1ESD基礎(chǔ)知識第一章ESD的定義2什么是靜電靜電（ElectrostaticCharge）靜止不動的電荷ElectricChargeatrest---ESDADV1.0-2003電荷：得到或者失去電子ElectricCharge:Anabsenceorexcessofelectrons—ESDADV1.0-2003靜電的基本單位是庫侖Coulomb(C)1C=6.24×1018個電子所帶的電量

3靜電的本質(zhì)無論是靜電荷或是帶電體，都會在空間激發(fā)出靜電場。靜電場才是靜電荷或帶電體的物理本質(zhì)。因為其對外表現(xiàn)是通過靜電場來實現(xiàn)的。靜電場是一種物質(zhì)存在，有能量，有動量，對其中的其他帶電體施加力的作用。4與靜電有關(guān)的概念正電荷：質(zhì)子帶正電荷負(fù)電荷：電子帶負(fù)電荷帶電體：得到或失去電子的物體。電量：物體所帶電荷量的大小。靜電場：由于電荷導(dǎo)致的吸引或者排斥力。電荷守恒定律：在任何物理過程中電荷的代數(shù)和是守恒的。56電荷特性電荷不能夠被生產(chǎn)或消滅，只能夠被轉(zhuǎn)移。電子電量=-1.6×10-19C

質(zhì)子電量=+1.6×10-19C量化預(yù)測電荷量的產(chǎn)生是不可能的。一塊布料和片塑膠的摩擦可以促使百萬億電荷的轉(zhuǎn)移。電荷守恒定律-在任何物理過程中電荷的代數(shù)和是守恒的。7電荷的相互影響同性相斥，異性相吸。這是造成電子流動的基礎(chǔ)。在任何兩個帶電點中存在作用力：1、力作用在兩點的直接連線方向上。2、力的大小和電荷量的乘積成正比。3、力的大小和距離的平方成反比。8靜電場9由于電荷導(dǎo)致的吸引或者排斥力Anattractiveorrepulsiveforceinspaceduetothepresenceofelectriccharge.帶電體電場，電場強度，電力線10靜電電壓按定義：電壓=電場強度（作用力/電荷）×距離單位靜電壓(Statvolt)=1dyne×1cm/電荷電位：1sV≌1erg/esu≌10-7J/3.3×10-10C≌300Vdyne:使1g物體得到每秒1cm的加速度的力。erg:以1dyne之力作用于物體，其使作用點移動1cm所做的功，1erg=10-7Jesu:1個靜電庫侖就是電荷的量,它與相距1cm的同樣電量有1達(dá)因的排斥力,1esu=3.3×10-10C11什么是ESDESD:靜電放電（ElectroStaticDischarge)由一個高電場引起的快速、自發(fā)的電荷轉(zhuǎn)移Therapidspontaneoustransferofelectrostaticchargeinducedbyahighelectrostaticfield.—ESDADV1.0-2003處于不同電位的兩個物體之間，由于直接接觸或靜電場感應(yīng)導(dǎo)致的電荷傳輸（轉(zhuǎn)移）-IEC定義12靜電和ESD的區(qū)別靜電與靜電放電（ESD）是完全不同的物理概念或物理過程。一個是“靜”，一個是“動”。伴隨著靜電放電，往往有電量的轉(zhuǎn)移、電流的產(chǎn)生和電磁場輻射。13電量衰減常見概念-形象化在容量系統(tǒng)中，電量衰減的速度是物體電容和對地電阻的函數(shù)（RC）衰減時間常數(shù)（τ）=RC

Vt=V0e-t/τt=1τ,Vt=37%V0

t=5τ,Vt=0.7%V014靜電放電能量靜電放電的能量E=0.5CV2靜電放電的敏感器件接受的能量：E=0.5CV2（R

item/R

total)V=q/C,靜電電壓受電容的影響很大C=

ε0εrA/dε0=8.85×1012F/mεr=材料的相對介電常數(shù)1516第二章靜電產(chǎn)生的方式和途徑常見的靜電產(chǎn)生方式接觸分享起電（最常見摩擦起電）靜電感應(yīng)斷裂起電（分裂起電，破碎起電）剝離起電離子濺射傳導(dǎo)帶電電容效應(yīng)17接觸分離起電18接觸分離帶電摩擦起電什么影響“摩擦帶電”摩擦產(chǎn)生的靜電的大小取決于：

