犐犆犛７１．１００．２０

犌８６

中華人民共和國國家標準

犌犅／犜１４６０３—２００９

代替ＧＢ／Ｔ１４６０３—１９９３

電子工業(yè)用氣體三氟化硼

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２００９１０３０發(fā)布２０１００５０１實施

中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局

發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

書

犌犅／犜１４６０３—２００９

前言

本標準代替ＧＢ／Ｔ１４６０３—１９９３《電子工業(yè)用氣體三氟化硼》。

本標準與ＧＢ／Ｔ１４６０３—１９９３相比主要區(qū)別如下：

———修改三氟化硼的適用范圍（ＧＢ／Ｔ１４６０３—１９９３的第１章，本版的第１章）；

———修改規(guī)范性引用文件（ＧＢ／Ｔ１４６０３—１９９３的第２章，本版的第２章）；

———修改三氟化硼的技術指標內容（ＧＢ／Ｔ１４６０３—１９９３的第３章，本版的第３章）；

———增加三氟化硼采樣安全要求（本版的４．１．２）；

———修改氮、氧（氬）含量的分析方法（ＧＢ／Ｔ１４６０３—１９９３的４．２，本版的４．３）；

———修改二氧化硫含量的分析方法（ＧＢ／Ｔ１４６０３—１９９３的４．２，本版的４．６）；

———增加二氧化碳、四氟化碳含量的分析方法（見本版的４．３）；

———修改標志、包裝、貯運及安全（ＧＢ／Ｔ１４６０３—１９９３的第６章、第７章，本版的第５章）；

———增加資料性附錄Ａ，并把測定三氟化硼中的氮、氧（氬）、二氧化碳和四氟化碳含量的色譜切割

流程圖寫入該附錄（見附錄Ａ）。

本標準的附錄Ａ為資料性附錄。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分技術委員會歸口。

本標準起草單位：核工業(yè)理化工程研究院、大連光明化工研究院、西南化工研究設計院。

本標準主要起草人：鄧建平、倪志強、孫福楠、周鵬云。

本標準所代替標準的歷次版本發(fā)布情況為：

———ＧＢ／Ｔ１４６０３—１９９３。

Ⅰ

書

犌犅／犜１４６０３—２００９

電子工業(yè)用氣體三氟化硼

１范圍

本標準規(guī)定了電子工業(yè)用三氟化硼的技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、包裝、標志、貯運及安全要求。

本標準適用于以氟氣和硼單質為原料，采用直接化合的方法制得并經(jīng)過純化制取的三氟化硼；和以

氟硼酸鈉為原料熱分解法制得并經(jīng)過純化制取的三氟化硼。主要用于半導體器件和集成電路生產(chǎn)的離

子注入和摻雜。

分子式：ＢＦ３。

相對分子質量：６７．８０５（按２００５年國際相對原子質量計算）。

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內容）或修訂版均不適用于本標準，然而，鼓勵根據(jù)本標準達成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。

ＧＢ１９０危險貨物包裝標志

ＧＢ／Ｔ３７２３工業(yè)用化學產(chǎn)品采樣安全通則

ＧＢ７１４４氣瓶顏色標志

ＧＢ１１６４０鋁合金無縫氣瓶

ＧＢ１４１９４永久氣體氣瓶充裝規(guī)定

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程

危險貨物運輸規(guī)則

３技術要求

三氟化硼的質量應符合表１和表２的要求。

注：質量保證期為１８個月。

表１直接反應法制備的產(chǎn)品技術指標

項目指標

－２

三氟化硼（ＢＦ３）純度（摩爾分數(shù)）／１０≥９９．９９９９９．９９５

－６

氮（Ｎ２）含量（摩爾分數(shù)）／１０＜２２０

－６

氧＋氬（Ｏ２＋Ａｒ）含量（摩爾分數(shù)）／１０＜１１０

－６

二氧化碳（ＣＯ２）含量（摩爾分數(shù)）／１０＜１５

－６

四氟化碳（ＣＦ４）含量（摩爾分數(shù)）／１０＜１５

－６

四氟化硅（ＳｉＦ４）含量（摩爾分數(shù)）／１０＜５１０

總雜質含量（摩爾