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文檔簡介

N型TOPCon電池?fù)诫s工藝優(yōu)化考核試卷一、單項(xiàng)選擇題(每題1分,共30題)1.在N型TOPCon電池?fù)诫s工藝中,以下哪種摻雜劑最常用?A.硼B(yǎng).鋁C.磷D.銅2.TOPCon電池?fù)诫s工藝中,摻雜濃度的典型范圍是多少?A.1×10^15-1×10^17cm^-3B.1×10^12-1×10^14cm^-3C.1×10^18-1×10^20cm^-3D.1×10^8-1×10^10cm^-33.摻雜工藝中,以下哪種方法可以用來提高摻雜均勻性?A.濕法摻雜B.離子注入C.氣相沉積D.濺射4.摻雜工藝的溫度通??刂圃谀膫€(gè)范圍?A.400-500°CB.500-600°CC.600-700°CD.700-800°C5.在N型TOPCon電池?fù)诫s工藝中,摻雜后需要進(jìn)行哪種處理?A.退火B(yǎng).氧化C.還原D.熱處理6.摻雜工藝中,以下哪種設(shè)備最常用?A.等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)B.熱氧化爐C.離子注入機(jī)D.濺射設(shè)備7.摻雜工藝中,摻雜劑的氣體流量通??刂圃诙嗌??A.10-50sccmB.50-100sccmC.100-500sccmD.500-1000sccm8.摻雜工藝中,摻雜后的表面處理通常使用哪種材料?A.氫氟酸B.硫酸C.鹽酸D.堿液9.摻雜工藝中,摻雜后的均勻性檢測(cè)通常使用哪種儀器?A.光譜儀B.能譜儀C.熒光顯微鏡D.掃描電子顯微鏡10.摻雜工藝中,摻雜劑的純度通常要求達(dá)到多少?A.99%B.99.9%C.99.99%D.99.999%11.摻雜工藝中,摻雜后的電阻率通??刂圃诙嗌俜秶??A.1-10Ω·cmB.10-100Ω·cmC.100-1000Ω·cmD.1000-10000Ω·cm12.摻雜工藝中,摻雜后的晶格缺陷通常使用哪種方法減少?A.高溫退火B(yǎng).低溫退火C.快速退火D.慢速退火13.摻雜工藝中,摻雜后的表面形貌通常使用哪種儀器檢測(cè)?A.原子力顯微鏡B.掃描電子顯微鏡C.透射電子顯微鏡D.光學(xué)顯微鏡14.摻雜工藝中,摻雜后的電學(xué)性能通常使用哪種儀器檢測(cè)?A.電流電壓表B.系統(tǒng)參數(shù)分析儀C.歐姆表D.高頻信號(hào)發(fā)生器15.摻雜工藝中,摻雜后的光學(xué)性能通常使用哪種儀器檢測(cè)?A.光譜儀B.光電二極管C.光功率計(jì)D.光纖傳感設(shè)備16.摻雜工藝中,摻雜后的熱穩(wěn)定性通常使用哪種方法檢測(cè)?A.熱重分析B.差示掃描量熱法C.掃描電子顯微鏡D.原子力顯微鏡17.摻雜工藝中,摻雜后的機(jī)械穩(wěn)定性通常使用哪種方法檢測(cè)?A.壓力測(cè)試B.硬度測(cè)試C.拉伸測(cè)試D.疲勞測(cè)試18.摻雜工藝中,摻雜后的化學(xué)穩(wěn)定性通常使用哪種方法檢測(cè)?A.腐蝕測(cè)試B.老化測(cè)試C.熱穩(wěn)定性測(cè)試D.機(jī)械穩(wěn)定性測(cè)試19.摻雜工藝中,摻雜后的工藝窗口通??刂圃诙嗌俜秶??A.10-20%B.20-30%C.30-40%D.40-50%20.摻雜工藝中,摻雜后的良率通常要求達(dá)到多少?A.90%B.95%C.98%D.99%21.摻雜工藝中,摻雜后的缺陷密度通??刂圃诙嗌俜秶??A.1×10^5-1×10^7cm^-2B.1×10^6-1×10^8cm^-2C.1×10^7-1×10^9cm^-2D.1×10^8-1×10^10cm^-222.摻雜工藝中,摻雜后的表面粗糙度通常控制在多少范圍?A.0.1-1nmB.1-10nmC.10-100nmD.100-1000nm23.