1T/ZJBDTXXXX—XXXX高溫?cái)U(kuò)散爐用硅制晶舟本文件規(guī)定了高溫?cái)U(kuò)散爐用硅制晶舟的硅材料要求、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、隨行文件和質(zhì)量承諾。本文件適用于硅單晶、硅多晶以拼接式、熔接式方式加工而成的高溫?cái)U(kuò)散爐用直徑150～350mm的硅制晶舟。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T191包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志GB/T14264半導(dǎo)體材料術(shù)語(yǔ)GB/T23805精細(xì)陶瓷室溫拉伸強(qiáng)度試驗(yàn)方法GB/T29505硅片平坦表面的表面粗糙度測(cè)量方法GB/T39145硅片表面金屬元素含量的測(cè)定電感耦合等離子體質(zhì)譜法GB/T40279硅片表面薄膜厚度的測(cè)試光學(xué)反射法3術(shù)語(yǔ)和定義GB/T14264界定的以及下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。3.1平面度f(wàn)latness產(chǎn)品表面與理想平面之間最大偏離程度。3.2平行度Parallelism產(chǎn)品一個(gè)平面相對(duì)于基準(zhǔn)平面之間最大偏離程度。4外形結(jié)構(gòu)T/ZJBDTXXXX—XXXX2圖1外形結(jié)構(gòu)示意圖5硅材料要求硅材料應(yīng)符合表1的規(guī)定。表1硅材料要求。），----P--硼--<1.2×10atoms/cm<0.8×10atoms/cm<5.0×10atoms/cm<1.0×10atoms/cm--6技術(shù)要求6.1外觀硅制晶舟的表面及端面（包括倒角面）應(yīng)無(wú)劃傷、裂紋、缺口、刮傷和膠印。注：膠印適用于熔接部位。6.2幾何尺寸硅制晶舟的幾何尺寸應(yīng)符合表2的規(guī)定。表2幾何尺寸T/ZJBDTXXXX—XXXX36.3表面粗糙度硅制晶舟溝齒面表面粗糙度不應(yīng)大于1.6μm，其他部位表面粗糙度不應(yīng)大于3.2μm。6.4表面金屬硅制晶舟的表面金屬應(yīng)符合表3的規(guī)定。表3表面金屬含量單位:E10atoms/cmK6.5氧化層厚度（CVD外延工藝適用）硅制晶舟的氧化層厚度不應(yīng)小于5000埃。注：CVD（ChemicalVaporDeposition）指化學(xué)氣相沉積法。6.6熔接拉伸強(qiáng)度硅制晶舟熔接部位的拉伸強(qiáng)度不應(yīng)小于2.0Mpa。7試驗(yàn)方法7.1外觀在光照強(qiáng)度為850～1350Lux的凈化室內(nèi)目視檢查產(chǎn)品表面狀態(tài)。7.2幾何尺寸直徑允許偏差用三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x進(jìn)行測(cè)量，高度允許偏差用測(cè)高儀或者高度尺（按硅制晶舟實(shí)際尺寸選擇）進(jìn)行測(cè)量，溝齒面平面度、溝齒面平行度、溝棒垂直度按附錄A規(guī)定的方法進(jìn)行測(cè)量。7.3表面粗糙度表面粗糙度按附錄A規(guī)定的方法進(jìn)行測(cè)試。7.4表面金屬表面金屬含量按GB/T39145的規(guī)定進(jìn)行測(cè)試。7.5氧化層厚度T/ZJBDTXXXX—XXXX4氧化層厚度按GB/T40279的規(guī)定進(jìn)行測(cè)試。7.6熔接拉伸強(qiáng)度熔接拉伸強(qiáng)度按GB/T23805的規(guī)定進(jìn)行測(cè)試。8檢驗(yàn)規(guī)則8.1出廠檢驗(yàn)8.1.1每臺(tái)產(chǎn)品經(jīng)質(zhì)檢部門按本標(biāo)準(zhǔn)檢驗(yàn)合格并出具檢驗(yàn)合格證后方能出廠。