集成電路凈化車間設(shè)計演講人：日期:目錄CATALOGUE02.平面布局規(guī)劃04.材料與設(shè)備選型05.節(jié)能環(huán)保措施01.03.通風(fēng)與凈化系統(tǒng)06.驗收與維護(hù)管理設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)與規(guī)范01設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)與規(guī)范PARTGB50073-2013《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了潔凈廠房的設(shè)計、施工、驗收和運行管理等方面的要求，是集成電路凈化車間設(shè)計的重要依據(jù)。GB50243-2016《通風(fēng)與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗收規(guī)范》該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了通風(fēng)與空調(diào)工程的施工和驗收標(biāo)準(zhǔn)，對于凈化車間的空氣潔凈度、溫濕度等參數(shù)有直接影響。國家行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解讀潔凈度等級要求ISO14644-1該國際標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了潔凈室的空氣潔凈度等級，適用于集成電路凈化車間的空氣潔凈度設(shè)計。01粒子數(shù)控制對于不同潔凈度等級，空氣中的塵埃粒子數(shù)需控制在一定范圍內(nèi)，以保證產(chǎn)品質(zhì)量。02微生物控制在特定潔凈度等級下，需對微生物（如細(xì)菌、病毒等）進(jìn)行嚴(yán)格控制，防止對產(chǎn)品造成污染。03溫濕度控制參數(shù)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，確定凈化車間的適宜溫濕度范圍，以保證產(chǎn)品質(zhì)量和工藝穩(wěn)定性。適宜范圍溫濕度的控制精度需滿足生產(chǎn)工藝要求，通常要求波動范圍在±1℃和±5%RH以內(nèi)?？刂凭仍趦艋囬g內(nèi)合理布置溫濕度傳感器，實時監(jiān)測溫濕度變化，確?？刂葡到y(tǒng)能夠及時調(diào)整。傳感器布置02平面布局規(guī)劃PART功能分區(qū)設(shè)計原則根據(jù)生產(chǎn)要求和空氣凈化等級，將車間劃分為潔凈區(qū)和污染區(qū)，潔凈區(qū)主要用于生產(chǎn)，污染區(qū)主要用于處理污染物。潔凈區(qū)與污染區(qū)分開生產(chǎn)流程合理最小空間原則按照生產(chǎn)流程的順序和要求，將原材料、半成品、成品等區(qū)域合理劃分，確保生產(chǎn)流程的順暢和潔凈。在滿足生產(chǎn)需求的前提下，盡可能減少潔凈車間的面積和體積，以降低空氣凈化成本和提高潔凈度。人流與物流通道規(guī)劃人流通道通道標(biāo)識物流通道設(shè)置合理的人員通道，包括進(jìn)入潔凈區(qū)的更衣室、風(fēng)淋室等，確保人員進(jìn)入潔凈區(qū)前經(jīng)過凈化處理，避免污染。設(shè)置獨立的物料通道，將原材料、半成品、成品等分開運輸，避免交叉污染。同時，物料通道應(yīng)避免穿越潔凈區(qū)，以減少對潔凈區(qū)的干擾。在通道處設(shè)置明顯的標(biāo)識和指示牌，以指導(dǎo)人員和物料的流動，避免混亂和誤操作。地面處理采用防震地面或地基，以減少地震對車間的影響。同時，車間內(nèi)應(yīng)盡量避免設(shè)置大型設(shè)備或重物，以降低地震時的風(fēng)險。防震措施布局設(shè)備布局將易產(chǎn)生振動的設(shè)備放置在車間的邊緣或底部，以減少對精密設(shè)備和潔凈環(huán)境的影響。同時，設(shè)備應(yīng)固定牢靠，以防止地震時發(fā)生位移或傾倒。管道設(shè)計對于車間內(nèi)的氣體、液體等管道，應(yīng)采取柔性連接或設(shè)置伸縮節(jié)等措施，以防止地震時管道破裂或泄漏。同時，應(yīng)定期對管道進(jìn)行檢查和維護(hù)，確保其正常運行。03通風(fēng)與凈化系統(tǒng)PART合理的氣流方向確保潔凈空氣從潔凈區(qū)流向非潔凈區(qū)，避免交叉污染。均勻的氣流分布通過合理設(shè)計送風(fēng)口和回風(fēng)口的位置和數(shù)量，確保車間內(nèi)氣流分布均勻。合理的氣流速度既要保證車內(nèi)的潔凈度，又要避免過大的氣流速度造成不必要的能耗和設(shè)備損壞。避免渦流和死角避免在車間內(nèi)產(chǎn)生渦流和死角，以減少污染物積聚和擴(kuò)散的可能。氣流組織設(shè)計規(guī)范空氣過濾系統(tǒng)配置初效過濾器用于過濾大顆粒物和灰塵，保護(hù)后續(xù)過濾器。中效過濾器進(jìn)一步過濾空氣中的細(xì)小顆粒物，提高空氣潔凈度。高效過濾器最終過濾空氣中的微小顆粒物，保證車間內(nèi)潔凈度達(dá)到要求。過濾器的合理布局根據(jù)車間的潔凈度要求和空氣流動情況，合理配置過濾器的數(shù)量和位置。