-互相摩擦的材料-接觸的緊密程度

-分離的速度

-接觸面的清潔度

-其他物理和化學(xué)的因素表面粗糙度環(huán)境因素19靜電序列20靜電序列兩物體接觸分離或摩擦后，排在前面的帶正電，后面的帶負(fù)電；距離越遠(yuǎn)，摩擦電壓越高；可以作為選擇防護(hù)材料時的有用參考；人類認(rèn)識的不足：不同列表有所差異；循環(huán)現(xiàn)象；反向現(xiàn)象；應(yīng)用時不可作為硬性標(biāo)準(zhǔn)。21靜電感應(yīng)帶電體產(chǎn)生電場，電場中的導(dǎo)體因電荷轉(zhuǎn)移而感應(yīng)帶電。22絕緣體不能夠被感應(yīng)帶電！斷裂起電23剝離帶電物質(zhì)原有的電荷平衡被打破，兩邊帶上相反的電荷。同種物質(zhì)的剝離和不同物質(zhì)間的剝離都會產(chǎn)生靜電。通常電壓都比較高！24離子濺射25當(dāng)電場強度超過3MV/m時，擊穿空氣，產(chǎn)生正/負(fù)離子傳導(dǎo)帶電帶電物體通過接觸將電荷傳導(dǎo)給未帶電物體帶電絕緣體僅能從較小

面積釋放大量電荷。帶電導(dǎo)體能釋放大量電

荷給給另一導(dǎo)體。26電容效應(yīng)C=

ε0εrA/dε0=8.85×1012F/mεr=材料的相對介電常數(shù)

V=Q/C

d↑→V↑

電荷保持不變，但靜電壓并非固定值！27其他帶電方式熱電現(xiàn)象：某些物質(zhì)溫度的變化，產(chǎn)生靜電。壓電：壓電現(xiàn)象。石英、水晶、陶瓷等。電解：固體與電解溶液液體噴射28噴射生電（任何液體）特殊帶電現(xiàn)象粉體帶電：因為破裂、摩擦、分離、吸附等因素帶電。電量小，但電壓可能較高，可能引發(fā)爆炸危險。液體帶電：因為流動、沖流、沉降、噴射等方式起電，多出現(xiàn)在電阻大的液體、管道、噴嘴和分散的液滴。氣體帶電：純凈氣體通常情況下不會起電。氣體的帶電一般與其中的雜質(zhì)相關(guān)。2930流動生電（高阻抗液體）噴嘴處帶電影響帶電的因素物質(zhì)的性質(zhì)表面特征作用力的大小、速率、頻次、時間環(huán)境因素：濕度、溫度物體帶電歷史溫度對靜電影響：溫度升高物質(zhì)活性增加摩擦電壓增加：同時溫度升高部分物質(zhì)的導(dǎo)電性增強，易于消除靜電。31第三章電子生產(chǎn)環(huán)境中主要的靜電源32物體或過程材料或活動工作臺面打蠟，涂層或油漆面/普通乙烯類或塑膠地面密閉混凝土打蠟，拋光木板普通乙烯類膠片衣服普通凈化工作服普通纖維工作服非靜電鞋未處理棉花（溫度低于30%）座椅拋光木板乙烯基材料玻璃纖維包裝及搬運普通塑膠袋，包裹，信封普通氣泡袋，發(fā)泡袋普通塑膠箱，手提箱，小瓶，塑膠件箱柜33裝配，清潔，測試及維修區(qū)域噴氣清潔容器普通塑膠焊錫吸管烙鐵頭未接地刷子（駱駝/豬毛和人造纖維）

用流體流動或蒸發(fā)清潔或干燥*烘箱低溫噴涂*加熱槍和吹風(fēng)機(jī)*真空吸塵器噴砂復(fù)印設(shè)備CRT顯示器*獨立項目不是靜電源。它們包含顆粒的空氣流動產(chǎn)生靜電。34電子制造業(yè)中最常用的材料有很多絕緣體！我們要得到?jīng)]有靜電的環(huán)境是不可能的，我們只能控制它！35TheBiggestESDResourceisYOU