摻雜工藝中,摻雜后的電導(dǎo)率通??刂圃诙嗌俜秶??A.1-10S/cmB.10-100S/cmC.100-1000S/cmD.1000-10000S/cm24.摻雜工藝中,摻雜后的載流子濃度通??刂圃诙嗌俜秶??A.1×10^15-1×10^17cm^-3B.1×10^16-1×10^18cm^-3C.1×10^17-1×10^19cm^-3D.1×10^18-1×10^20cm^-325.摻雜工藝中,摻雜后的霍爾效應(yīng)通常使用哪種方法檢測(cè)?A.霍爾效應(yīng)儀B.電流電壓表C.系統(tǒng)參數(shù)分析儀D.歐姆表26.摻雜工藝中,摻雜后的光電轉(zhuǎn)換效率通常使用哪種方法檢測(cè)?A.光電轉(zhuǎn)換效率測(cè)試儀B.光譜儀C.光電二極管D.光功率計(jì)27.摻雜工藝中,摻雜后的穩(wěn)定性測(cè)試通常進(jìn)行多少時(shí)間?A.24小時(shí)B.48小時(shí)C.72小時(shí)D.96小時(shí)28.摻雜工藝中,摻雜后的工藝優(yōu)化通常使用哪種方法?A.正交試驗(yàn)設(shè)計(jì)B.全因素試驗(yàn)設(shè)計(jì)C.單因素試驗(yàn)設(shè)計(jì)D.隨機(jī)試驗(yàn)設(shè)計(jì)29.摻雜工藝中,摻雜后的工藝參數(shù)通常包括哪些?A.溫度、時(shí)間、流量B.壓力、流量、速度C.溫度、壓力、速度D.時(shí)間、壓力、速度30.摻雜工藝中,摻雜后的工藝改進(jìn)通常使用哪種工具?A.試驗(yàn)設(shè)計(jì)軟件B.數(shù)據(jù)分析軟件C.工藝模擬軟件D.優(yōu)化算法軟件二、多項(xiàng)選擇題(每題2分,共20題)1.N型TOPCon電池?fù)诫s工藝中,常用的摻雜劑有哪些?A.硼B(yǎng).鋁C.磷D.銅2.摻雜工藝中,提高摻雜均勻性的方法有哪些?A.濕法摻雜B.離子注入C.氣相沉積D.濺射3.摻雜工藝中,摻雜后的處理方法有哪些?A.退火B(yǎng).氧化C.還原D.熱處理4.摻雜工藝中,常用的設(shè)備有哪些?A.PECVDB.熱氧化爐C.離子注入機(jī)D.濺射設(shè)備5.摻雜工藝中,摻雜劑的氣體流量通??刂圃谀男┓秶緼.10-50sccmB.50-100sccmC.100-500sccmD.500-1000sccm6.摻雜工藝中,摻雜后的表面處理通常使用哪些材料?A.氫氟酸B.硫酸C.鹽酸D.堿液7.摻雜工藝中,摻雜后的均勻性檢測(cè)通常使用哪些儀器?A.光譜儀B.能譜儀C.熒光顯微鏡D.掃描電子顯微鏡8.摻雜工藝中,摻雜劑的純度通常要求達(dá)到哪些范圍?A.99%B.99.9%C.99.99%D.99.999%9.摻雜工藝中,摻雜后的電阻率通??刂圃谀男┓秶??A.1-10Ω·cmB.10-100Ω·cmC.100-1000Ω·cmD.1000-10000Ω·cm10.摻雜工藝中,摻雜后的晶格缺陷通常使用哪些方法減少?A.高溫退火B(yǎng).低溫退火C.快速退火D.慢速退火11.摻雜工藝中,摻雜后的表面形貌通常使用哪些儀器檢測(cè)?A.原子力顯微鏡B.掃描電子顯微鏡C.透射電子顯微鏡D.光學(xué)顯微鏡12.摻雜工藝中,摻雜后的電學(xué)性能通常使用哪些儀器檢測(cè)?A.電流電壓表B.系統(tǒng)參數(shù)分析儀C.歐姆表D.高頻信號(hào)發(fā)生器13.摻雜工藝中,摻雜后的光學(xué)性能通常使用哪些儀器檢測(cè)?A.光譜儀B.光電二極管C.光功率計(jì)D.光纖傳感設(shè)備14.摻雜工藝中,摻雜后的熱穩(wěn)定性通常使用哪些方法檢測(cè)?A.熱重分析B.差示掃描量熱法C.掃描電子顯微鏡D.原子力顯微鏡15.摻雜工藝中,摻雜后的機(jī)械穩(wěn)定性通常使用哪些方法檢測(cè)?A.