ICS31200

L55.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T26112—2010

微機(jī)電系統(tǒng)MEMS技術(shù)

()

微機(jī)械量評(píng)定總則

Micro-electromechanicalsystemtechnology—

Generalrulesfortheassessmentofmicro-mechanicalparameters

2011-01-10發(fā)布2011-10-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T26112—2010

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC336)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位天津大學(xué)中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心西安交通大學(xué)大連理工大學(xué)太原理工大學(xué)中

:、、、、、

原工學(xué)院

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人胡曉東丁紅宇劉偉張?zhí)O景蔚宣蔣莊德劉沖張文棟趙則祥

:、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T26112—2010

微機(jī)電系統(tǒng)MEMS技術(shù)

()

微機(jī)械量評(píng)定總則

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了微機(jī)械量的評(píng)定基本原則評(píng)定要素評(píng)定程序評(píng)定方法以及評(píng)定規(guī)則

、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于企業(yè)研究機(jī)構(gòu)檢測(cè)機(jī)構(gòu)從事微機(jī)電技術(shù)及產(chǎn)品的研究設(shè)計(jì)生產(chǎn)檢測(cè)及使用

、、、、、。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅所注日期的版本適用于本

。,

文件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)術(shù)語(yǔ)

GB/T26111(MEMS)

3術(shù)語(yǔ)和定義

界定的以及下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

GB/T26111。

31

.

微機(jī)械量micro-mechanicalparameters

泛指一切與微機(jī)械性質(zhì)和狀態(tài)相關(guān)的物理量包括幾何量流量溫度聲學(xué)力學(xué)和運(yùn)動(dòng)等物理量

,、、、、;

由于幾何量流量溫度聲學(xué)等物理量進(jìn)行了專門的分類因此微機(jī)械量是指位移速度加速度振動(dòng)

、、、,、、、

等運(yùn)動(dòng)特性參量以及與運(yùn)動(dòng)特性相關(guān)的力學(xué)參量

,。

32

.

微位移Microscaledisplacement

描述質(zhì)點(diǎn)在微米級(jí)尺度下位置變化的物理量其大小等于起點(diǎn)至終點(diǎn)的直線距離方向由起點(diǎn)指向

,,

終點(diǎn)

。

注1微結(jié)構(gòu)在受到一定激勵(lì)的條件下會(huì)產(chǎn)生位置的變化典型的位置變化有兩種形式平移和轉(zhuǎn)動(dòng)分別對(duì)應(yīng)線位

:,,,

移和角位移

。

注2如果將微結(jié)構(gòu)基底作為一個(gè)參考平面與這個(gè)參考平面面平行的位移為面內(nèi)位移否則稱為離面位移

:,,。

33

.

振動(dòng)vibration

物體的往復(fù)運(yùn)動(dòng)按照往復(fù)運(yùn)動(dòng)的方向可分為線振動(dòng)和角振動(dòng)評(píng)定微結(jié)構(gòu)的振動(dòng)特性主要包

。。

括振動(dòng)幅度諧振頻率振動(dòng)模態(tài)品質(zhì)因子

:、、、。

34

.

殘余應(yīng)力residualstress

在微加工處理完成后在沒(méi)有外力的作用下在微機(jī)械結(jié)構(gòu)內(nèi)部保持平衡而存留的應(yīng)力稱為殘余

,,,

應(yīng)力是內(nèi)應(yīng)力外應(yīng)力和熱應(yīng)力的綜合作用

,、。

35

.

應(yīng)力梯度stressgradient