標(biāo)準(zhǔn)解讀
《GB/T 11094-2020 水平法砷化鎵單晶及切割片》相比于《GB/T 11094-2007 水平法砷化鎵單晶及切割片》,主要在以下幾個(gè)方面進(jìn)行了更新與調(diào)整:
-
技術(shù)指標(biāo)的優(yōu)化:新版標(biāo)準(zhǔn)對(duì)砷化鎵單晶及切割片的物理、化學(xué)性能指標(biāo)進(jìn)行了修訂,以適應(yīng)近年來(lái)半導(dǎo)體行業(yè)技術(shù)進(jìn)步和市場(chǎng)發(fā)展的需求,提高了產(chǎn)品的質(zhì)量和性能要求。
-
測(cè)試方法的改進(jìn):針對(duì)成分分析、晶體結(jié)構(gòu)、表面質(zhì)量及微觀缺陷檢測(cè)等方面,2020版標(biāo)準(zhǔn)引入了更先進(jìn)的測(cè)試技術(shù)和方法,提升了檢測(cè)精度和效率,確保了檢驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。
-
生產(chǎn)流程規(guī)范的細(xì)化:為更好地指導(dǎo)生產(chǎn)實(shí)踐,新標(biāo)準(zhǔn)對(duì)砷化鎵單晶生長(zhǎng)及切割過(guò)程的工藝控制參數(shù)給出了更具體、細(xì)致的規(guī)定,包括但不限于溫度控制、氣氛環(huán)境、切割工藝等,旨在提升產(chǎn)品一致性和生產(chǎn)效率。
-
環(huán)保與安全要求的加強(qiáng):考慮到環(huán)境保護(hù)和生產(chǎn)安全的重要性,2020版標(biāo)準(zhǔn)新增或強(qiáng)化了有關(guān)廢棄物處理、有害物質(zhì)管控及操作人員安全防護(hù)的要求,體現(xiàn)了標(biāo)準(zhǔn)制定中對(duì)可持續(xù)發(fā)展原則的重視。
-
術(shù)語(yǔ)與定義的更新:為了與國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)接軌并反映技術(shù)進(jìn)步,標(biāo)準(zhǔn)對(duì)部分專業(yè)術(shù)語(yǔ)進(jìn)行了修訂或增補(bǔ),確保了標(biāo)準(zhǔn)語(yǔ)言的準(zhǔn)確性和時(shí)代性。
-
標(biāo)準(zhǔn)適用范圍的明確:新版標(biāo)準(zhǔn)在適用范圍描述上更加清晰,明確了標(biāo)準(zhǔn)所覆蓋的砷化鎵單晶及其切割片的具體類型和應(yīng)用領(lǐng)域,便于企業(yè)和檢測(cè)機(jī)構(gòu)準(zhǔn)確理解和執(zhí)行。
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....
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- 現(xiàn)行
- 正在執(zhí)行有效
- 2020-09-29 頒布
- 2021-08-01 實(shí)施



文檔簡(jiǎn)介
ICS29045
H83.