人是最大的靜電源36第四章靜電放電類型及其危害37靜電放電的特點ESD是高電位，強電場，瞬時大電流的過程

過去，人們認(rèn)為ESD是一個高電位，強電場，小電流的過程。其實這種看法并不完全正確。的確，有些ESD過程產(chǎn)生的放電電流比較小。如后面將要介紹的電暈放電。但是，在大多數(shù)的情況下，靜電放電過程往往會產(chǎn)生瞬時脈沖大電流。尤其是帶電導(dǎo)體或手持小金屬物體（如螺絲刀或鑰匙）的帶電人體對接地體產(chǎn)生火花放電時，產(chǎn)生的瞬時脈沖電流的強度可達(dá)到幾十安培甚至上百安培。38靜電放電的特點ESD會產(chǎn)生強烈的電磁輻射，弄成強電磁脈沖（EMP)

近年來，隨著靜電測試技術(shù)、測量儀器及測試手段的不斷完善和迅速發(fā)展，使人們對ESD這一瞬態(tài)過程的認(rèn)識越來越清楚。在ESD過程中，確實會產(chǎn)生上升時間很快、持續(xù)時間很短的初始大電流脈沖，并產(chǎn)生強烈的

電磁輻射，出現(xiàn)了靜電放電電磁脈沖

（ESDEMP)。它的電磁能量往往會引

起電子系統(tǒng)中敏感部件的損壞、翻轉(zhuǎn)，

或引起某些裝置中的電火工品誤爆，

造成事故。目前ESDEMP已受到人們

的普遍重視。作為近場危害源，許多人把它與高空核爆炸弄成的核電磁脈沖（NEMP)及雷電放電時產(chǎn)生的雷電電磁脈沖相提并論。39靜電放電的特點但是，應(yīng)當(dāng)注意地是，ESD是一個極其復(fù)雜的過程不僅與材料、物體形狀和放電回路參數(shù)有關(guān)，而且放電時往往還涉及到非常復(fù)雜的氣體擊穿過程。因此，ESD是一種很難重復(fù)的隨機(jī)過程。40靜電放電的類型由于靜電源或帶電體可能是固體、氣體、液體，又由于帶電體本身的大小、形狀、帶電量、放電環(huán)境條件等的不同，因此，ESD可能有多種形態(tài)。特別是近幾十年來人類又不斷發(fā)現(xiàn)了新的放電形態(tài)與類型，因此，目前的ESD類型，已由經(jīng)典電學(xué)的3種（電暈放電，刷型放電，火花放電）發(fā)展為如下的7種。41電暈放電電暈放電是發(fā)生在不均勻的電場中，空氣被局部電離的一種放電形式。處在空氣中的帶電體及接表面上有突起或楞角部分，當(dāng)其帶電體的電位足夠高時，也會產(chǎn)生電暈放電。這種放電有時又稱尖端放電。42+3000V-2500V無繩手防靜電手環(huán)的原理電暈放電根據(jù)放電尖端的極性不同，電暈放電可分為正電暈和負(fù)電暈亨普放電。而放電尖端為陽極時的電暈放電則稱為正電暈。從電暈放電產(chǎn)生的電暈的形狀來看，負(fù)電暈是包圍著放電尖端的均勻光暈圈，而正電暈則呈現(xiàn)出非均勻的絲狀。一般來說，正電暈的起暈電壓要比負(fù)電暈的高。4344窄脈沖電暈流光電暈輝光電暈引發(fā)電暈特里切爾脈沖電暈無脈沖電暈引發(fā)電暈電暈放電電暈放電的特點：電暈放電是一種高位、小電流、空氣被局部電離的放電過程。它產(chǎn)生的電流很小，約在1μA到幾百個μA之間。電暈放電的：“利”電暈放電的許多特點正被人們廣泛的利用，例如靜電除塵、靜電分選以及靜電消除器、蓋革—米勒計數(shù)器中都用到了電暈放電技術(shù)。45電暈放電電暈放電的“弊”電暈放電又會給許多系統(tǒng)造成電磁干擾。由于這些脈沖正好位于射頻段，因此會產(chǎn)生強烈的射頻干擾。這一現(xiàn)象對于航空、航天以及武器裝備中微電子系統(tǒng)將產(chǎn)生不可忽視的危害。飛機(jī)、航天器、導(dǎo)彈在飛行過程中，機(jī)殼或彈體上會因摩擦而產(chǎn)生靜電。當(dāng)靜電電位足夠高時，可引發(fā)電暈放電，而電暈放電形成的電磁干擾會對飛機(jī)、航天器、導(dǎo)彈的制導(dǎo)系統(tǒng)產(chǎn)生干擾，造成制導(dǎo)失靈或通信中斷，引發(fā)事故。