晶圓生產(chǎn)車間設(shè)備管理制度一、總則（一）目的為加強晶圓生產(chǎn)車間設(shè)備管理，確保設(shè)備正常運行，提高生產(chǎn)效率，保證產(chǎn)品質(zhì)量，降低生產(chǎn)成本，特制定本制度。（二）適用范圍本制度適用于晶圓生產(chǎn)車間內(nèi)所有生產(chǎn)設(shè)備、檢測設(shè)備、輔助設(shè)備等的管理。（三）管理原則1.預(yù)防為主，確保設(shè)備安全、穩(wěn)定、高效運行。2.全員參與，明確各部門和人員在設(shè)備管理中的職責(zé)。3.科學(xué)管理，運用先進的管理方法和技術(shù)手段，提高設(shè)備管理水平。二、設(shè)備管理職責(zé)（一）設(shè)備管理部門1.負責(zé)制定和完善設(shè)備管理制度、操作規(guī)程等文件。2.統(tǒng)籌規(guī)劃設(shè)備的選型、采購、安裝、調(diào)試等工作。3.建立設(shè)備檔案，記錄設(shè)備的基本信息、運行狀況、維修保養(yǎng)等情況。4.組織設(shè)備的定期巡檢、預(yù)防性維護和故障維修工作。5.負責(zé)設(shè)備備件的管理，制定備件庫存計劃，確保備件及時供應(yīng)。6.對設(shè)備操作人員進行培訓(xùn)和考核，監(jiān)督設(shè)備操作規(guī)范的執(zhí)行。（二）生產(chǎn)部門1.負責(zé)本部門設(shè)備的日常使用和維護，確保設(shè)備正常運行。2.配合設(shè)備管理部門進行設(shè)備的安裝、調(diào)試、驗收等工作。3.及時向設(shè)備管理部門反饋設(shè)備運行中出現(xiàn)的問題，協(xié)助維修人員進行故障排除。4.組織本部門員工學(xué)習(xí)設(shè)備操作規(guī)程，提高員工的操作技能。（三）質(zhì)量部門1.負責(zé)對設(shè)備運行過程中的產(chǎn)品質(zhì)量進行監(jiān)控，確保產(chǎn)品質(zhì)量符合要求。2.參與設(shè)備的驗收工作，對設(shè)備的質(zhì)量性能進行評估。3.對因設(shè)備問題導(dǎo)致的質(zhì)量事故進行調(diào)查和分析，提出改進措施。（四）采購部門1.根據(jù)設(shè)備管理部門的需求，負責(zé)設(shè)備及備件的采購工作。2.選擇合格的供應(yīng)商，簽訂采購合同，確保采購設(shè)備及備件的質(zhì)量和交貨期。3.負責(zé)采購設(shè)備及備件的到貨驗收工作，及時辦理入庫手續(xù)。（五）財務(wù)部門1.負責(zé)設(shè)備管理費用的預(yù)算編制和控制。2.審核設(shè)備采購、維修、保養(yǎng)等費用的報銷憑證，確保費用支出合理合規(guī)。（六）設(shè)備操作人員1.嚴格按照設(shè)備操作規(guī)程操作設(shè)備，確保設(shè)備安全運行。2.做好設(shè)備的日常清潔、潤滑、緊固等維護工作，及時發(fā)現(xiàn)并報告設(shè)備故障。3.配合維修人員進行設(shè)備維修和保養(yǎng)工作，提供必要的協(xié)助。4.參加設(shè)備管理部門組織的培訓(xùn)和考核，不斷提高操作技能。三、設(shè)備選型與采購（一）選型原則1.滿足生產(chǎn)工藝要求，保證產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。2.技術(shù)先進、可靠性高、易于操作和維護。3.具有良好的性價比，符合企業(yè)的經(jīng)濟承受能力。4.考慮設(shè)備的兼容性和擴展性，便于與現(xiàn)有設(shè)備集成和升級。（二）采購流程1.設(shè)備管理部門根據(jù)生產(chǎn)需求和設(shè)備現(xiàn)狀，提出設(shè)備選型建議，編制設(shè)備采購申請。2.采購申請經(jīng)相關(guān)部門審核后，報主管領(lǐng)導(dǎo)批準。3.采購部門根據(jù)批準的采購申請，進行供應(yīng)商選擇和采購談判，簽訂采購合同。4.設(shè)備到貨前，采購部門通知設(shè)備管理部門、生產(chǎn)部門等相關(guān)人員做好驗收準備。5.設(shè)備到貨后，由設(shè)備管理部門組織采購部門、生產(chǎn)部門、質(zhì)量部門等相關(guān)人員進行驗收，驗收合格后辦理入庫手續(xù)。