ICS1304035

CCSC.70.

中華人民共和國國家標準

GB/T2591514—2022/ISO14644-142016

.:

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

第14部分按粒子濃度評估設備適用性

:

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—Part14

:

Assessmentofsuitabilityforuseofequipmentbyairborneparticleconcentration

ISO14644-142016IDT

(:,)

2022-12-30發(fā)布2023-07-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標準化管理委員會

GB/T2591514—2022/ISO14644-142016

.:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

評估大綱

4…………………2

目視檢查

5…………………3

懸浮粒子濃度測量的適用性評估

6………………………3

記錄

7………………………8

設備的潔凈室適用性的表述

8……………10

附錄資料性測試數(shù)據(jù)處理示例

A()……………………11

附錄資料性可選測試

B()………………15

參考文獻

……………………17

Ⅰ

GB/T2591514—2022/ISO14644-142016

.:

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件是潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的第部分已經(jīng)發(fā)布了以下

GB/T25915《》14。GB/T25915

部分

:

第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級

———1:;

第部分潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測

———2:;

第部分檢測方法

———3:;

第部分設計建造啟動

———4:、、;

第部分運行

———5:;

第部分詞匯

———6:;

第部分隔離裝置潔凈風罩手套箱隔離器微環(huán)境

———7:(、、、);

第部分按化學物濃度劃分空氣潔凈度等級

———8:(ACC);

第部分按粒子濃度劃分表面潔凈度等級

———9:;

第部分按化學物濃度劃分表面潔凈度等級

———10:;

第部分監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求

———12:;

第部分達到粒子和化學潔凈度要求的表面清潔

———13:;

第部分按粒子濃度評估設備適用性

———14:;

第部分按氣態(tài)化學物濃度評定設備及材料的適用性

———15:。

本文件等同采用潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分按粒子濃度評估設備適

ISO14644-14:2016《14:

用性

》。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔識別專利的責任

。。

本文件由全國潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境標準化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC319)。

本文件起草單位蘇州安泰空氣技術(shù)有限公司江蘇嘉合潔凈科技有限公司中國電子系統(tǒng)工程第

:、、

四建設有限公司中國標準化協(xié)會蘇州市計量測試院中國合格評定國家認可中心中國建筑科學研究

、、、、

院有限公司江蘇富泰凈化科技股份有限公司中國電子系統(tǒng)工程第二建設有限公司中國電子工程設

、、、

計院有限公司上海市食品藥品包裝材料測試所廣東省潔凈技術(shù)行業(yè)協(xié)會天津大學上海市室內(nèi)環(huán)境

、、、、

凈化行業(yè)協(xié)會南京工業(yè)大學北京中邦興業(yè)科技有限公司廣東量化檢測技術(shù)有限公司深圳市朗奧潔

、、、、

凈科技技術(shù)股份有限公司江漢大學中科圣杰深圳科技集團有限公司河南盛川凈化工程有限公司

、、()、。

本文件主要起草人周斌郝胤博孫玉澄馮昕劉俊杰趙偉吳志堅夏薇佳王芳袁月吳振一

:、、、、、、、、、、、

韓輝魏佳鳴吳章勇胡茂從閻冬周建平董學鑫張正兵夏高豐蔡佳義鐘庚朱正財劉永

、、、、、、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T2591514—2022/ISO14644-142016

.:

引言

采用系列國際標準各部分設置與國際標準保持一致擬由個部分

GB/T25915ISO14644,,15

構(gòu)成

。

第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級目的是區(qū)分粒子污染程度

———1:。。

第部分潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測目的是指導監(jiān)測粒子污染以避免可能產(chǎn)生的污染

———2:。,

風險

。

第部分檢測方法目的是指導對潔凈室內(nèi)各種污染和相關(guān)環(huán)境要素的檢測

———3:。。

第部分設計建造啟動目的是指導潔凈室的設計建造啟動

———4:、、。、、。

第部分運行目的是指導潔凈室的運行

———5:。。

第部分詞匯目的是統(tǒng)一規(guī)范技術(shù)術(shù)語

———6:。。

第部分隔離裝置潔凈風罩手套箱隔離器微環(huán)境目的是提出潔凈室用隔離裝置的基

———7:(、、、)。

本要求

。

第部分按化學物濃度劃分空氣潔凈度等級目的是區(qū)分空氣化學污染程度

———8:(ACC)。。

第部分按粒子濃度劃分表面潔凈度等級目的是區(qū)分表面粒子污染程度

———9:。。

第部分按化學物濃度劃分表面潔凈度等級目的是區(qū)分表面化學污染程度

———10:。。

第部分監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求目的是提出納米級別的粒子污染的檢測

———12:。

要求

。

第部分達到粒子和化學潔凈度要求的表面清潔目的是提出潔凈室內(nèi)表面的清潔要求以

———13:。

避免可能產(chǎn)生的粒子和化學污染的風險

。

第部分按粒子濃度評估設備適用性目的是通過對相關(guān)設備可能在潔凈室產(chǎn)生粒子污染

———14:。

的測試確定設備的適合性

,。

第部分按氣態(tài)化學物濃度評定設備及材料的適用性目的是通過對相關(guān)設備及材料可能

———15:。

在潔凈室產(chǎn)生氣態(tài)化學污染的測試確定設備及材料的適用性

,。

第部分提升潔凈室和空氣凈化裝置的能效目的是節(jié)約潔凈室運行的能源消耗

———16:。。

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境按照對污染物敏感的作業(yè)所適用的水平提供污染控制污染控制有利于航

。

空航天微電子光學核能和生命科學制藥醫(yī)療器械食品醫(yī)療等行業(yè)的產(chǎn)品和工藝

、、、(、、、)。

本文件提供了潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中基于空氣潔凈度等級的設備適用性評價方法

。

Ⅳ

GB/T2591514—2022/ISO14644-142016

.:

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

第14部分按粒子濃度評估設備適用性

:

1范圍

本文件適用于評估在潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中使用的機械測試設備工藝設備部件及工具等設

、、、

備的適用性根據(jù)關(guān)注懸浮粒子粒徑范圍為至大于或等于

。GB/T25915.1,0.1μm5μm。

本文件不適用于

:

根據(jù)微生物污染評估適用性

———;

對清潔劑及清潔技術(shù)的適用性進行測試

———;

設備和材料的可清潔性

———;

設備設計及材料選擇的要求

———;

材料的靜電熱學等物理性能

———、;

具體工藝場合設備性能的優(yōu)化

———;

測試統(tǒng)計方法的選用

———;

當?shù)匕踩ㄒ?guī)的條款和要求

———。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,(