ICS23160

J78.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T35049—2018

真空技術(shù)四極質(zhì)譜檢漏方法

Vacuumtechnology—Leaktestingmethodbyquadrupolemassspectrometer

2018-05-14發(fā)布2018-12-01實(shí)施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T35049—2018

目次

前言

…………………………Ⅰ

引言

…………………………Ⅱ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

一般要求

4…………………3

環(huán)境要求

4.1……………3

設(shè)備要求

4.2……………3

示蹤氣體純度

4.3………………………3

人員資格

4.4……………3

示蹤氣體選擇

4.5………………………3

質(zhì)量數(shù)選擇

4.6…………………………3

儀器校準(zhǔn)

4.7……………4

檢漏方法

5…………………4

噴吹法

5.1………………4

真空室法

5.2……………8

四極質(zhì)譜非真空累積法

5.3……………11

吸槍法

5.4………………15

檢漏文件

6…………………18

檢漏記錄

6.1……………18

檢漏報(bào)告

6.2……………18

附錄規(guī)范性附錄四種檢漏方法適用的檢漏記錄

A()…………………19

附錄規(guī)范性附錄檢漏報(bào)告

B()…………23

GB/T35049—2018

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由中國機(jī)械工業(yè)聯(lián)合會提出

。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國真空技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會歸口

(SAC/TC18)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位北京衛(wèi)星環(huán)境工程研究所合肥智海光電技術(shù)有限公司安徽皖儀科技股份有限

:、、

公司沈陽真空技術(shù)研究所

、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人竇仁超孫立臣閆榮鑫洪曉鵬孟冬輝劉磊任國華馮琪史紀(jì)軍黃文平

:、、、、、、、、、、

陳然韓琰喻新發(fā)邵容平王健劉興悅張立偉王勇孫立志王玲玲

、、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T35049—2018

引言

四極質(zhì)譜儀具有檢測物質(zhì)種類多檢漏靈敏度高測試結(jié)果穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)而被廣泛應(yīng)用在航天航空

、、、、

電子核電真空等領(lǐng)域中的泄漏檢測工作但目前基于四極質(zhì)譜儀泄漏檢測沒有統(tǒng)一規(guī)范的漏率定

、、。、

量檢測方法和標(biāo)準(zhǔn)以致真空及其他行業(yè)中不同單位所使用的檢測方法和計(jì)算方法均不相同使其不能

,,

發(fā)揮完全發(fā)揮定性和定量檢測的優(yōu)點(diǎn)同時(shí)各行業(yè)單位間的檢測結(jié)果不具有可比性因此四極質(zhì)譜檢漏

,,

法在各行業(yè)中的應(yīng)用受到較大的限制不利于四極質(zhì)譜儀在各行業(yè)間的推廣和應(yīng)用

,。

本標(biāo)準(zhǔn)的制定可以規(guī)范四極質(zhì)譜儀在產(chǎn)品密封性能檢測過程中的方法選擇操作流程操作步驟和

、、

結(jié)果計(jì)算使得不同行業(yè)和領(lǐng)域間基于四極質(zhì)譜檢漏結(jié)果具有可比性進(jìn)而提高產(chǎn)品密封質(zhì)量增加產(chǎn)

,,,

品的密封可靠性

。

Ⅱ

GB/T35049—2018

真空技術(shù)四極質(zhì)譜檢漏方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了四種常用的四極質(zhì)譜檢漏方法實(shí)施的一般要求每種檢漏方法在應(yīng)用對象系統(tǒng)組

,、

成檢漏程序等方面的要求以及對檢漏文件的要求

、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于真空行業(yè)以及其他行業(yè)中采用四極質(zhì)譜儀進(jìn)行的泄漏檢測工作適用于部組件級分

,、

系統(tǒng)級以及系統(tǒng)級產(chǎn)品的密封性能測試

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

無損檢測人員資格鑒定與認(rèn)證

GB/T9445

無損檢測術(shù)語泄漏檢測

GB/T12604.7

分析儀器術(shù)語

GB/T13966

3術(shù)語和定義

和中界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T12604.7GB/T13966。

31

.

響應(yīng)時(shí)間responsetime

τ

從示蹤氣體施加到漏孔進(jìn)氣端開始到質(zhì)譜儀輸出指示扣除本底值達(dá)到最大變化值扣除本底值

,()(

后的漏氣信號值的時(shí)所經(jīng)歷的時(shí)間

)63%。

注單位為秒

:(s)。

32

.

清除時(shí)間clear-uptime

從漏孔進(jìn)氣端停止施加示蹤氣體開始到四極質(zhì)譜儀輸出指示值扣除本底值下降至施加示蹤氣

,