ICS7110020

G86..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T31058—2014

電子工業(yè)用氣體四氟化硅

Gasesforelectronicindustry—Silicontetrafluoride

2014-12-22發(fā)布2015-07-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

中華人民共和國(guó)

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

電子工業(yè)用氣體四氟化硅

GB/T31058—2014

*

中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社出版發(fā)行

北京市朝陽(yáng)區(qū)和平里西街甲號(hào)

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號(hào)

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線

:400-168-0010

年月第一版

20154

*

書號(hào)

:155066·1-51307

版權(quán)專有侵權(quán)必究

GB/T31058—2014

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位核工業(yè)理化工程研究院華核新技術(shù)開發(fā)公司佛山市華特氣體有限公司綠菱電

:、、

子材料天津有限公司上海華愛(ài)色譜分析技術(shù)有限公司貴州大學(xué)西南化工研究設(shè)計(jì)院有限公司

()、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人鄧建平李于教傅鑄紅湯有倫崔學(xué)文方華唐安江周鵬云

:、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T31058—2014

電子工業(yè)用氣體四氟化硅

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了四氟化硅的技術(shù)要求試驗(yàn)方法標(biāo)志包裝運(yùn)輸和貯存等內(nèi)容

、、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于螢石硫酸法六氟硅酸鹽熱分解法單質(zhì)硅直接氟化法制備的四氟化硅它主要用作

、、。

電子工業(yè)中等離子蝕刻發(fā)光二極管形摻雜離子注入工藝外延沉積擴(kuò)散的硅源和光導(dǎo)纖維用高純

、P、、

石英玻璃的原料也是生產(chǎn)多晶硅的重要原料

,。

分子式

:SiF4。

相對(duì)分子質(zhì)量按年國(guó)際原子相對(duì)質(zhì)量

:104.0786128(2009)。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志

GB190

工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T3723

鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶

GB5099

氣瓶顏色標(biāo)志

GB7144

永久氣體充裝規(guī)定

GB14194

化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定

GBl5258

氣瓶警示標(biāo)簽

GB16804

特種氣體儲(chǔ)存期規(guī)范

GB/T26571

氣體分析氦離子化氣相色譜法

GB/T28726—2012

氣體分析硫化物的測(cè)定火焰光度氣相色譜法

GB/T28727

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程版

(2000)

危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例版

(2002)

特種設(shè)備安全監(jiān)察條例版

(2009)

3技術(shù)要求

四氟化硅的技術(shù)要求應(yīng)符合表的要求

1。

表1技術(shù)指標(biāo)

項(xiàng)目指標(biāo)

四氟化硅純度體積分?jǐn)?shù)-2

()/10≥99.9999.999

氫含量體積分?jǐn)?shù)-6

(H2)()/10<21

氧氬含量體積分?jǐn)?shù)-6

(+)(O2+Ar)()/10