《SIC封裝燒結(jié)設(shè)備技術(shù)要求及測(cè)試方法》征求意見稿_第1頁
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1本文件規(guī)定了SIC封裝有壓燒結(jié)設(shè)備測(cè)試條件、技術(shù)要求、2規(guī)范性引用文件僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。GB/T191-2008包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志GB/T5226.1-2019機(jī)械電氣安全機(jī)械電氣設(shè)備第1部分:通用技術(shù)條件GB/T14283-2008點(diǎn)焊機(jī)器人通用技術(shù)條件GB/T26799-2011點(diǎn)膠機(jī)通用技術(shù)條件JB/T8896-1999工業(yè)機(jī)器人驗(yàn)收規(guī)則燒結(jié)是將粉狀或粒狀物料(如金屬粉末、陶瓷粉末等)在低于其熔點(diǎn)的溫度下加熱,使顆粒之間通結(jié)時(shí)間和燒結(jié)氣氛控制。燒結(jié)壓力sinteringpressure在有壓燒結(jié)過程中,通過燒結(jié)設(shè)備的壓力裝置施加在燒結(jié)材料上的機(jī)械壓力。壓力均勻性pressureuniformi施加在整個(gè)燒結(jié)產(chǎn)品材料表面機(jī)械壓力的一致性。均溫性temperatureuniformity模具有效加熱區(qū)域內(nèi)不同位置溫度的一致性。2燒結(jié)過程中產(chǎn)品所處的氣體環(huán)境。燒結(jié)氣氛中氧氣的體積濃度。4.1.1本文件規(guī)定的試驗(yàn)方法應(yīng)在制造商規(guī)定環(huán)境條件和操作條件下進(jìn)行。4.1.2環(huán)境條件包括:溫度、相對(duì)濕度、電磁場(chǎng)和靜電場(chǎng)、射頻干擾、大氣污染和海拔高度極限。4.2測(cè)試前提條件4.2.1測(cè)試環(huán)境溫度宜為25℃±5℃,采用其他的環(huán)境溫度應(yīng)在試驗(yàn)報(bào)告中指明并加以解釋。4.2.2為使燒結(jié)設(shè)備和測(cè)量?jī)x器在試驗(yàn)前處于熱穩(wěn)定狀態(tài)下,應(yīng)將它們置于試驗(yàn)環(huán)境中,時(shí)間不小于60min。還應(yīng)防止通風(fēng)和外部熱輻射(如陽光、加熱器)。測(cè)量范圍:0℃~400℃;精度:±1℃。4.3.2.1壓力測(cè)試儀應(yīng)符合GB/T18806-2002的要求。4.3.2.2量程選擇:測(cè)試壓力宜為壓力測(cè)試儀量程的80%左右;測(cè)量精度:±0.5%F.S。測(cè)量范圍:10ppm~21.000%;測(cè)量精度:±1%F.S。4.3.4壓力均勻測(cè)試儀與材料4.3.4.1儀器有電子感壓紙、薄膜壓力傳感器。材料通常是感壓紙(簡(jiǎn)稱“壓敏紙”),壓敏紙規(guī)格范圍:1MPa~30MPa。4.3.4.2測(cè)試中所用的測(cè)量?jī)x器應(yīng)進(jìn)行校準(zhǔn),還應(yīng)估計(jì)測(cè)量的不確定度并在試驗(yàn)報(bào)告中說明。應(yīng)考慮c)計(jì)算誤差。燒結(jié)設(shè)備應(yīng)能夠穩(wěn)定控制室溫~350℃范圍內(nèi)任一溫度。在燒結(jié)前,應(yīng)對(duì)模具工作表面的實(shí)際溫度進(jìn)行準(zhǔn)確度測(cè)試,待模具表面溫度準(zhǔn)確后方可進(jìn)行燒結(jié)材料所需實(shí)際溫度的測(cè)試。5.2均溫性燒結(jié)設(shè)備的均溫性應(yīng)在±5℃以內(nèi)。5.3燒結(jié)壓強(qiáng)5.3.1燒結(jié)設(shè)備的燒結(jié)壓強(qiáng)宜滿足1MPa~30MPa。5.3.2燒結(jié)壓強(qiáng)(P)按公式(1)計(jì)算:3式中:P——燒結(jié)壓強(qiáng);S——壓頭有效接觸面積。5.4燒結(jié)壓強(qiáng)精度燒結(jié)設(shè)備的燒結(jié)壓強(qiáng)精度應(yīng)為±5%以內(nèi)。5.5燒結(jié)壓力均勻性燒結(jié)設(shè)備的壓頭作用在產(chǎn)品燒結(jié)面上的壓力分布應(yīng)均勻一致。5.6氧氣含量6測(cè)試方法6.1燒結(jié)溫度6.1.1模具加熱溫度測(cè)試:將溫度測(cè)試儀上的熱電偶測(cè)溫點(diǎn)貼在模具工作面的中心點(diǎn)上,模具加熱穩(wěn)350℃溫度點(diǎn)進(jìn)行測(cè)試,實(shí)測(cè)值均應(yīng)與設(shè)置溫度相6.1.2燒結(jié)材料實(shí)際燒結(jié)溫度:將溫度測(cè)試儀上的熱電偶的測(cè)溫點(diǎn)貼在燒結(jié)材料上,在燒結(jié)設(shè)備上設(shè)度。