ICS1304035

CCSC.70.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T40868—2021

納米尺度科研生產(chǎn)受控環(huán)境規(guī)劃與設(shè)計(jì)

Planninganddesignofcontrolledenvironmentsforresearchand

productionatthenanometerscale

2021-10-11發(fā)布2022-05-01實(shí)施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T40868—2021

目次

前言

…………………………Ⅰ

引言

…………………………Ⅱ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

概述

4………………………2

規(guī)劃

5………………………2

設(shè)計(jì)

6………………………3

附錄資料性噪聲評(píng)價(jià)曲線與限值

A()…………………6

附錄資料性防微振設(shè)計(jì)

B()……………9

附錄資料性納米材料風(fēng)險(xiǎn)控制

C()……………………12

參考文獻(xiàn)

……………………14

GB/T40868—2021

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC319)。

本文件起草單位江蘇蘇凈科技有限公司中國電子工程設(shè)計(jì)院有限公司中天道成蘇州潔凈技

:、、()

術(shù)有限公司蘇州市計(jì)量測試院蘇州嘉合潔凈科技有限公司中國標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會(huì)國家納米科學(xué)中心南

、、、、、

京天加環(huán)境科技有限公司美埃中國環(huán)境凈化有限公司中電投工程研究檢測評(píng)定中心有限公司杭

、()、、

州市標(biāo)準(zhǔn)化研究院吳江市華宇凈化設(shè)備有限公司常州祥明智能動(dòng)力股份有限公司北京恒泰建業(yè)工

、、、

程項(xiàng)目管理有限公司蘇州蘇信環(huán)境科技有限公司賀氏蘇州特殊材料有限公司

、、()。

本文件主要起草人王堯蔡杰姜皓遐蔣乃軍楊子強(qiáng)王其祥王大千姜偉康陳霖新張利群

:、、、、、、、、、、

朱蘭邴紹同石小雷高正周炬吳小泉葉偉強(qiáng)翟傳明張敏楊興宇董玉平郝胤博惠旅峰

、、、、、、、、、、、、、

肖軼群

。

Ⅰ

GB/T40868—2021

引言

納米尺度受控環(huán)境涉及多學(xué)科交叉且非常復(fù)雜其設(shè)計(jì)很難參照現(xiàn)有的設(shè)計(jì)資料設(shè)計(jì)建造技術(shù)

,,,、

難度高投資大建設(shè)周期長適宜的規(guī)劃設(shè)計(jì)有助于項(xiàng)目順利進(jìn)行

、,,。

本文件總結(jié)歸納已建納米尺度受控環(huán)境的經(jīng)驗(yàn)提示規(guī)劃設(shè)計(jì)可能遇到的特殊問題以及項(xiàng)目進(jìn)

,、,

程中的潛在障礙為項(xiàng)目規(guī)劃決策提供指南給出的相關(guān)技術(shù)要求和限值方便業(yè)主與設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)間的技

,。,

術(shù)協(xié)商和探討

。

本文件未詳細(xì)規(guī)定環(huán)境條件具體科研生產(chǎn)需求以及具體工藝設(shè)備儀器決定其環(huán)境條件

,、。

本文件并非普遍適用于所有納米技術(shù)設(shè)施的具體項(xiàng)目或細(xì)節(jié)設(shè)施各不相同使用時(shí)宜將本文件

。,

的一般性要求加以完善以適應(yīng)具體設(shè)施的運(yùn)行要求

,。

Ⅱ

GB/T40868—2021

納米尺度科研生產(chǎn)受控環(huán)境規(guī)劃與設(shè)計(jì)

1范圍

本文件給出了納米尺度科研生產(chǎn)受控環(huán)境的規(guī)劃與選址勘察設(shè)計(jì)要求等

、。

本文件適用于納米尺度科研生產(chǎn)受控環(huán)境的規(guī)劃與設(shè)計(jì)

。

2規(guī)范性引用文件

本文件沒有規(guī)范性引用文件

。

3術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件

。

31

.

納米尺度nanometerscalenanoscale

;

處于之間的尺寸范圍

1nm~100nm。

來源有修改

[:GB/T30544.1—2014,2.1,]

32

.

粒子particle

有明確物理邊界的微小物質(zhì)

。

33

.

納米顆粒nanoparticle

三個(gè)維度的外部尺寸都在納米尺度的納米物體其最長軸和最短軸的長度沒有明顯差別

,。

來源

[:GB/T30544.4—2019,2.4]

34

.

污染物contaminant

對(duì)產(chǎn)品和工藝有不良影響的粒子非粒子分子或生物體

、、。

來源

[:GB/T25915.6—2010,2.41]

35

.

空氣化學(xué)污染物