四、設(shè)備安裝與調(diào)試（一）安裝準備1.設(shè)備管理部門根據(jù)設(shè)備安裝說明書和現(xiàn)場實際情況，制定設(shè)備安裝方案。2.準備好設(shè)備安裝所需的工具、材料、場地等條件。3.組織安裝人員進行技術(shù)培訓(xùn)，熟悉設(shè)備安裝要求和操作規(guī)程。（二）安裝調(diào)試1.按照設(shè)備安裝方案進行設(shè)備的安裝，確保設(shè)備安裝牢固、水平度和垂直度符合要求。2.連接設(shè)備的電氣、管道、通風(fēng)等系統(tǒng)，進行電氣布線、管道連接和通風(fēng)調(diào)試。3.設(shè)備安裝完成后，進行單機調(diào)試和聯(lián)動調(diào)試，檢查設(shè)備的運行狀況和性能指標，確保設(shè)備正常運行。4.設(shè)備調(diào)試合格后，由設(shè)備管理部門組織相關(guān)部門進行驗收，驗收合格后填寫設(shè)備安裝調(diào)試驗收報告。五、設(shè)備檔案管理（一）檔案建立1.設(shè)備管理部門負責(zé)為每臺設(shè)備建立獨立的檔案，檔案內(nèi)容包括設(shè)備基本信息、技術(shù)資料、運行記錄、維修保養(yǎng)記錄、故障記錄等。2.設(shè)備基本信息包括設(shè)備名稱、型號、規(guī)格、生產(chǎn)廠家、購置日期、購置價格等。3.技術(shù)資料包括設(shè)備說明書、操作手冊、電路圖、裝配圖、易損件清單等。4.運行記錄包括設(shè)備每日運行時間、產(chǎn)量、能耗等數(shù)據(jù)。5.維修保養(yǎng)記錄包括維修保養(yǎng)日期、維修保養(yǎng)內(nèi)容、維修保養(yǎng)人員等信息。6.故障記錄包括故障發(fā)生日期、故障現(xiàn)象、故障原因、維修措施等內(nèi)容。（二）檔案更新1.設(shè)備管理部門應(yīng)及時更新設(shè)備檔案，確保檔案內(nèi)容的準確性和完整性。2.設(shè)備發(fā)生變更（如改造、升級、報廢等）時，應(yīng)及時在檔案中記錄相關(guān)信息。3.定期對設(shè)備檔案進行整理和歸檔，便于查閱和管理。（三）檔案查閱1.設(shè)備管理部門負責(zé)設(shè)備檔案的查閱管理，其他部門和人員因工作需要查閱設(shè)備檔案時，應(yīng)填寫設(shè)備檔案查閱申請表，經(jīng)設(shè)備管理部門負責(zé)人批準后，方可查閱。2.查閱人員應(yīng)愛護設(shè)備檔案，不得在檔案上涂改、標記、損壞，查閱完畢后應(yīng)及時歸還。六、設(shè)備操作與維護（一）操作規(guī)程制定1.設(shè)備管理部門根據(jù)設(shè)備的特點和使用要求，制定設(shè)備操作規(guī)程，明確設(shè)備的操作步驟、操作要點、安全注意事項等內(nèi)容。2.操作規(guī)程應(yīng)經(jīng)設(shè)備管理部門負責(zé)人審核，主管領(lǐng)導(dǎo)批準后發(fā)布實施。3.設(shè)備操作規(guī)程應(yīng)發(fā)放到設(shè)備操作人員手中，操作人員應(yīng)嚴格按照操作規(guī)程進行操作。（二）操作培訓(xùn)1.設(shè)備管理部門負責(zé)組織設(shè)備操作人員的培訓(xùn)工作，確保操作人員熟悉設(shè)備的性能、結(jié)構(gòu)、操作規(guī)程等內(nèi)容。2.新設(shè)備投入使用前，應(yīng)進行專門的操作培訓(xùn)，培訓(xùn)合格后方可上崗操作。3.定期對設(shè)備操作人員進行復(fù)訓(xùn)，提高操作人員的操作技能和安全意識。（三）日常維護1.設(shè)備操作人員負責(zé)設(shè)備的日常維護工作，包括設(shè)備的清潔、潤滑、緊固、檢查等。2.每日開機前，操作人員應(yīng)檢查設(shè)備的運行狀況，確認設(shè)備正常后方可開機運行。3.設(shè)備運行過程中，操作人員應(yīng)密切關(guān)注設(shè)備的運行狀態(tài)，及時發(fā)現(xiàn)并處理設(shè)備故障和異常情況。4.每日停機后，操作人員應(yīng)按照設(shè)備操作規(guī)程進行設(shè)備的關(guān)機操作，并做好設(shè)備的清潔和保養(yǎng)工作。（四）定期維護1.