ICS7704010

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中華人民共和國國家標準

GB/T31093—2014

藍寶石晶錠應力測試方法

Testmethodforstressofmonocrystallinesapphireingot

2014-12-22發(fā)布2015-09-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

中華人民共和國

國家標準

藍寶石晶錠應力測試方法

GB/T31093—2014

*

中國標準出版社出版發(fā)行

北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務熱線

:400-168-0010

年月第一版

20152

*

書號

:155066·1-50902

版權(quán)專有侵權(quán)必究

GB/T31093—2014

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術(shù)委員會和全國半導體設備和材料標準

(SAC/TC203)

化技術(shù)委員會材料分會共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本標準起草單位協(xié)鑫光電科技江蘇有限公司中國科學院上海光學精密機械研究所北京合能

:()、、

陽光新能源技術(shù)有限公司

。

本標準主要起草人劉逸楓魏明德徐養(yǎng)毅杭寅肖宗杰

:、、、、。

Ⅰ

GB/T31093—2014

藍寶石晶錠應力測試方法

1范圍

本標準規(guī)定了藍寶石單晶晶錠的應力測試方法

。

本標準適用于經(jīng)過加工后直徑為的向藍寶石晶錠的應力測試其他尺寸藍

50.8mm~200mmc,

寶石晶錠以下簡稱晶錠的應力測試可參照使用

()。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

半導體材料術(shù)語

GB/T14264

3術(shù)語和定義

界定的術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T14264。

4方法提要

藍寶石為單軸晶體軸為光軸使用典型的會聚平面偏振光干涉試驗裝置晶體的光軸與切面垂

,c。,

直并且和儀器的光軸平行在會聚光的情況下會產(chǎn)生干涉形成錐光圖錐光圖由黑十字和同心圓狀

,,,,。

的干涉色圈組成干涉色圈以黑十字交點為中心光軸出露點成同心環(huán)狀干涉色圈的多少取決于晶

,(),,,

體的雙折射率的大小及厚度

。

當晶體局部規(guī)則的結(jié)構(gòu)被破壞產(chǎn)生的應力使得該位置上的光軸方向發(fā)生改變光束通過此位置

,,

時所得到的錐光圖中的黑十字變形因此可以通過觀察晶體各個位置的錐光圖來檢測晶體的應力

,,。

5干擾因素

51晶錠內(nèi)部有氣泡包裹物等會影響應力的判斷

.、。

52晶錠加工過程中引起的內(nèi)部裂紋會影響應力的判斷

.。

6試驗設備

應力儀其典型光路如圖所示儀器的光學系統(tǒng)由光源發(fā)出的光速通過隔熱片聚光

,1。(1)(2)、

鏡反射鏡和起偏鏡變?yōu)槠矫嬲耒R在通過發(fā)散鏡臺面玻璃后投射到被測試樣上最

(3)、(4)(5),