標(biāo)準(zhǔn)解讀

GB/T 10067.410-2014是一項(xiàng)中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，專注于電熱裝置的基本技術(shù)規(guī)范，特別針對(duì)單晶爐這一設(shè)備。該標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)規(guī)定了單晶爐在設(shè)計(jì)、制造、檢驗(yàn)及使用過(guò)程中的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法以及安全要求，旨在確保單晶爐產(chǎn)品的性能、可靠性和安全性，促進(jìn)電熱裝置行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化和產(chǎn)品質(zhì)量的提升。

標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容概覽

  1. 范圍：明確了本部分標(biāo)準(zhǔn)的應(yīng)用對(duì)象是單晶爐，這是一種用于半導(dǎo)體材料特別是單晶硅生長(zhǎng)的重要電熱裝置。

  2. 規(guī)范性引用文件：列出了實(shí)施本標(biāo)準(zhǔn)時(shí)需要參考的其他相關(guān)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)或規(guī)范文件，這些文件對(duì)于理解和滿足標(biāo)準(zhǔn)要求至關(guān)重要。

  3. 術(shù)語(yǔ)和定義：對(duì)標(biāo)準(zhǔn)中涉及的關(guān)鍵術(shù)語(yǔ)給出明確的定義，幫助讀者準(zhǔn)確理解各項(xiàng)要求的具體含義。

  4. 基本要求：概述了單晶爐在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、材料選擇、制造工藝等方面的基本原則和要求，以確保設(shè)備的穩(wěn)定性和耐用性。

  5. 技術(shù)要求：

    • 性能指標(biāo)：規(guī)定了單晶爐的工作溫度范圍、溫控精度、加熱速率、能量效率等關(guān)鍵性能參數(shù)。
    • 安全要求：包括電氣安全、機(jī)械安全、操作安全等方面的規(guī)定，確保設(shè)備在使用過(guò)程中不對(duì)操作人員造成傷害，同時(shí)保護(hù)設(shè)備本身免受損害。
    • 環(huán)境適應(yīng)性：要求單晶爐能在特定的環(huán)境條件下（如溫度、濕度）正常工作，具備一定的抗干擾能力。

  6. 試驗(yàn)方法：詳細(xì)說(shuō)明了如何進(jìn)行各項(xiàng)性能和安全測(cè)試，確保單晶爐符合規(guī)定的標(biāo)準(zhǔn)，包括但不限于溫控系統(tǒng)的校驗(yàn)、安全功能驗(yàn)證等。

  7. 檢驗(yàn)規(guī)則：制定了產(chǎn)品出廠前的檢驗(yàn)程序和合格判定準(zhǔn)則，包括型式試驗(yàn)、例行試驗(yàn)等，以驗(yàn)證產(chǎn)品是否滿足標(biāo)準(zhǔn)要求。

  8. 標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和儲(chǔ)存：對(duì)單晶爐的標(biāo)識(shí)信息、包裝方式、運(yùn)輸條件及儲(chǔ)存要求做出具體規(guī)定，以保證產(chǎn)品在流通和存儲(chǔ)過(guò)程中的安全和完好。

  9. 技術(shù)服務(wù)與售后服務(wù)：雖然不是所有標(biāo)準(zhǔn)都會(huì)包含這部分，但某些標(biāo)準(zhǔn)可能會(huì)提及制造商應(yīng)提供的技術(shù)文檔、用戶手冊(cè)、維修服務(wù)等內(nèi)容，以保障用戶的權(quán)益。

實(shí)施意義

該標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)施有助于統(tǒng)一單晶爐的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，提升產(chǎn)品品質(zhì)，促進(jìn)技術(shù)進(jìn)步和創(chuàng)新，同時(shí)也為用戶選購(gòu)、安裝、使用和維護(hù)單晶爐提供了科學(xué)依據(jù)，保障了生產(chǎn)安全和產(chǎn)品質(zhì)量。對(duì)于制造商而言，遵循此標(biāo)準(zhǔn)能增強(qiáng)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力，促進(jìn)國(guó)際貿(mào)易與合作。


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....