中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
GB/T11094—2020
代替
GB/T11094—2007
水平法砷化鎵單晶及切割片
Galliumarsenidesinglecrystalandcuttingwafergrownbyhorizontal
bridgmanmethod
2020-09-29發(fā)布2021-08-01實(shí)施
國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布
國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
GB/T11094—2020
前言
本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草
GB/T1.1—2009。
本標(biāo)準(zhǔn)代替水平法砷化鎵單晶及切割片與相比除編
GB/T11094—2007《》。GB/T11094—2007,
輯性修改外主要技術(shù)變化如下
,:
刪除了范圍中的單晶錠及微波器件見(jiàn)年版的第章
———(20071);
刪除了規(guī)范性引用文件中的增加了見(jiàn)第章年
———GJB1927,GB/T13388、GB/T14844(2,2007
版的第章
2);
刪除了術(shù)語(yǔ)和定義中的見(jiàn)年版的第章
———3.1~3.8(20073);
修改了產(chǎn)品的牌號(hào)表示方法及分類見(jiàn)第章年版的第章
———(4,20074);
修改了砷化鎵單晶生長(zhǎng)方向中的偏轉(zhuǎn)角度見(jiàn)年版的
———(5.1.1,20074.3.1);
刪除了半絕緣砷化鎵單晶的要求及試驗(yàn)方法見(jiàn)年版的
———(20074.3.2、4.4.3、5.1);
刪除型非摻雜砷化鎵單晶的要求見(jiàn)年版的
———n(20074.3.2);
修改了型摻鋅砷化鎵單晶的載流子濃度范圍見(jiàn)年版的
———p(5.1.2,20074.3.2);
修改了位錯(cuò)密度的分級(jí)及要求見(jiàn)年版的
———(5.1.3,20074.3.3);
增加了直徑砷化鎵切割片及對(duì)應(yīng)砷化鎵單晶的要求見(jiàn)
———82.0mm(5.1.4.2、5.2);
晶錠高度誤差不大于改為單晶厚度變化應(yīng)不大于見(jiàn)年版的
———4mm2mm(5.1.4.2,20074.4.1);
增加了關(guān)于砷化鎵切割片電學(xué)性能位錯(cuò)密度的說(shuō)明見(jiàn)
———、(5.2.1);
修改了砷化鎵切割片厚度的要求見(jiàn)年版的
———(5.2.3,20074.5.1);
修改了砷化鎵切割片晶向偏離的要求見(jiàn)年版的
———(5.2.4,20074.5.2);
修改了砷化鎵單晶及切割片的試驗(yàn)方法見(jiàn)第章年版的第章
———(6,20075);
修改了砷化鎵單晶及切割片的檢驗(yàn)規(guī)則相關(guān)內(nèi)容見(jiàn)第章年版的第章
———(7,20076)。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)與全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)
(SAC/TC203)
化技術(shù)委員會(huì)材料分技術(shù)委員會(huì)共同提出并歸口
(SAC/TC203/SC2)。
本標(biāo)準(zhǔn)起草單位有研光電新材料有限責(zé)任公司有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院廣東先導(dǎo)先進(jìn)材料股
:、、
份有限公司北京聚睿眾邦科技有限公司雅波拓福建新材料有限公司
、、()。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人于洪國(guó)林泉馬英俊趙敬平李素青馬遠(yuǎn)飛李萬(wàn)朋許所成權(quán)盼朱劉
:、、、、、、、、、、
周鐵軍閆方亮楊麗霞付萍
、、、。
本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為
:
———GB/T11094—1989、GB/T11094—2007。
Ⅰ
GB/T11094—2020
水平法砷化鎵單晶及切割片
1范圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了水平法砷化鎵單晶以下簡(jiǎn)稱砷化鎵單晶及切割片的牌號(hào)及分類要求試驗(yàn)方法
()、、、
檢驗(yàn)規(guī)則標(biāo)志包裝運(yùn)輸貯存質(zhì)量證明書和訂貨單或合同內(nèi)容
、、、、、()。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于光電器件傳感元件等用的砷化鎵單晶及切割片
、。
2規(guī)范性引用文件
下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件
。,()。
半導(dǎo)體單晶晶向測(cè)定方法
GB/T1555
計(jì)數(shù)抽樣檢驗(yàn)程序第部分按接收質(zhì)量限檢索的逐批檢驗(yàn)抽樣
GB/T2828.1—20121:(AQL)
計(jì)劃
非本征半導(dǎo)體單晶霍爾遷移率和霍爾系數(shù)測(cè)量方法
GB/T4326
砷化鎵單晶位錯(cuò)密度的測(cè)量方法
GB/T8760
硅片參考面結(jié)晶學(xué)取向射線測(cè)量方法
GB/T13388X
半導(dǎo)體材料術(shù)語(yǔ)
GB/T14264
半導(dǎo)體材料牌號(hào)表示方法
GB/T14844
3術(shù)語(yǔ)和定義
界定的術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件
GB/T14264。
4牌號(hào)及分類
41牌號(hào)
.
砷化鎵單晶及切割片的牌號(hào)按照的規(guī)定進(jìn)行表示如有特殊要求由供需雙方協(xié)商
GB/T14844
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