壓力測(cè)試B.硬度測(cè)試C.拉伸測(cè)試D.疲勞測(cè)試16.摻雜工藝中,摻雜后的化學(xué)穩(wěn)定性通常使用哪些方法檢測(cè)?A.腐蝕測(cè)試B.老化測(cè)試C.熱穩(wěn)定性測(cè)試D.機(jī)械穩(wěn)定性測(cè)試17.摻雜工藝中,摻雜后的工藝窗口通??刂圃谀男┓秶??A.10-20%B.20-30%C.30-40%D.40-50%18.摻雜工藝中,摻雜后的良率通常要求達(dá)到哪些范圍?A.90%B.95%C.98%D.99%19.摻雜工藝中,摻雜后的缺陷密度通??刂圃谀男┓秶緼.1×10^5-1×10^7cm^-2B.1×10^6-1×10^8cm^-2C.1×10^7-1×10^9cm^-2D.1×10^8-1×10^10cm^-220.摻雜工藝中,摻雜后的表面粗糙度通常控制在哪些范圍?A.0.1-1nmB.1-10nmC.10-100nmD.100-1000nm三、判斷題(每題1分,共20題)1.摻雜工藝中,摻雜劑的純度越高,摻雜效果越好。2.摻雜工藝中,摻雜后的電阻率越低,電學(xué)性能越好。3.摻雜工藝中,摻雜后的表面粗糙度越低,光學(xué)性能越好。4.摻雜工藝中,摻雜后的缺陷密度越低,電學(xué)性能越好。5.摻雜工藝中,摻雜后的工藝窗口越寬,工藝越穩(wěn)定。6.摻雜工藝中,摻雜后的良率越高,生產(chǎn)效率越高。7.摻雜工藝中,摻雜后的電導(dǎo)率越高,電學(xué)性能越好。8.摻雜工藝中,摻雜后的載流子濃度越高,電學(xué)性能越好。9.摻雜工藝中,摻雜后的霍爾效應(yīng)越強(qiáng),電學(xué)性能越好。10.摻雜工藝中,摻雜后的光電轉(zhuǎn)換效率越高,電池性能越好。11.摻雜工藝中,摻雜后的穩(wěn)定性測(cè)試時(shí)間越長,測(cè)試結(jié)果越可靠。12.摻雜工藝中,摻雜后的工藝優(yōu)化通常使用正交試驗(yàn)設(shè)計(jì)。13.摻雜工藝中,摻雜后的工藝參數(shù)通常包括溫度、時(shí)間、流量。14.摻雜工藝中,摻雜后的工藝改進(jìn)通常使用數(shù)據(jù)分析軟件。15.摻雜工藝中,摻雜后的工藝優(yōu)化通常使用優(yōu)化算法軟件。16.摻雜工藝中,摻雜后的表面處理通常使用氫氟酸。17.摻雜工藝中,摻雜后的均勻性檢測(cè)通常使用掃描電子顯微鏡。18.摻雜工藝中,摻雜劑的氣體流量通??刂圃?0-100sccm。19.摻雜工藝中,摻雜后的電學(xué)性能通常使用電流電壓表檢測(cè)。20.摻雜工藝中,摻雜后的光學(xué)性能通常使用光譜儀檢測(cè)。四、簡答題(每題5分,共2題)1.簡述N型TOPCon電池?fù)诫s工藝的優(yōu)化方法。2.簡述N型TOPCon電池?fù)诫s工藝中常見的缺陷及其解決方法。附標(biāo)準(zhǔn)答案一、單項(xiàng)選擇題1.A2.A3.B4.B5.A6.C7.C8.A9.D10.C11.B12.A13.A14.A15.A16.A17.B18.B19.A20.C21.A22.B23.B24.A25.A26.A27.C28.A29.A30.B二、多項(xiàng)選擇題1.A,B,C2.A,B,C,D3.A,B,C,D4.A,B,C,D5.A,B,C,D6.A,B,C,D7.A,B,C,D8.A,B,C,D9.A,B,C,D10.A,B,C,D11.A,B,C,D12.A,B,C,D13.A,B,C,D14.A,B,C,D15.A,B,C,D16.A,B,C,D17.A,B,C,D18.A,B,C,D19.A,B,C,D20.A,B,C,D三、判斷題1.正確2.正確3.正確4.正確5.正確6.正確7.正確8.正確9.正確10.正確11.正確12

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