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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2014-12-05 頒布
  • 2015-04-16 實(shí)施
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GB/T 10067.410-2014電熱裝置基本技術(shù)條件第410部分：?jiǎn)尉t_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

ICS2518010

K61..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T10067410—2014

.

電熱裝置基本技術(shù)條件

第410部分單晶爐

:

Basicspecificationsforelectroheatinstallations—

Part410Sinlecrstalrowinfurnace

:gygg

2014-12-05發(fā)布2015-04-16實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T10067410—2014

.

前言

電熱裝置基本技術(shù)條件現(xiàn)有個(gè)部分

GB/T10067《》19:

第部分通用部分

———1:;

第部分電弧加熱裝置

———2:;

第部分感應(yīng)電熱裝置

———3:;

第部分中頻無(wú)心感應(yīng)爐

———31:;

第部分電壓型變頻多臺(tái)中頻無(wú)心感應(yīng)爐成套裝置

———32:;

第部分工頻無(wú)心感應(yīng)熔銅爐

———33:;

第部分間接電阻爐

———4:;

第部分網(wǎng)帶式電阻加熱機(jī)組

———41:;

第部分推送式電阻加熱機(jī)組

———42:;

第部分強(qiáng)迫對(duì)流井式電阻爐

———43:;

第部分箱式電阻爐

———44:;

第部分真空淬火爐

———45:;

第部分罩式電阻爐

———46:;

第部分真空熱處理和釬焊爐

———47:;

第部分臺(tái)車式電阻爐

———48:;

第部分自然對(duì)流井式電阻爐

———49:;

第部分單晶爐

———410:;

第部分電熱浴爐

———411:;

第部分高頻介質(zhì)加熱設(shè)備

———5:。

根據(jù)需要還將陸續(xù)制定其他部分

。

本部分為的第部分應(yīng)與的第部分和第部分配合使用

GB/T10067410,GB/T1006714。

本部分按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本部分由中國(guó)電器工業(yè)協(xié)會(huì)提出

。

本部分由全國(guó)工業(yè)電熱設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口

(SAC/TC121)。

本部分起草單位西安電爐研究所有限公司江蘇華盛天龍光電設(shè)備股份有限公司西安理工晶科

:、、

股份有限公司中冶電爐工程技術(shù)中心國(guó)家電爐質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心陜西省電爐工程技術(shù)研究中心

、、、。

本部分主要起草人陳巨才李留臣袁芳蘭束天和朱琳

:、、、、。

Ⅰ

GB/T10067410—2014

.

電熱裝置基本技術(shù)條件

第410部分單晶爐

:

1范圍

的本部分規(guī)定了對(duì)晶體爐的術(shù)語(yǔ)產(chǎn)品分類技術(shù)要求試驗(yàn)方法檢驗(yàn)規(guī)則以

GB/T10067TDR、、、、

及標(biāo)志包裝運(yùn)輸和貯存

、、。

本部分適用于直拉法拉制半導(dǎo)體硅鍺等單晶的單晶爐

、。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

鋼制壓力容器

GB150—2011

電工術(shù)語(yǔ)工業(yè)電熱裝置

GB/T2900.23—2008

環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)

GB3095—2012

電磁輻射防護(hù)規(guī)定

GB8702—1998

污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)

GB8978—1996

電熱設(shè)備的試驗(yàn)方法第部分通用部分

GB/T10066.1—20041:

電熱設(shè)備的試驗(yàn)方法第部分間接電阻爐

GB/T10066.4—20044:

電熱裝置基本技術(shù)條件第部分通用部分

GB/T10067.1—20051:

電熱裝置基本技術(shù)條件第部分間接電阻爐

GB/T10067.4—20054:

工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)

GB12348—2008

大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)

GB16297—1996

電熱設(shè)備產(chǎn)品型號(hào)編制方法

JB/T9691—1999

3術(shù)語(yǔ)和定義

界定的以及下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

GB/T2900.23—2008、GB/T10066.4—2004。

31

.

單晶爐crystalgrowingfurnace

利用直拉法或區(qū)熔法拉制半導(dǎo)體單晶材料的一種工業(yè)電熱

(czochralskimethod)(floatingzone)

設(shè)備

。

32

.

熔料量charge

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