中華人民共和國國家計(jì)量技術(shù)規(guī)范

JJF1916—2021

掃描電子顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范

CalibrationSpecificationforScanningElectronicMicroscopes(SEM)

2021-07-28發(fā)布2022-01-28實(shí)施

國家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

JJF1916—2021

掃描電子顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范??

??????????????????

?JJF1916—2021?

CalibrationspecificationforScanning??

????????????????

?代替JJG5501988?

?—?

ElectronicMicroscopes(SEM)

歸口單位全國幾何量長度計(jì)量技術(shù)委員會(huì)

:

主要起草單位中國計(jì)量科學(xué)研究院

:

參加起草單位廣州市計(jì)量檢測(cè)技術(shù)研究院

:

浙江省計(jì)量科學(xué)研究院

上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院

山東省計(jì)量科學(xué)研究院

本規(guī)范委托全國幾何量長度計(jì)量技術(shù)委員會(huì)負(fù)責(zé)解釋

JJF1916—2021

本規(guī)范主要起草人

:

李偉中國計(jì)量科學(xué)研究院

()

高思田中國計(jì)量科學(xué)研究院

()

施玉書中國計(jì)量科學(xué)研究院

()

參加起草人

:

古耀達(dá)廣州市計(jì)量檢測(cè)技術(shù)研究院

()

茅振華浙江省計(jì)量科學(xué)研究院

()

傅云霞上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院

()

趙東生山東省計(jì)量科學(xué)研究院

()

JJF1916—2021

目錄

引言

………………………(Ⅱ)

范圍

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

術(shù)語和定義

3……………(1)

標(biāo)準(zhǔn)樣板

3.1……………(1)

概述

4……………………(1)

計(jì)量特性

5………………(1)

校準(zhǔn)條件

6………………(2)

環(huán)境條件

6.1……………(2)

校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器

6.2………………………(2)

校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法

7…………………(2)

測(cè)長示值誤差

7.1………………………(2)

正交畸變

7.2……………(3)

線性失真度

7.3…………(3)

校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)

8…………(4)

復(fù)校時(shí)間間隔

9…………(4)

附錄掃描電子顯微鏡測(cè)長示值誤差的不確定度評(píng)定示例

A………(5)

附錄比例尺校準(zhǔn)值

B…………………(7)

附錄校準(zhǔn)證書內(nèi)容及內(nèi)頁格式

C……………………(8)

Ⅰ

JJF1916—2021

引言

國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則通用計(jì)量術(shù)語及定義和

JJF1071《》、JJF1001《》

測(cè)量不確定度評(píng)定與表示共同構(gòu)成支撐本規(guī)范制修訂工作的基礎(chǔ)性系列

JJF1059.1《》

規(guī)范

。

本規(guī)范是對(duì)掃描電子顯微鏡試行的修訂修訂過程中參照

JJG550—1988《()》。

了納米級(jí)長度的掃描電鏡測(cè)量方法通則和

GB/T20307—2006《》GB/T27788—2011

微束分析掃描電鏡圖像放大倍率校準(zhǔn)導(dǎo)則與相比除編輯性修

《》。JJG550—1988,

改外主要技術(shù)變化如下

,:

增加了掃描電鏡測(cè)長示值誤差的校準(zhǔn)

———;

增加了Y方向的測(cè)長示值誤差校準(zhǔn)

———;

刪除了真空度的測(cè)量

———;

刪除了射線泄漏量的測(cè)量

———X;

增加了附錄比例尺校準(zhǔn)值

———B“”。

本規(guī)范的歷次版本發(fā)布情況為

:

———JJG550—1988。

Ⅱ

JJF1916—2021

掃描電子顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范

1范圍

本規(guī)范適用于掃描電子顯微鏡的校準(zhǔn)

。

2引用文件

本規(guī)范引用了下列文件

:

國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則

JJF1071—2010

納米級(jí)長度的掃描電鏡測(cè)量方法通則

GB/T20307—2006

凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本規(guī)范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改單適用于本規(guī)范

,()。

3術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本規(guī)范

。

標(biāo)準(zhǔn)樣板

3.1referenceartifact

具有多個(gè)等間距柵格的樣板其柵格間距經(jīng)過國家法定計(jì)量檢定機(jī)構(gòu)校準(zhǔn)間距值

,,

溯源到國家基準(zhǔn)

。

4概述

掃描電子顯微鏡以下簡稱電鏡利用聚焦的電子束在樣品表面逐點(diǎn)掃描電

(“