8.1.2出廠檢驗(yàn)項(xiàng)目為外觀、幾何尺寸、表面粗糙度。8.2型式檢驗(yàn)8.2.1正常批量生產(chǎn)時(shí)每季度進(jìn)行一次，有下列情況之一時(shí)也需進(jìn)行型式試驗(yàn)：a)新產(chǎn)品或老產(chǎn)品轉(zhuǎn)廠生產(chǎn)的試制定型鑒定時(shí)；b)正式生產(chǎn)后，如結(jié)構(gòu)、材料、工藝有較大改變，可能影響產(chǎn)品性能時(shí)；c)停產(chǎn)1年后，恢復(fù)生產(chǎn)時(shí)；d)出廠檢驗(yàn)結(jié)果與上次型式試驗(yàn)有較大差異時(shí)；e)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督機(jī)構(gòu)提出進(jìn)行型式試驗(yàn)要求時(shí)。8.2.2除新產(chǎn)品外，型式試驗(yàn)樣品應(yīng)從出廠檢驗(yàn)合格的產(chǎn)品中隨機(jī)抽取。8.2.3型式試驗(yàn)項(xiàng)目為表4中的全部項(xiàng)目。表4檢驗(yàn)項(xiàng)目√√√√√√—√—√—√8.3判定規(guī)則8.3.1出廠檢驗(yàn)時(shí)，檢驗(yàn)項(xiàng)目全部符合本文件規(guī)定的，判定該批產(chǎn)品合格；檢驗(yàn)項(xiàng)目有不符合的，允許對(duì)不合格的項(xiàng)目進(jìn)行復(fù)檢，復(fù)檢結(jié)果全部符合的，判定該批產(chǎn)品合格，仍有不符合的，則判該批產(chǎn)品不合格。8.3.2型式檢驗(yàn)時(shí)，檢驗(yàn)項(xiàng)目全部符合本文件規(guī)定的，判定型式檢驗(yàn)合格；檢驗(yàn)項(xiàng)目有不符合的，允許加倍取樣對(duì)不合格項(xiàng)進(jìn)行復(fù)檢。復(fù)檢項(xiàng)目全部符合格的，判定型式檢驗(yàn)合格，仍有不符合的，則判定型式檢驗(yàn)不合格。9標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存和隨行文件9.1標(biāo)志產(chǎn)品包裝箱外應(yīng)標(biāo)有“小心輕放”“易碎”“防潮”字樣或標(biāo)志，圖形標(biāo)志應(yīng)符合GB/T191的規(guī)定，并注明：a)生產(chǎn)企業(yè)名稱；b)產(chǎn)品名稱；c)數(shù)量；T/ZJBDTXXXX—XXXX5d)生產(chǎn)日期。9.2包裝產(chǎn)品用潔凈的PE（聚乙烯）袋進(jìn)行真空包裝，然后裝入包裝箱內(nèi)，并裝滿填充物，防止產(chǎn)品松動(dòng)。9.3運(yùn)輸產(chǎn)品在運(yùn)輸過(guò)程中應(yīng)輕裝輕卸，嚴(yán)禁拋擲，且應(yīng)采取防震、防潮措施。9.4貯存產(chǎn)品應(yīng)貯存在清潔、干燥的環(huán)境中。9.5隨行文件每臺(tái)產(chǎn)品應(yīng)附有隨行文件，包含產(chǎn)品質(zhì)量證明書或產(chǎn)品合格證。e)產(chǎn)品質(zhì)量證明書內(nèi)容如下：1)生產(chǎn)企業(yè)名稱；2)客戶名稱；3)產(chǎn)品名稱、規(guī)格；4)產(chǎn)品批號(hào)；5)產(chǎn)品數(shù)量；6)各項(xiàng)參數(shù)檢驗(yàn)結(jié)果。f)產(chǎn)品合格證內(nèi)容如下：1)產(chǎn)品批號(hào)；2)檢驗(yàn)日期；3)產(chǎn)品名稱、規(guī)格。4)產(chǎn)品刻字號(hào)；5)部門簽章。10質(zhì)量承諾10.1.1客戶有異常情況反饋，應(yīng)在24小時(shí)內(nèi)作出響應(yīng)。