標準解讀

《YS/T 1123-2016 鉑蒸發(fā)料》是一項由中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布的行業(yè)標準，主要針對用于物理氣相沉積（PVD）等工藝中作為蒸發(fā)源材料的鉑蒸發(fā)料。該標準詳細規(guī)定了此類產(chǎn)品的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標志、運輸、貯存等方面的要求。

在技術(shù)要求部分，標準明確了鉑蒸發(fā)料應(yīng)達到的具體化學(xué)成分指標，包括但不限于純度要求，即鉑含量不得低于某一特定值，并且對可能存在的雜質(zhì)元素設(shè)定了最大允許量。此外，還定義了產(chǎn)品外觀質(zhì)量標準，如形狀、尺寸及其公差范圍等，確保材料能夠滿足后續(xù)加工或使用需求。

對于試驗方法，《YS/T 1123-2016》提供了詳細的檢測流程和技術(shù)手段，用以驗證鉑蒸發(fā)料是否符合既定的技術(shù)規(guī)范。這其中包括了化學(xué)分析法測定鉑及其他元素含量的方法、物理性能測試項目如密度測量等。

關(guān)于檢驗規(guī)則方面，本標準確立了一套完整的驗收體系，涵蓋出廠檢驗與型式檢驗兩種類型。其中，出廠檢驗是對每批產(chǎn)品進行的質(zhì)量控制檢查；而型式檢驗則是在特定條件下執(zhí)行的更為全面深入的產(chǎn)品性能評估，通常當生產(chǎn)工藝發(fā)生重大變更時需要實施。


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....

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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2016-07-11 頒布
  • 2017-01-01 實施
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文檔簡介

ICS77.150.99

H68

中華人民共和國有色金屬行業(yè)標準

YST1123—2016

鉑蒸發(fā)料

Evaporatedplatinummaterial

2016-07-11發(fā)布2017-01-01實施

中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布

YST1123—2016

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國有色金屬標準化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC243)。

本標準起草單位有研億金新材料有限公司有色金屬技術(shù)經(jīng)濟研究院

:、。

本標準主要起草人張巧霞張濤王興權(quán)向磊萬小勇賀昕張玉利王越王永輝賈存鋒

:、、、、、、、、、。

Ⅰ

YST1123—2016

鉑蒸發(fā)料

1范圍

本標準規(guī)定了鉑蒸發(fā)料的要求試驗方法檢驗規(guī)則標志包裝運輸貯存質(zhì)量證明書及訂貨單

、、、、、、、

或合同內(nèi)容

()。

本標準適用于半導(dǎo)體行業(yè)用的鉑蒸發(fā)料

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

海綿鉑

GB/T1419—2004

計數(shù)抽樣檢驗程序第部分按接收質(zhì)量限檢索的逐批檢驗抽樣計劃

GB/T2828.11:(AQL)

貴金屬及其合金材料幾何尺寸測量方法

GB/T15077—2008

3要求

3.1產(chǎn)品分類

3.1.1產(chǎn)品按照化學(xué)成分分為兩個牌號

IC-Pt99.95、IC-Pt99.99。

3.1.2產(chǎn)品主要分為片狀柱狀如圖所示產(chǎn)品形狀定義及供貨狀態(tài)應(yīng)符合表的要求需方有

、,1。、1,

其他要求時由供需雙方協(xié)商解決

。

說明

:

A長度L長度

———;———;

B寬度D直徑

———;———。

C厚度

———;

圖1鉑蒸發(fā)料示意圖

表1鉑蒸發(fā)料分類

形狀定義供貨狀態(tài)

片狀厚度為長度為寬度為的片材

0.5mm~5mm,5mm~20mm,5mm~20mm加工態(tài)

柱狀直徑為

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