ICS31030

CCSL.90

團體標(biāo)準(zhǔn)

T/CEMIA033—2023

半導(dǎo)體制程8英寸200mm

()

12英寸300mm用石英玻璃爐管

()

Quartzglasstubefor8in12inSemiconductorProcess

2023-06-08發(fā)布2023-09-08實施

中國電子材料行業(yè)協(xié)會發(fā)布

中國標(biāo)準(zhǔn)出版社出版

T/CEMIA033—2023

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任

。。

本文件由中國電子材料行業(yè)協(xié)會提出并歸口

。

本文件起草單位上海強華實業(yè)股份有限公司北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司北方集成電路

:、、

技術(shù)創(chuàng)新中心北京有限公司北京凱德石英股份有限公司中建材衢州金格蘭石英有限公司

()、、。

本文件主要起草人藍呈呂紅兵張婷婷余韋華周文華周韋軍李軍竹蘆英楊慧萍曹永友

:、、、、、、、、、、

張忠恕王友軍

、。

Ⅰ

T/CEMIA033—2023

半導(dǎo)體制程8英寸200mm

()

12英寸300mm用石英玻璃爐管

()

1范圍

本文件規(guī)定了半導(dǎo)體制程英寸英寸用石英玻璃爐管的術(shù)語和定義分類

8(200mm)12(300mm),

和產(chǎn)品結(jié)構(gòu)技術(shù)要求試驗方法檢驗規(guī)則標(biāo)志包裝貯存和運輸

,,,,、、。

本文件適用于半導(dǎo)體擴散工藝制程英寸英寸用石英玻璃爐管制品包含

8(200mm)12(300mm),

石英外管石英內(nèi)管石英工藝管及石英雙層管以下簡稱石英玻璃爐管不適用于及以下半

、、(“”),14nm

導(dǎo)體制程用石英玻璃爐管

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

石英玻璃化學(xué)成分分析方法

GB/T3284

石英玻璃中羥基含量檢驗方法

GB/T12442

石英玻璃術(shù)語

JC/T2205

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分空氣潔凈度的分級

ISO14644-11:(Cleanroomsandassociated

controlledenvironments—Part1:Classificationofaircleanlinessbyparticleconcentration)

3術(shù)語和定義

界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件

JC/T2205。

31

.

氣泡bubble

石英玻璃管內(nèi)壁的圓形橢圓形空穴

、。

來源有修改

[:JC/T2205—2014,4.1,]

32

.

破皮氣泡openbubble

暴露在石英玻璃管內(nèi)或外表面的開口氣泡

。

來源有修改

[:JC/T2205—2014,4.2,]

33

.

氣線airline

石英玻璃管壁內(nèi)或表面平行于管長方向的線狀梭狀空穴

、。

來源有修改

[:JC/T2205—201