10.1.2在用戶正常使用條件下，產(chǎn)品因質(zhì)量問(wèn)題而不能正常使用時(shí)，應(yīng)提供免費(fèi)換貨服務(wù)并承擔(dān)合理的責(zé)任。T/ZJBDTXXXX—XXXX6（規(guī)范性）硅制晶舟溝齒面平面度、溝齒面平行度、溝棒垂直度和表面粗糙度試驗(yàn)方法A.1溝齒面平面度A.1.1三坐標(biāo)測(cè)量法A.1.1.1測(cè)量工具三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x、大理石V型塊。A.1.1.2測(cè)量步驟A.1.1.2.1硅制晶舟橫向放置在測(cè)量?jī)x三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x大理石平臺(tái)上的大理石V型塊上（如圖A.1）。A.1.1.2.2同一平面取點(diǎn)，一個(gè)溝齒面采2個(gè)點(diǎn)，所有溝棒溝齒面構(gòu)成一個(gè)平面，在三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x上讀取平面度。A.1.1.2.3每臺(tái)硅制晶舟均布測(cè)量五處，測(cè)得5個(gè)測(cè)量值并作好記錄，取最大值作為溝齒面平面度。圖A.1溝齒面平面度測(cè)量點(diǎn)位A.1.2硅片測(cè)量法A.1.2.1測(cè)量工具測(cè)試硅片（12英寸/8英寸）、塞尺。A.1.2.2測(cè)量步驟A.1.2.2.1硅制晶舟基準(zhǔn)面（法蘭端）垂直放置大理石平臺(tái)上。A.1.2.2.2將硅片按入溝齒面，按照硅制晶舟溝齒數(shù)量均勻分布放置5處（圖A.2）。A.1.2.2.3目視硅片接觸面是否有間隙，并用塞尺檢查硅片與溝齒的間隙。測(cè)得5個(gè)測(cè)量值并作好記錄，取最大值，作為溝齒面平面度。7圖A.2溝齒面平面度測(cè)量硅片放置示意圖A.2溝齒面平行度A.2.1測(cè)量工具測(cè)高儀或高度儀。A.2.2測(cè)量步驟A.2.2.1硅制晶舟基準(zhǔn)面（法蘭端）垂直放置大理石平臺(tái)上（如圖A.3）。A.2.2.2在各溝棒上取同一高度的溝齒，每個(gè)溝齒面選一個(gè)點(diǎn)，使用測(cè)高儀測(cè)量或高度儀（按硅制晶舟實(shí)際尺寸選擇）進(jìn)行測(cè)量，按最大值減去最小值計(jì)算出溝齒面的平行度。A.2.2.3按硅制晶舟溝齒數(shù)量均勻分布5處，取得5個(gè)測(cè)量值，取最大值作為溝齒面平行度。圖A.3溝齒面平行度測(cè)量點(diǎn)位A.3溝棒垂直度A.3.1測(cè)量工具激光測(cè)試儀。A.3.2測(cè)量步驟A.3.2.1硅制晶舟基準(zhǔn)面（法蘭端）垂直放置大理石平臺(tái)上（如圖A.4）。A.3.2.2使用激光測(cè)試儀，測(cè)量溝棒背面垂直度和溝棒側(cè)面垂直度（扭曲度）。A.3.2.3法蘭端溝棒背面數(shù)值作為零點(diǎn)（點(diǎn)1記錄每根溝棒背面上部的垂直度（點(diǎn)2）。T/ZJBDTXXXX—XXXX8A.3.2.4法蘭端溝棒側(cè)面數(shù)值作為零點(diǎn)（點(diǎn)3記錄每根溝棒側(cè)面上部的垂直度（扭曲度，點(diǎn)4）。A.3.2.5取溝棒背面上部的垂直度和溝棒側(cè)面上部的垂直度（扭曲度）中的最大值作為溝棒垂直度。圖A.4垂直度測(cè)量點(diǎn)位A.4表面粗糙度A.4.1測(cè)試工具粗糙度儀器。A.4.2測(cè)試步驟A.4.2.1硅制晶舟基準(zhǔn)面（法蘭端）垂直放置大理石上。A.4.2.2設(shè)定檢測(cè)參數(shù)ISO1997評(píng)價(jià)輪廓類別。A.4.2.3每根溝棒溝齒面選5處，用粗糙度儀器測(cè)量，每根溝棒測(cè)得5個(gè)測(cè)量值。取最