6.2均溫性a)將模具的加熱區(qū)分成4等份區(qū)域,在邊緣及中心對(duì)應(yīng)選取9個(gè)測(cè)溫點(diǎn)(如圖1所示);b)將熱電偶測(cè)溫點(diǎn)分別粘貼在9個(gè)測(cè)溫點(diǎn)位上,在設(shè)備上設(shè)置常用的燒結(jié)溫度,待設(shè)置界面溫度顯示穩(wěn)定后分別讀取對(duì)應(yīng)溫區(qū)的溫度數(shù)據(jù),分別記作T1、T2、T3、T4、T5、T6、T7、T8、6.3燒結(jié)壓強(qiáng)燒結(jié)壓強(qiáng)測(cè)試方法如下:4b)在模具常溫狀態(tài)下,將壓力傳感器置于壓頭中心點(diǎn)的正下方,并應(yīng)使壓頭垂直于壓力傳感器測(cè)試面(如圖2所示)。在燒結(jié)設(shè)備上設(shè)定所選取的壓強(qiáng)后,使壓頭壓力作用于壓力傳感器c)依據(jù)壓力測(cè)試儀讀取的壓力測(cè)試數(shù)據(jù)與壓頭燒結(jié)面積計(jì)算出的燒結(jié)壓強(qiáng)應(yīng)與設(shè)定值相同。F壓頭圖2燒結(jié)壓力測(cè)試示意圖6.4燒結(jié)壓強(qiáng)精度按6.3測(cè)得的壓頭的實(shí)際壓強(qiáng)與燒結(jié)設(shè)備設(shè)定壓強(qiáng)的差值,燒結(jié)壓強(qiáng)精度按公式(2)計(jì)算:式中:u——燒結(jié)壓強(qiáng)精度;P——設(shè)定壓強(qiáng)。6.5燒結(jié)壓力均勻性取出壓敏紙觀察壓頭與其對(duì)應(yīng)的壓印,應(yīng)均勻一致。6.6氧氣含量數(shù)值。7安全要求燒結(jié)設(shè)備的絕緣電阻應(yīng)符合GB/T5226.1-2019中18.3的規(guī)定,燒結(jié)設(shè)備動(dòng)力電路導(dǎo)線和保護(hù)聯(lián)結(jié)電路間施加500Vd.c.時(shí)測(cè)得的絕緣電阻應(yīng)不小于1MS。7.2.1燒結(jié)設(shè)備的耐電強(qiáng)度應(yīng)符合GB/T5226.1-2019中18.4的規(guī)定,燒結(jié)設(shè)備最大試驗(yàn)電壓具有兩倍的電氣設(shè)備額定電源電壓值或1000V,至少1s時(shí)間,未出現(xiàn)擊穿放電現(xiàn)象。7.2.2不適宜經(jīng)受試驗(yàn)電壓的元件和器件,以及試驗(yàn)期間可能動(dòng)作的浪涌保護(hù)器件,應(yīng)在試驗(yàn)期間斷7.2.3已按GB/T5226.1-2019進(jìn)行過耐壓試驗(yàn)的元件和器件在試驗(yàn)期問可斷開。5按JB/T8896-1999中5.8的要求,將供電電網(wǎng)電壓接入調(diào)壓器,依據(jù)燒結(jié)設(shè)備額定電壓指標(biāo)均應(yīng)正常。電源適應(yīng)能力試驗(yàn)條件見表1。%11燒結(jié)設(shè)備的電磁兼容性應(yīng)符合GB/T5226.1-2019中4.4.2的相關(guān)規(guī)定。8.1燒結(jié)設(shè)備相關(guān)防靜電技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合a)設(shè)備任一金屬部件(含電氣外殼),到接地導(dǎo)體的阻抗均應(yīng)小于1.0Ω;b)靜電放電敏感器件工作區(qū)域30厘米內(nèi)防靜電材料的表面阻抗<1.0×10?Ω,接地阻抗<1.0c)孤立導(dǎo)體的靜電電壓小于35V,防靜電材料的靜電電壓小于100V;d)對(duì)于未保護(hù)的敏感元器件操作時(shí),距離不大于25mm時(shí),任何工位的絕緣體管控,用非接觸式讀數(shù)小于100V;e)對(duì)于未保護(hù)的敏感元器件操作時(shí),距離大于25mm及小于300mm的時(shí),任何工位的絕緣體管控,用非接觸式電壓表量測(cè)絕緣體表面的電壓,應(yīng)小于2000V。如果使用場(chǎng)強(qiáng)測(cè)試儀,量測(cè)要保證規(guī)定的距離,讀數(shù)小于100V。8.2按SJ/T10694-2022中第5章相關(guān)測(cè)試方法進(jìn)行測(cè)試。9檢驗(yàn)規(guī)則9.1.1產(chǎn)品需經(jīng)本廠質(zhì)保部門檢驗(yàn)合格,并附有合格證后方可出廠。9.1.2出廠檢驗(yàn)項(xiàng)目按表2執(zhí)行。9.1.3出廠檢驗(yàn)項(xiàng)目全部檢驗(yàn)合格后,下發(fā)產(chǎn)品合格證。9.1.4檢驗(yàn)中出現(xiàn)某項(xiàng)目不符合要求或發(fā)生故障時(shí),需查明原因,進(jìn)行返修,對(duì)該項(xiàng)重新檢驗(yàn)。在重新檢驗(yàn)中,該項(xiàng)目再次出現(xiàn)不符合要求或發(fā)生故障時(shí),則該產(chǎn)品被判為不合格。序號(hào)出廠檢驗(yàn)1外觀及結(jié)構(gòu)○2O3○405O6O7C89〇6出廠檢驗(yàn)電源適應(yīng)能力○電磁兼容性O(shè)防靜電要求010標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存10.1標(biāo)志10.1.1燒結(jié)設(shè)備產(chǎn)品應(yīng)裝有標(biāo)牌,標(biāo)牌上應(yīng)包d)生產(chǎn)廠名稱

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