46刷型放電這種放電往往發(fā)生在導(dǎo)體與帶電絕緣體之間。帶電絕緣體可以是固體、氣體或低電阻率液體。產(chǎn)生刷型放電時形成的放電通道在導(dǎo)體一端集中在某一點上，而在絕緣體一端有較多分叉，分布在一定空間范圍內(nèi)。根據(jù)其放電通道的形狀，稱為刷型放電。47火花放電當(dāng)靜電電位比較高的帶電導(dǎo)體或人體，靠近其它導(dǎo)體、人體或接導(dǎo)體時，便會引發(fā)發(fā)靜電火花放電?；鸹ǚ烹娛且粋€瞬變的過程。放電時兩導(dǎo)體間的空氣被擊穿，形成“快如閃電”的火花通道。與此同時，還伴隨著劈啪的爆裂聲。48火花放電在發(fā)生火花放電時，靜電能量瞬時集中釋放，其引燃、引爆能力較強。另外，火花放電產(chǎn)生的放電電流及電磁脈沖具有較大的破壞力。它可對一些敏感的電子器件和設(shè)備造成危害。由于涉及到空氣的擊穿，火花放電是一個非常復(fù)雜、多變的過程。人與導(dǎo)體的火花放電之異同：帶電導(dǎo)體產(chǎn)生的火花放電和人體產(chǎn)生的火花放電是不完全相同的。在多數(shù)情況下，導(dǎo)體的靜電放電，形成一次火花通道便能放掉絕大部分靜電電荷，即靜電能量可以集中釋放。而對于人體靜電放電來說，由于人體阻抗是隨著人體靜電電位變化而變化，在一次放電過程中可能包含了多次火花通道的形成、消失過程，即重復(fù)放電。在每次放電過程中僅僅放掉一部分電荷。即每次釋放人體靜電能量的一部分。49傳播型刷型放電傳播型刷型放電又稱沿面放電，還稱Lichtenberg放電。只有當(dāng)絕緣體的表面電荷密度大于2.7×10-4C/m2時才可能發(fā)生。當(dāng)絕緣板一側(cè)緊貼有接地金屬板時，就可能出現(xiàn)這樣高的表面電荷密度。另外，當(dāng)電介質(zhì)板被高度極化時也可能出現(xiàn)這種情況。與電子工業(yè)相關(guān)度低。50大型料倉內(nèi)的粉堆放電這是近十幾年才發(fā)現(xiàn)的新的放電形態(tài)。當(dāng)把絕緣性很高的粉粒由氣流輸送經(jīng)過管道和滑槽進(jìn)入大型料倉時，在沉積的圓錐型粉堆表面可能發(fā)生強烈的放電。因此歐洲又將之成為錐體放電（conedischarge)。這種放電的能量高。危險性極大。與電子工業(yè)相關(guān)度低。51雷狀放電這是一種大范圍的空間放電形式。一般發(fā)生在雷雨旱。人們在火山爆發(fā)的塵埃中也曾觀察到這種放電。52電場輻射放電電場輻射放電依賴于高電場強度下氣體的放電。當(dāng)帶電休附近的電場強度達(dá)到3MV/m時，這種放電就有可能發(fā)生。放電時，帶電體表面可能發(fā)射電子。這類放電能量較小，引燃引爆能力弱。這種放電出現(xiàn)的概率也不大。一般出現(xiàn)在離子風(fēng)機(jī)出口，波峰焊等53靜電放電對電子工業(yè)的危害ESD使ESDS元器件硬擊穿或失效ESD使元器件軟擊穿（結(jié)果可能理嚴(yán)重）靜電吸附（影響元器件或整機(jī)質(zhì)量）ESD電磁輻射引起電磁干擾。54危害涉及的環(huán)節(jié)上述危害可能發(fā)生在鄧處理、各生產(chǎn)工藝流程、測試、總裝、調(diào)試、包裝、儲存、發(fā)送、維修、運輸。55軟擊穿(例）在PWB生產(chǎn)線，雙向混合集成電路中，由于ESD軟擊穿，雙極型結(jié)型晶體管顯示出泄漏電流過大，導(dǎo)致系統(tǒng)崩潰。發(fā)現(xiàn)PN結(jié)的有損傷。這種感應(yīng)場效應(yīng)ESD失效與用HBM模型測試的ESD損壞，其結(jié)果幾乎完全相同。器件損壞的起如電壓為700V56靜電吸附影響：

