ICS77040

H21.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T30857—2014

藍(lán)寶石襯底片厚度及厚度變化測(cè)試方法

Standardtestmethodforthicknessandthicknessvariationonsapphiresubstrates

2014-07-24發(fā)布2015-04-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T30857—2014

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)及材料分技術(shù)委員會(huì)

(SAC/TC203)(SAC/TC

共同提出并歸口

203/SC2)。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位協(xié)鑫光電科技控股有限公司中國(guó)科學(xué)院上海光機(jī)所浙江昀豐新能源科技

:、、

有限公司

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人魏明德黃朝暉劉逸楓杭寅徐永亮

:、、、、。

Ⅰ

GB/T30857—2014

藍(lán)寶石襯底片厚度及厚度變化測(cè)試方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了制備氮化鎵薄膜外延片及其他用途的藍(lán)寶石單晶切割片研磨片拋光片簡(jiǎn)稱襯底

、、(

片厚度和厚度變化是否滿足標(biāo)準(zhǔn)限度要求的測(cè)試方法

)。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于藍(lán)寶石襯底片厚度及厚度變化的測(cè)試

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

半導(dǎo)體材料術(shù)語(yǔ)

GB/T14264

3術(shù)語(yǔ)和定義

界定的以及下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

GB/T14264。

31

.

5點(diǎn)厚度變化5pointsthicknessvariation

TV5

襯底片上特定個(gè)點(diǎn)的厚度測(cè)量值中的最大厚度與最小厚度的差值稱為襯底片的點(diǎn)厚度變化

55。

4方法概述

41分立點(diǎn)式測(cè)量

.

在襯底片中心點(diǎn)和距邊圓周上的個(gè)對(duì)稱位置點(diǎn)見(jiàn)圖測(cè)量襯底片厚度中心點(diǎn)厚度作為

2mm4(1)。

襯底片的標(biāo)稱厚度個(gè)厚度測(cè)量值中的最大厚度與最小厚度的差值即為襯底片的點(diǎn)厚度變化

。55。

說(shuō)明

:

距圓邊

1、4、5———2mm;

中心點(diǎn)

2———;

距平邊

3———2mm。