2《半導(dǎo)體熱波晶圓量測設(shè)備性能測試方法》編制說明一、任務(wù)來源程中性能評價(jià)體系缺失的問題。通過統(tǒng)一設(shè)備的關(guān)鍵性能指標(biāo)(測量精度、重復(fù)性等)測試方法，規(guī)范設(shè)備的評估流程，為設(shè)備制造商提供明確的技術(shù)驗(yàn)證依據(jù)，同時(shí)幫助晶綜上情況，特申請立項(xiàng)《半導(dǎo)體熱波晶圓量測設(shè)備性能測試方法》團(tuán)本文件由中國中小商業(yè)企業(yè)協(xié)會提出，由中國中小商業(yè)企業(yè)協(xié)會歸工作職責(zé)項(xiàng)目牽頭起草及主編單位主編人員，負(fù)責(zé)標(biāo)準(zhǔn)制定的統(tǒng)籌規(guī)劃與安排，標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容和試驗(yàn)方案編制與確定，標(biāo)準(zhǔn)水平的把握及標(biāo)準(zhǔn)編制運(yùn)行的組織協(xié)調(diào)。按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定及相關(guān)要求編制。32025年7月25日，中國中小商業(yè)企業(yè)協(xié)會正式批準(zhǔn)《半導(dǎo)體熱波晶圓量測設(shè)備性能測試方法》立2025年7月30日，《半導(dǎo)體熱波晶圓量測設(shè)備性能測試方法》團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)啟動會正式召開，團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)編制組代表主持了本次會議召開，中國中小商業(yè)企業(yè)協(xié)會相關(guān)領(lǐng)導(dǎo)出席組包括上海微崇半導(dǎo)體設(shè)備有限公司、北京彬誠科技有限公司、北京在會上對草案稿進(jìn)行了討論，編制組會后根據(jù)討論會意見形成2025年8月，《半導(dǎo)體熱波晶圓量測設(shè)備性能測試方法》申請開始征求意見。同時(shí)由編制工作組向相僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件，本文件原則上在正文中僅引用標(biāo)準(zhǔn)號或該標(biāo)準(zhǔn)章節(jié)序號或名詞，對GB/T6379.2測量方法與結(jié)果的準(zhǔn)確度(正確度與精密度)第2部分：確定標(biāo)準(zhǔn)測量方法重復(fù)性與再GB/Z42023.2工業(yè)自動化設(shè)備和系統(tǒng)可靠性第2部分：系統(tǒng)可靠性JJF1076數(shù)字式溫濕度計(jì)校準(zhǔn)規(guī)范ISO5348機(jī)械振動和沖擊一機(jī)械安裝加速度計(jì)(Mechanicalvibrationandshock—Mechanicalmountingofaccelerometers)本文件規(guī)定了半導(dǎo)體熱波晶圓量測設(shè)備性能測試的原理、測試條3.術(shù)語和定義4.原理7.樣品8.測試方法半導(dǎo)體熱波晶圓量測設(shè)備性能測試的測試方法，包括厚度測量精4包括了對半導(dǎo)體熱波晶圓量測設(shè)備性能測試的數(shù)據(jù)記錄、數(shù)據(jù)計(jì)算、數(shù)據(jù)校正、數(shù)據(jù)分析的要求。10.質(zhì)量保證和控制規(guī)定了半導(dǎo)體熱波晶圓量測設(shè)備性能測試方法的人員要求、設(shè)備校準(zhǔn)、樣品管理、測試過程控制、數(shù)據(jù)審核的要求。11.測試報(bào)告規(guī)定了半導(dǎo)體熱波晶圓量測設(shè)備性能測試的測試報(bào)告內(nèi)容。七、與有關(guān)的現(xiàn)行法律、法規(guī)和強(qiáng)制性國家標(biāo)準(zhǔn)及相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)協(xié)調(diào)配套情況本文件的制定過程、技術(shù)要求的選定、試驗(yàn)方法的確定、檢驗(yàn)項(xiàng)目設(shè)置等符合現(xiàn)行法律、法規(guī)和強(qiáng)制性國家標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。八、重大分歧意見的處理經(jīng)過和依據(jù)九、標(biāo)準(zhǔn)作為強(qiáng)制性或推薦性標(biāo)準(zhǔn)的建議建議該標(biāo)準(zhǔn)作為推薦性團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)。十、