降低潔凈度

降低耐壓等級結(jié)果：

成品率降低57電磁輻射引起電磁干擾影響：邏輯電路程序混亂溫升硬擊穿軟擊穿58第五章電子元器件ESD敏感度級別劃分59常見的ESD敏感分級試驗?zāi)Ｐ腿梭w帶電模型----HBM機(jī)器模型----MM帶電器件模型---CDM場感應(yīng)模型：---FICDM60人體帶電模型人體是產(chǎn)生靜電危害的最主要的靜電源之一。當(dāng)帶電的人體觸摸或靠近ESDS元件時，該元器件有可能被直接的靜電放電基強靜電場所損壞。人體ESD能夠以標(biāo)準(zhǔn)中給出的人體模型試驗電路來合理地模擬。這種試驗電路已被廣泛應(yīng)用于ESD測試中。61人體帶電模型人們對人體靜電及其放電過程研究得比較早，也比較深入，HBM也較其它模型建立得更早。隨著人體接地應(yīng)用、器件保護(hù)設(shè)計、以及自動的普及，相對重要性在衰減中在維修保養(yǎng)作業(yè)中容易被忽略（尤其是在Fieldservice方面）現(xiàn)有文資料獻(xiàn)中大部分靜電敏感度數(shù)據(jù)都是以HBM為基礎(chǔ)得到的。人體模型測試參照ESDSTM5.162人體帶電模型63接地表面接觸電阻人體電阻人體電容設(shè)備脈沖流向人體帶電模型64人體帶電模型65人體帶電模型ClassVoltageRange0<250V1A250to<500V1B500to<1000V1C1000to<2000V22000to<4000V3A4000to<8000V3B≧8000V66HBMESDStressLevel機(jī)器模型主要模擬機(jī)械臂、機(jī)械手等金屬部件帶電后對電子元器件的破壞與影響。其放電電阻要比人體模型小許多，因此破壞性更大。機(jī)器帶電模型的測試參見ESDSTM5.267機(jī)器模型68ClassVoltageRangeM1<100VM2100to<200VM3200to<400VM4≧400V帶電器件模型器件接觸帶電體或感應(yīng)而帶電后，遇地放電從而造成損傷。帶電器件測試參照ESDSTM5.3.169帶電器件模型70帶電器件模型71測試示意圖CDM模式中的雙重放電72帶電器件模型ClassVoltageRangeC1<125VC2125to<250VC3250to<500VC4500to<1000VC51000to<1500VC61500to<2000VC7≧2000V73場感應(yīng)模型電場感應(yīng)模型模擬了器件在靜電場中時與地接觸，從而引起了高幅度短持續(xù)時間的ESD瞬變。不帶電器件放入靜電場中，按照靜電感應(yīng)原理，導(dǎo)致電荷分離。然后，如果器件與地（或有足夠大電容的任何導(dǎo)體）接觸，產(chǎn)生的電荷重新分布導(dǎo)致ESD。另外，器件現(xiàn)在有靜電荷，如果它從靜電場中移出，它對于帶電器件放電類型的損壞是敏感的。此例中同時假定放電的對地電阻為零。連接器要中和靜電后再使用。74場感應(yīng)模型75不帶電的外殼器件在外殼上感應(yīng)電荷器件帶電，在引線框架上電荷分離當(dāng)帶電的引線框架接地時ESD發(fā)生常見器件的敏感度級別761級：敏感電壓范圍0-1999V微波器件（肖特基勢壘二極管、點接觸二極管和其他工作頻率大于1GHz的檢測二極管）離散型MOS場效應(yīng)晶體管聲表面波（SAW)器件結(jié)型場效應(yīng)晶體管（JEEETs)電荷耦合器件（CCDs）精密穩(wěn)壓二極管（線或加載電壓穩(wěn)定0.5%）運算放大器（OPAMPs）薄膜電阻器集成電路使用1級元器件的混合電路起高速集成電路（VHSIC）環(huán)境溫度100℃時，I。<0.175A的晶體閘流管（SCRs）常見器件的敏感度級別2級：敏感電壓范圍2000-3999V由附錄A（補充件）試驗數(shù)據(jù)確定為2級的元器件和微電路離散型MOS場效應(yīng)晶體管結(jié)型場效應(yīng)晶體管（JEETs）運算放大器（OPAMPs）集成電路（ICs）超高速集成電路（VHSIC）精密電阻網(wǎng)絡(luò)（R2）使用2級元器件的混合電路低功率雙極型晶體管，Plot≦100mW,I。<100mA77常見器件的敏感度級別783級：敏感電壓范圍4000-15999V由附錄A（補充件）試驗數(shù)據(jù)確定為3級的元器件和微電路離散型MOS場效應(yīng)晶體管運算放大器（OPAMPs）集成電路（ICs）超高速集成電路（VHSIC）所有不包括在1級或2級中的其他微電路Plot≦1W,I。