)樣品的擴(kuò)展附錄C（規(guī)范性附錄)長(zhǎng)度實(shí)測(cè)值的不確定度的評(píng)定與表示附錄D（資料性附錄）原始記錄格式附錄E（資料性附錄)側(cè)量報(bào)告格式·.

GB/T20307—2006前本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A、附錄B和附錄C為規(guī)范性附錄，附錄D、附錄E為資料性附錄本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口本標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位：中國(guó)科學(xué)院地質(zhì)與地球物理研究所,同濟(jì)大學(xué),中國(guó)科學(xué)院化學(xué)所,中國(guó)地質(zhì)科學(xué)院礦產(chǎn)資源研究所,上海理工大學(xué)等。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：張訓(xùn)彪、曾榮樹、廖宗廷、盧德生、劉芬、李戎、周劍雄、鄧保慶等

GB/T20307-2006納米級(jí)長(zhǎng)度的掃描電鏡測(cè)量方法通則范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用掃描電鏡測(cè)量納米級(jí)長(zhǎng)度的基本原則適用于測(cè)量10nm～500nm的點(diǎn)或線的間距規(guī)規(guī)范性引用文件下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件,其隨后所有的修改單(不包括勒誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用本標(biāo)準(zhǔn),然而，鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究是舌可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件.其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。JJF1059—1999測(cè)量不確定度評(píng)定與表示BIPMIECIFCCISOIUPACIUPAPOiML-1993《GuidetotheExpressionofUncertaintyinMeasurement》(測(cè)量不確定度表示指南)基本原理用掃描電鏡在相同的狀態(tài)下,獲取被測(cè)樣品和標(biāo)準(zhǔn)樣品的二次電子像,然后測(cè)量出被測(cè)樣品和標(biāo)準(zhǔn)樣品圖像中的長(zhǎng)度。結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)樣品的已知長(zhǎng)度,計(jì)算出被測(cè)樣品的長(zhǎng)度。A標(biāo)準(zhǔn)樣品和儀器設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)樣品：首選國(guó)家級(jí)有證標(biāo)準(zhǔn)樣品，4.1其其次選用省級(jí)以上（包括省級(jí)）計(jì)量技術(shù)機(jī)構(gòu)標(biāo)定的樣品4.2掃描電鏡：二次電子分辨力優(yōu)于2nm.4.3正置立式金相顯微鏡：放大倍數(shù)不小于300倍4.4可調(diào)樣品柱：工作面的高度可以調(diào)節(jié)。4.5圖像測(cè)量設(shè)備：量程不小于圖像尺度：讀數(shù)不確定度可以忽略不計(jì)5操作方法5.1被測(cè)樣品的確認(rèn)5.1.1被測(cè)長(zhǎng)度方向的確認(rèn)5.1.1.1對(duì)于有方向性的精確測(cè)量，需要按照附錄A,確認(rèn)被測(cè)長(zhǎng)度的方向。5.1.1.2對(duì)于通過統(tǒng)計(jì)規(guī)律,可以消除傾斜誤差和畸變誤差的顆粒樣品。可以不確認(rèn)被測(cè)長(zhǎng)度的方向，直接進(jìn)行下步操作。5.1.1.3對(duì)于被測(cè)長(zhǎng)度方向處于被測(cè)平面上的樣品?？梢圆淮_認(rèn)被測(cè)長(zhǎng)度的方向,直接進(jìn)行下步操作。5.1.2估計(jì)被測(cè)長(zhǎng)度值5.1.2.1將被測(cè)樣品固定在高度可調(diào)的樣品柱上5.1.2.2用用掃描電鏡觀察被測(cè)長(zhǎng)度.根

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