壓差控制方案合理設(shè)定壓差密封措施壓差監(jiān)測與調(diào)整壓差報警系統(tǒng)通過合理設(shè)定車間內(nèi)各區(qū)域的壓差，確保潔凈空氣從潔凈區(qū)流向非潔凈區(qū)。實時監(jiān)測車間內(nèi)各區(qū)域的壓差，并根據(jù)實際情況進(jìn)行調(diào)整，確保壓差控制在規(guī)定范圍內(nèi)。采取有效的密封措施，防止外部污染空氣滲入車間，影響壓差和潔凈度。設(shè)置壓差報警系統(tǒng)，當(dāng)壓差超出規(guī)定范圍時及時報警，提醒操作人員進(jìn)行處理。04材料與設(shè)備選型PART墻面地面材料標(biāo)準(zhǔn)潔凈度耐腐蝕性耐磨性環(huán)保性墻面和地面材料應(yīng)滿足凈化車間的潔凈度要求，避免產(chǎn)生塵埃、顆粒和化學(xué)物質(zhì)等污染物。材料應(yīng)能耐受車間內(nèi)使用的各種化學(xué)品的侵蝕，如酸、堿、有機溶劑等。墻面和地面材料應(yīng)耐磨、耐刮擦，以應(yīng)對日常清潔和維護(hù)。材料應(yīng)符合環(huán)保要求，不釋放有害氣體或顆粒物。潔凈室專用設(shè)備要求空氣潔凈設(shè)備包括空氣淋浴室、高效過濾器、潔凈工作臺等，用于去除空氣中的塵埃和微生物。02040301潔凈室檢測儀器包括塵埃粒子計數(shù)器、微生物采樣器、溫濕度計等，用于監(jiān)測潔凈車間的潔凈度。潔凈室用家具如潔凈工作臺、潔凈室專用椅、實驗臺等，應(yīng)具有潔凈、耐腐蝕、易清潔的特點。潔凈室照明設(shè)備應(yīng)采用潔凈室專用的照明設(shè)備，具有潔凈、明亮、不產(chǎn)生塵埃的特點。應(yīng)選擇耐腐蝕、不產(chǎn)塵、易于清潔的材質(zhì)，如不銹鋼、塑料等。管道材質(zhì)管道與閥門選型應(yīng)采用焊接、法蘭連接等連接方式，避免管道泄漏和污染。管道連接方式應(yīng)選擇密封性能好、易于清潔的閥門，如球閥、隔膜閥等。閥門類型應(yīng)合理規(guī)劃管道布局，避免管道交叉和死角，便于清潔和維護(hù)。管道布局05節(jié)能環(huán)保措施PART節(jié)能空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計6px6px6px采用高效空氣過濾器，有效去除空氣中塵埃和微生物，降低空氣潔凈度成本。高效過濾器通過優(yōu)化氣流組織設(shè)計，減少送風(fēng)量，降低系統(tǒng)能耗。合理氣流組織選擇低能耗、高效率的風(fēng)機，減少空調(diào)系統(tǒng)能耗。低能耗風(fēng)機010302利用自然冷源進(jìn)行冷卻，減少空調(diào)系統(tǒng)能耗。自然冷卻技術(shù)04廢氣處理裝置配置采用高效廢氣處理技術(shù)，如吸附、催化氧化等，有效去除廢氣中的有害物質(zhì)。高效廢氣處理設(shè)備將廢氣集中排放至高空，減少對車間及周圍環(huán)境的影響。集中排放設(shè)置廢氣監(jiān)測裝置，實時監(jiān)測廢氣排放情況，確保廢氣處理效果。廢氣監(jiān)測能耗監(jiān)控優(yōu)化方案實時能耗監(jiān)測能耗數(shù)據(jù)分析設(shè)備能效評估能源管理策略建立能耗監(jiān)測系統(tǒng)，實時監(jiān)測車間內(nèi)能耗情況，為節(jié)能提供依據(jù)。對能耗數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，找出高能耗環(huán)節(jié)，提出改進(jìn)措施。定期對設(shè)備能效進(jìn)行評估，淘汰低效設(shè)備，更新高效設(shè)備。制定合理的能源管理策略，包括能源使用計劃、節(jié)能目標(biāo)等，提高整體能源利用效率。06驗收與維護(hù)管理PART利用專業(yè)的粒子計數(shù)器檢測車間空氣中的塵埃粒子數(shù)量，以確保潔凈度達(dá)到規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)。通過對車間內(nèi)空氣進(jìn)行微生物采樣，檢測細(xì)菌、病毒等微生物的數(shù)量，評估潔凈度水平。檢測車間空氣中的化學(xué)污染物濃度，如甲醛、氨等有害氣體，確保空氣質(zhì)量符合生產(chǎn)要求。通過煙霧測試等方法，檢測車間內(nèi)的氣流流型和空氣流動方向，以確保潔凈區(qū)域的空氣不受污染。潔凈度檢測方法粒子計數(shù)器法微生物采樣法化學(xué)污染物檢測氣流流型檢測日常維護(hù)管理制度定期清潔空氣質(zhì)量監(jiān)測消毒處理員工培訓(xùn)制定詳細(xì)的清潔計劃，定期對車間進(jìn)行徹底清潔，包括地面、墻面、天花板、設(shè)備、工具等。定期對車間內(nèi)的設(shè)備、工具、材料等進(jìn)行消毒處理，以減少微生物的數(shù)量。實時監(jiān)測車間內(nèi)的空氣質(zhì)量，包括溫度、濕度、潔凈度等參數(shù)，確保始終符合生產(chǎn)要求。定期對員工進(jìn)行潔凈車間操作規(guī)范和潔凈知識的培訓(xùn)，提高員工的潔凈意識和操作技能。停電應(yīng)急處理設(shè)備故障處理制定停電應(yīng)急處理預(yù)案，確保停電時車間內(nèi)的設(shè)備能夠安全關(guān)閉，避免對生產(chǎn)造成影響。針對關(guān)鍵設(shè)備可能出現(xiàn)的故障情