<1A的小信號二極管普通要求的硅整流器I。<0.175A的晶體閘流管（SCRs）350W>Plot>100mW且400mA>I。>100mA的低功率雙極型晶體管光電器件（發(fā)光二極管、光敏器件、光耦合器）片狀電阻器使用3級元器件的混合電路壓電晶體組件和整機(jī)防靜電設(shè)計要求敏感電壓閾值大于16000V的產(chǎn)品，屬于非敏感產(chǎn)品。按照GJBI649-93的規(guī)定，組件設(shè)計應(yīng)能為最敏感的元器件提供最低2000V的靜電放電設(shè)計保護(hù)；整機(jī)應(yīng)能為最敏感的元器件提供最低4000V的設(shè)計保護(hù)。按照上述規(guī)定，組件應(yīng)達(dá)到II類，整機(jī)應(yīng)達(dá)到III類。79第六章靜電控制和防護(hù)措施80ESD控制與防護(hù)綜述ESD控制的文件靜電防護(hù)的基本技術(shù)手段等電位連接接地靜電中和靜電屏蔽增濕材料控制人體靜電控制設(shè)計ESD保護(hù)81ESD控制的文件美國標(biāo)準(zhǔn)MIL軍標(biāo)MIL-STD-1686AESDControlProgramMIL-HDBK-263ESDControlHandbook主要內(nèi)容：定義，ESDS分類，失效類型，ESD防護(hù)區(qū)(EPA),防護(hù)材料，防護(hù)設(shè)備，接地；操作程序，保護(hù)網(wǎng)絡(luò)，人員培訓(xùn)等。ESDA系列標(biāo)準(zhǔn)ESDS20.20ESDTR20.2082ESD控制的文件IEC系列標(biāo)準(zhǔn)IEC-61340-5-1IEC-61340-5-2中國標(biāo)準(zhǔn)SJ/T10533電子設(shè)備制造防靜電技術(shù)要求SJ/T10694電子設(shè)備制造防靜電技術(shù)要求SJ/T10533電子設(shè)備制造防靜電技術(shù)要求83ESD控制的文件EMC系列（IEC和CISPR國際無線電干擾特別委員會共同制訂）基礎(chǔ)標(biāo)準(zhǔn)（BasicSTD,涉及定義，試驗測量方法、儀器、試驗裝置）通用標(biāo)準(zhǔn)（GenericSTD,涉及標(biāo)準(zhǔn)試驗方法）產(chǎn)品類標(biāo)準(zhǔn)（Products-FamilySTD）英國標(biāo)準(zhǔn)日本標(biāo)準(zhǔn)84等電位連接原理：讓可能接觸敏感器件的表面處于等電勢，避免靜電放電發(fā)生。做法：所有可能接觸器件的物體使用并聯(lián)連接（共同連接點）沒有電勢差，就沒有ESD85接地原理：將產(chǎn)生的靜電通過接地線泄放到大地，避免靜電累積，從而避免靜電放電。做法：在工廠建立靜電接地系統(tǒng)導(dǎo)電和耗散材料使用硬接地—接地電阻小于1歐姆，軟接地—接地電阻小于1×109歐姆。即使是優(yōu)良導(dǎo)體，只有把它接地才能有效。86靜電中和原理：電離空氣產(chǎn)生正負(fù)離子，中和產(chǎn)生的靜電荷。做法：有源靜電消除器：AC,SteadyDC,PulseDC無源靜電消除器：安全，但是殘余電壓高。放射性靜電消除器。（原子裂變）87AC的發(fā)塵DC的不發(fā)塵靜電屏蔽靜電干擾分為靜電場感應(yīng)作用和靜磁場耦合作用。它們都可以用屏蔽方法來抑制。屏蔽原理如圖a所示。設(shè)導(dǎo)體A帶正電。若臨近有導(dǎo)體B，則因靜電感應(yīng)，B靠近A的一端帶負(fù)電。88靜電屏蔽89如果將A用金屬屏蔽體包圍起來，則出現(xiàn)如圖b所示的復(fù)雜情況。但是，若將金屬屏蔽體接地，就可使屏蔽體外側(cè)電場消失，導(dǎo)體B就不會受到電磁干擾。這就是靜電屏蔽的基本原理。屏蔽袋通過人、工作臺間接接地靜電屏蔽靜電屏蔽的兩個基本要點要有完善的屏蔽體良好的接地90對電子組件、電子系統(tǒng)全屏蔽，ESD難于入侵部分屏蔽，ESD輻射電磁波仍可能對組件造成損壞增濕原理：增加溫度，可以增加空氣的導(dǎo)電性，減少靜電的產(chǎn)生和積累。做法：ESDS20.20-1999推薦適度控制范圍為：30%RH-70%RH