設(shè)備管理部門制定設(shè)備定期維護計劃，明確設(shè)備定期維護的內(nèi)容、時間間隔、責(zé)任人等。2.定期維護工作由設(shè)備維修人員負責(zé)實施，操作人員應(yīng)配合維修人員進行維護工作。3.定期維護工作完成后，維修人員應(yīng)填寫設(shè)備定期維護記錄，記錄維護內(nèi)容、維護結(jié)果等信息。（五）故障維修1.設(shè)備發(fā)生故障時，操作人員應(yīng)立即停機，并及時報告設(shè)備管理部門。2.設(shè)備管理部門接到故障報告后，應(yīng)及時組織維修人員進行故障診斷和維修。3.維修人員應(yīng)根據(jù)故障現(xiàn)象和設(shè)備運行狀況，分析故障原因，制定維修方案，進行故障排除。4.故障維修完成后，維修人員應(yīng)填寫設(shè)備故障維修記錄，記錄故障發(fā)生時間、故障現(xiàn)象、故障原因、維修措施、維修結(jié)果等信息。5.對于重大設(shè)備故障，設(shè)備管理部門應(yīng)組織相關(guān)人員進行故障分析和總結(jié)，采取改進措施，防止類似故障再次發(fā)生。七、設(shè)備備件管理（一）備件計劃制定1.設(shè)備管理部門根據(jù)設(shè)備的運行狀況、維修歷史和備件消耗情況，制定設(shè)備備件計劃。2.備件計劃應(yīng)包括備件名稱、規(guī)格、型號、數(shù)量、采購時間等信息。3.定期對備件計劃進行評估和調(diào)整，確保備件計劃的合理性和準確性。（二）備件采購1.采購部門根據(jù)設(shè)備管理部門制定的備件計劃，進行備件的采購工作。2.選擇合格的備件供應(yīng)商，簽訂采購合同，確保備件的質(zhì)量和交貨期。3.備件到貨后，采購部門應(yīng)及時通知設(shè)備管理部門進行驗收，驗收合格后辦理入庫手續(xù)。（三）備件庫存管理1.設(shè)備管理部門負責(zé)備件的庫存管理，建立備件庫存臺賬，記錄備件的出入庫情況。2.定期對備件庫存進行盤點，確保備件賬實相符。3.合理控制備件庫存水平，避免備件積壓或缺貨。（四）備件領(lǐng)用1.設(shè)備維修人員因工作需要領(lǐng)用備件時，應(yīng)填寫備件領(lǐng)用申請表，經(jīng)設(shè)備管理部門負責(zé)人批準后，到備件倉庫領(lǐng)取備件。2.備件倉庫管理人員應(yīng)按照申請表發(fā)放備件，并做好備件發(fā)放記錄。3.領(lǐng)用備件應(yīng)遵循以舊換新的原則，舊備件應(yīng)及時交回備件倉庫。八、設(shè)備報廢管理（一）報廢鑒定1.設(shè)備管理部門定期對設(shè)備進行檢查和評估，對于技術(shù)性能落后、損壞嚴重、維修成本過高且無修復(fù)價值的設(shè)備，提出報廢申請。2.組織相關(guān)部門和專業(yè)技術(shù)人員對報廢設(shè)備進行鑒定，確定設(shè)備是否符合報廢條件。（二）報廢審批1.報廢申請經(jīng)設(shè)備管理部門負責(zé)人審核后，報主管領(lǐng)導(dǎo)批準。2.主管領(lǐng)導(dǎo)批準后，設(shè)備管理部門負責(zé)辦理設(shè)備報廢手續(xù)。（三）報廢處理1.設(shè)備報廢后，由設(shè)備管理部門組織相關(guān)人員對設(shè)備進行拆除和清理，拆除的可利用零部件交備件倉庫保管，其余部分按照公司相關(guān)規(guī)定進行處理。2.設(shè)備報廢處理完成后，設(shè)備管理部門應(yīng)及時更新設(shè)備檔案，注銷報廢設(shè)備信息。九、設(shè)備事故管理（一）事故報告1.設(shè)備發(fā)生事故時，操作人員應(yīng)立即停機，并及時報告設(shè)備管理部門。2.設(shè)備管理部門接到事故報告后，應(yīng)立即組織人員趕赴事故現(xiàn)場，了解事故情況，采取必要的措施，防止事故擴大。3.事故發(fā)生后，設(shè)備管理部門應(yīng)在規(guī)定時間內(nèi)填寫設(shè)備事故報告，報告事故發(fā)生的時間、地點、設(shè)備名稱、事故經(jīng)過、事故原因、損失情況等信息。（二）事故調(diào)查1.成立設(shè)備事故調(diào)查組，對事故進行調(diào)查分析，查明事故原因，確定事故責(zé)任。2.事故調(diào)查組應(yīng)通過現(xiàn)場勘查、查閱資料、詢問當(dāng)事