ICS31-550

L95

中華人民共和國國家標準

GB/T37466—2019

氮化鎵激光剝離設備

Laserlift-offequipmentusedforGaN

2019-06-04發(fā)布2019-10-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T37466—2019

目次

前言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

產品分類和標記

4…………………………2

分類

4.1…………………2

型號標記

4.2……………3

工作條件

5…………………4

電源

5.1…………………4

環(huán)境溫度

5.2……………4

相對濕度

5.3……………4

大氣壓力

5.4……………4

潔凈室等級

5.5…………………………4

電磁干擾

5.6……………4

地基振動要求

5.7………………………4

要求

6………………………4

外觀

6.1…………………4

激光要求

6.2……………4

掃描臺

6.3………………5

整機性能

6.4……………5

電氣要求

6.5……………5

控制裝置

6.6……………5

軟件要求

6.7……………6

電磁兼容

6.8……………6

噪聲

6.9…………………6

平均無故障時間

6.10……………………6

安全要求

6.11……………6

檢測方法

7…………………7

外觀檢查

7.1……………7

激光檢查

7.2……………7

掃描臺檢查

7.3…………………………8

整機性能檢測

7.4………………………9

電氣檢查

7.5……………9

控制裝置檢查

7.6………………………10

軟件檢測

7.7……………10

電磁兼容試驗

7.8………………………10

Ⅰ

GB/T37466—2019

噪聲測試

7.9……………10

平均無故障時間驗證

7.10……………10

安全要求檢查

7.11……………………10

檢驗規(guī)則

8…………………11

檢驗分類

8.1……………11

鑒定檢驗

8.2……………11

出廠檢驗

8.3……………11

判定規(guī)則

8.4……………11

標志包裝運輸和貯存

9、、…………………12

標志

9.1…………………12

包裝

9.2…………………12

運輸

9.3…………………13

貯存

9.4…………………13

Ⅱ

GB/T37466—2019

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構不承擔識別這些專利的責任

。。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標準起草單位東莞市中鎵半導體科技有限公司中國電子技術標準化研究院

:、。

本標準主要起草人孫永健劉鵬丁曉民馮亞彬汪青

:、、、、。

Ⅲ

GB/T37466—2019

氮化鎵激光剝離設備

1范圍

本標準規(guī)定了氮化鎵激光剝離設備以下簡稱激光剝離設備的產品分類和標記工作條件要

(“”)、、

求檢測方法檢驗規(guī)則標志包裝運輸和貯存

、、、、、。

本標準適用于利用激光方法將藍寶石襯底生長的氮化鎵基外延層進行剝離的設備氮化鋁

(GaN),

激光剝離設備可參考本標準

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

包裝儲運圖示標志

GB/T191

安全色

GB2893—2008

安全標志及其使用導則

GB2894—2008

聲學聲壓法測定噪聲源聲功率級和聲能量級采用反射面上方包絡測量面

GB/T3768—2017

的簡易法

外殼防護等級代碼

GB/T4208—2017(IP)

工業(yè)科學和醫(yī)療射頻設備騷擾特性限值和測量方法

GB4824—2013、(ISM)

旋轉電機整體結構的防護等級代碼分級

GB/T4942.1—2006(IP)-

設備可靠性試驗恒定失效率假設下的失效率與平均無故障時間的驗證試

GB/T5080.7—1986

驗方案

小功率電動機第部分通用技術條件

GB/T5171.1—20141:

機械電氣安全機械電氣設備第部分通用技術條件

GB5226.1—20081:

運輸包裝收發(fā)貨標志

GB/T6388

激光產品的安全第部分設備分類要求

GB7247.1—20121:、

低壓成套開關設備和控制設備第部分總則

GB/T7251.1—2013