濕度不應(yīng)該作為主要的ESD控制手段！只能作為后備的“安全網(wǎng)”！濕度的作用類似離子風(fēng)機(jī)，但效率較低。而且濕度控制的成本也可能十分可觀。91材料控制材料分類表92絕緣體耗散材料導(dǎo)體電阻系數(shù)表面電阻>1×10121×1012>R>1×105<1×105體電阻>1×10111×1011>R>1×104<1×104材料控制選用不產(chǎn)生或少產(chǎn)生靜電的材料導(dǎo)靜電材料的選用靜電耗散材料的選用添加導(dǎo)電成分，如碳黑，金屬粉，金屬絲，乙炔碳黑等。

碳黑為永久性耗散材料！

紅色泡棉或氣泡袋因在生產(chǎn)過程中加入抗靜電劑，一般3-6個月失效，要定期測試更換！93材料控制對材料表面進(jìn)行處理：使用表面活性劑（抗靜電劑）增加表面光潔度使用臺墊、地墊表面涂敷噴導(dǎo)電油或?qū)щ娡苛辖?4材料控制巧妙利用靜電序列在工藝設(shè)計時，如果一種材料在上一道工序中產(chǎn)生正電，則下一道工序中選擇材料使其產(chǎn)生負(fù)電。95+-空氣石棉兔子皮玻璃云母人發(fā)尼龍羊毛毛皮鉛絲綢金鉑黃鋼銀鎳銅硬橡膠密封蠟琥珀木頭鋼棉花紙張鋁硫乙酸纖維素聚酯莎綸聚酯聚乙烯聚丙烯PVC硅人體靜電控制人體的充電與放電人體靜電的測量人體靜電的危害人體靜電安全管理防治人體靜電要點96人體靜電的充電與放電人體起電方式接觸分離起電：最主要起電機(jī)理感應(yīng)起電：有時電位很高。如雷云下行走，可達(dá)50KV傳導(dǎo)起電：接觸其他帶電體吸附起電：主要吸附粉體或水霧。例如：壓力為1.2Mpa的水蒸氣由法蘭盤噴出的地方，人體吸附電荷電位可達(dá)50KV。97人體靜電的充電與放電行走條件和方式相對濕度×100人體電位/KV在橡膠地面上漫步行走15m，單腳直立61-1.13在橡膠地面上漫步行走15m，單腳直立59-1.06在橡膠地面上快步行走5m，單腳直立59-1.18在橡膠地面上快步行走20m，單腳直立59-2.00在橡膠地面上快步行走40m，單腳直立59-2.50在橡膠地面上漫步行走15m，雙腳直立59-0.69在橡膠地面上快步行走5m，雙腳直立59-0.76在橡膠地面上快步行走20m，雙腳直立59-1.20在橡膠地面上快步行走40m，雙腳直立59-1.5098人體行走時的典型靜電電位人體靜電的充電與放電活動方式相對濕度×100人體電位/KV用干布抽撣橡膠工作臺面642.5-4.5用干布抽撣清潔的油漆桌面643.1-4.4從人造革面軟椅上起立391.1-1.5掀動桌面上的橡膠板641.7-3.1從鋪有PVC薄膜的軟椅上突然直