標準解讀
《GB/T 28159-2011 電子級磷酸》是一項國家標準,主要規(guī)定了用于半導體制造等電子工業(yè)領(lǐng)域的高純度磷酸的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標志、運輸和貯存等方面的要求。該標準適用于電子工業(yè)中作為清洗劑或蝕刻劑使用的磷酸。
根據(jù)這項標準,電子級磷酸按其質(zhì)量被劃分為不同等級,每個等級的磷酸都有明確的技術(shù)指標,包括但不限于外觀、密度、總酸度、不揮發(fā)物含量、金屬離子雜質(zhì)含量(如鈉、鉀、鐵、銅等)以及其他特定雜質(zhì)的最大允許濃度。這些嚴格的規(guī)定確保了產(chǎn)品能夠滿足電子行業(yè)對材料純度極高的需求。
對于檢測方法,《GB/T 28159-2011 電子級磷酸》也提供了詳細的指導,涵蓋了物理性質(zhì)測試(比如密度測定)、化學成分分析(例如通過滴定法測定總酸度)及微量雜質(zhì)元素的測定技術(shù)(采用原子吸收光譜法或其他適當?shù)姆椒ǎ?。所有這些測試都旨在保證產(chǎn)品質(zhì)量符合規(guī)定的標準。
此外,標準還指定了抽樣規(guī)則,明確了從批量生產(chǎn)的產(chǎn)品中如何正確地選取樣品進行質(zhì)量檢查;同時也規(guī)范了產(chǎn)品的包裝方式,要求使用不會與磷酸發(fā)生反應(yīng)且能有效防止污染的容器來盛裝,并且對外包裝上的標識信息做出了具體要求,以確保安全運輸并便于識別。
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....
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- 現(xiàn)行
- 正在執(zhí)行有效
- 2011-12-30 頒布
- 2012-07-01 實施




文檔簡介
ICS31030
L90.
中華人民共和國國家標準
GB/T28159—2011
電子級磷酸
Electronicgradephosphoricacid
2011-12-30發(fā)布2012-07-01實施
中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布
中國國家標準化管理委員會
GB/T28159—2011
目次
前言…………………………
Ⅲ
范圍………………………
11
規(guī)范性引用文件…………………………
21
產(chǎn)品分類…………………
31
要求………………………
41
試驗方法…………………
52
安全提示……………
5.12
一般規(guī)定……………
5.23
外觀…………………
5.33
磷酸含量……………
5.43
易氧化物含量………………………
5.53
金屬離子含量………………………
5.64
陰離子含量…………………………
5.75
顆粒測定……………
5.89
檢驗規(guī)則…………………
69
組批與抽樣…………………………
6.19
檢驗項目……………
6.29
標志標簽…………………
7、9
包裝運輸貯存操作……………………
8、、、9
附錄資料性附錄儀器工作條件……………………
A()11
附錄資料性附錄離子色譜圖………………………
B()13
Ⅰ
GB/T28159—2011
前言
本標準是根據(jù)給出的規(guī)則起草
GB/T1.1—2009。
請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔識別這些專利的責任
。。
本標準由全國半導體設(shè)備和材料標準化委員會提出并歸口
(TC203)。
本標準負責起草單位四川成洪磷化工有限責任公司江蘇江陰市潤瑪電子材料有限公司湖北興
:、、
發(fā)化工集團股份有限公司蘇州電子材料廠有限公司蘇州晶瑞化學有限公司
、、。
本標準主要起草人李全東肖遙王文武戈士勇何珂李少平鐘尉尤家棟劉兵
:、、、、、、、、。
Ⅲ
GB/T28159—2011
電子級磷酸
1范圍
本標準規(guī)定了電子級磷酸的要求試驗方法檢驗規(guī)則以及標志包裝運輸貯存等
、、、、、。
本標準適用于電子工業(yè)用磷酸
。
本標準不涉及使用安全性問題本標準的使用人應(yīng)負責建立適當?shù)陌踩】禇l款及使用范圍的
,
限制
。
2規(guī)范性引用文件
下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件
。,()。
包裝儲運圖示標志
GB/T191
化學試劑標準滴定溶液的制備
GB/T601
化學試劑試驗方法中所用制劑及制品的制備
GB/T603
化學試劑磷酸
GB/T1282—1996
食品添加劑磷酸
GB3149—2004
化工產(chǎn)品采樣總則
GB/T6678
數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定
GB/T8170
電子級水
GB/T11446.1
化學品安全標簽編寫規(guī)定
GB15258
電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范
GB50472
3產(chǎn)品分類
標準規(guī)定的電子級磷酸分為兩種規(guī)格為普通電子級磷酸為高純電子級磷酸
:E1,E2。
4要求
41外觀無色無臭黏稠狀液體
.:、、。
42電子級磷酸應(yīng)符合表要求
.1。
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